冷等离子体改性设备

1、冷冷等离子体改性设备等离子体改性设备PART 1. 真空冷冻干燥机真空冷冻干燥机 工作原理 用途 操作步骤 操作中注意事项 操作中的异常情况及处理方法1.1冷等离子体改性设备的冷等离子体改性设备的工作原理工作原理等离子体 (中文)=PLASMA (英文)=电浆(台湾)等离子体的发现:1879、英国物理学家、 William Crookes-物质第四状态1929、美国化学物理学家、 Langmuir-等离子体等离子体定义：部分或是全部电离的气体；主要包括：电子、离子、中性基团、分子、光子1.1冷等离子体改性设备的工作原理冷等离子体改性设备的工作原理等离子体成分,对外呈现电中性物质的第四种形态1.

2、1冷等离子体改性设备的工作原理冷等离子体改性设备的工作原理在减压（1.331330Pa）和高频电场下发生辉光放电，少量气体分子被电离产生高温电子，穿梭在常温或接近常温的气体中发生碰撞，此时电子温度高达104105K，而气体的离子和分子的温度与环境相同，远远低于电子的温度，这种非平衡体系称为冷等离子体。非平衡性对等离子体化学与工艺过程非常重要。这意味着：一方面电子有足够高的能量使反应物分子激发、离解和电离；另一方面反应体系又得以保持低温乃至接近室温。1.1冷等离子体改性设备的工作原理冷等离子体改性设备的工作原理1.1冷等离子体改性设备的工作原理冷等离子体改性设备的工作原理1.1冷等离子体改性设备

3、的工作原理冷等离子体改性设备的工作原理冷等离子体改性设备的组成示意图：1. 真空反应室。2. 真空系统及测量设备。3. 充气系统及流量测量设备。4. 放电系统和射频电源。5. 设备电路控制系统。1.1冷等离子体改性设备的工作原理冷等离子体改性设备的工作原理冷等离子体改性设备的结构真空泵及卡箍的结构1.1冷等离子体改性设备的工作原理冷等离子体改性设备的工作原理1.2 冷等离子体改性设备的用途冷等离子体改性设备的用途AApplication for Us1.2 冷等离子体改性设备的用途冷等离子体改性设备的用途Application for Us1.2 冷等离子体改性设备的用途冷等离子体改性设备的用

4、途Hydrophobic Modification1.2 冷等离子体改性设备的用途冷等离子体改性设备的用途Hydrophobic Modification1.2 冷等离子体改性设备的用途冷等离子体改性设备的用途1.3 操作步骤（操作步骤（From Instruction ）1.3 操作操作步骤（步骤（From Instruction ）1.3 操作步骤（操作步骤（Our Experience） 开电源，打开总开关。 将样品放置在真空反应室，将装有改性剂的具塞单口烧瓶与设备单体入口连接。1.3 操作步骤（操作步骤（Our Experience） 确认各外接气阀为关闭状态（包括活塞）； 检查密封圈

5、完好且无杂物的前提下，罩上反应室金属面罩； 打开真空计、真空泵；等待真空度下降至实验所需的要求，并确保真空泵运行过程中无异响。1.3 操作步骤（操作步骤（Our Experience） 按Uf灯预热电极（完毕后Ua绿灯亮）； 旋开单体瓶活塞； 按下板压开关绿色按钮（Ua绿灯）；1.3 操作步骤（操作步骤（Our Experience） 缓缓调节Ua功率调节按扭，观察功率计，把功率调至真空室气体起辉，然后反复调节匹配电容C1和C2，直至反射功率最小（切忌反射功率太大，否则易坏元器件）。1.3 操作步骤（操作步骤（Our Experience） 按下计时器开关绿色按钮，计时器开始计时。（实验前，必

6、须预先设定好工作时间）1.3 操作步骤（操作步骤（Our Experience） 工作时间到，计时器报警。 逆时针调节板压电位器旋钮Ua到最低位置。按下板压开关红色按钮切断板压电源，再按下橙色 灯丝按钮。（如果连续工作不必关闭橙色灯丝按钮） 关闭真空。 打开放气阀门，缓慢放气，当反应室内处于大气压后，再打开反应室盖板，取出实验样品。1.4 操作操作中注意中注意事项事项 实验过程中注意做好防毒措施，尽量在有人知晓的情况下完成实验，处理后的工件不可用手触摸。 气氛置换时必须对腔体充气510分钟，清除置换前的残留气体。 射频源的操作和气源供给的操作必须由二人同时完成，不可一人单独操作。 设备不工作时，真空室必须保持真空状态（每隔一周抽真空到本底）。 设备放置场所必须保持清洁，不可扫出浮尘。 真空室内不可放置金属工件（除电极外）。 为防止功率计表头损坏，实验开始时必须使功率计量程Pf位于2000档，然后再根据实验实际工作量程换档。 真空泵的使用请按规执行。1.5 操作操作中的中的异常情况及处理方法异常情况及处理方法1. 真空度达不到正常工作要求 检查真空泵与主机之间连接，卡箍是否正确卡紧。 检查有机玻璃罩下端平面是否