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文档简介

(ECR-CVD)09微电2什么是电子回旋共振(ECR)？ 在875GS（高斯）的磁场中，电子受洛伦兹力发生回旋运动，同时，在此区域内存在2.45GHZ的微波，电子的回旋运动和微波就会发生共振现象。什么是等离子体？ 等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体，利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。 so science fictional! 沉积过程 电子在微波电场中将被不断同步、无碰撞加速而获得的能量大于离子获得的能量，如果在两次碰撞之间电子共振吸收微波的能量大于气体粒子的电离能、 分子离解能或某一状态的 激发能，那么将产生碰撞电离、分子离解和粒子激活，从而实现等离子体放电和获得活性反 应粒子，形成高密度的 ECR 低温等离子体。 ECR-CVD machine 优点 降低CVD成膜温度 获得高质量的导电薄膜 获得各种其他薄膜，如绝缘介质薄膜，合金薄膜等

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