版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领
文档简介
1、Optical Navigation DivisionAdvanced Wireless Semiconductor Division薄膜体声波谐振器及其制造方法薄膜体声波谐振器及其制造方法关文海关文海 2012015 5年年2 2月月3 3日日Advance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary背景技术背景技术Advance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd.
2、 Confidential and Proprietary具有反射层的具有反射层的FBAR具有反射层的现有技术中FBAR的剖视图Advance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary具有气隙的现有技术中的FBA剖视图具有气隙的具有气隙的FBARAdvance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary解决的方法解决
3、的方法提供支撑层提供支撑层带有支撑层的气隙结构的FBAR缺点缺点Advance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary翼尖问题翼尖问题Advance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary上述问题的解决方法上述问题的解决方法剖视图第一特性第一特性Advance Wireless Semiconductor Di
4、visionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary剖视图第二特性第二特性Advance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary制造步骤制造步骤a一、绝缘层的形成一、绝缘层的形成绝缘层102可以通过以下两种方法：Advance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidentia
5、l and Proprietary二、牺牲层的形成二、牺牲层的形成bAdvance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary三、气隙形状的形成三、气隙形状的形成覆盖光刻胶刻蚀cdAdvance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary四、支撑层的形成四、支撑层的形成ef覆盖一层绝缘材料，绝缘材料可以是氮化硅、为氧化
6、硅、氧化铝等Advance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary五、激活区的形成五、激活区的形成ghAdvance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary六、电极的形成六、电极的形成i电极107、109的材料可以用Al、W、Au、Pt等 Advance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary七、气隙的刻蚀七、气隙的刻蚀通过通孔H3来对多晶硅进行刻蚀，形成气隙A3。 注意事项：在干刻蚀过程前在约140摄氏度的温度烘焙该FBAR约10分钟，以便防止二氟化氙形成HF污染衬底101的表面。jAdvance Wireless Semiconductor DivisionHunterSun Electronics Co., Ltd. Confidential and Proprietary总结总结
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
评论
0/150
提交评论