第谐振式传感器学习教案

1、会计学1第第 谐振谐振(xizhn)式传感器式传感器第一页，共65页。第1页/共64页第二页，共65页。第2页/共64页第三页，共65页。第3页/共64页第四页，共65页。1 基本(jbn)结构第4页/共64页第五页，共65页。第5页/共64页第六页，共65页。2 闭环自激第6页/共64页第七页，共65页。第7页/共64页第八页，共65页。第8页/共64页第九页，共65页。第9页/共64页第十页，共65页。第10页/共64页第十一页，共65页。第11页/共64页第十二页，共65页。第12页/共64页第十三页，共65页。第13页/共64页第十四页，共65页。幅相特性(txng)第14页/共64页

2、第十五页，共65页。第15页/共64页第十六页，共65页。第16页/共64页第十七页，共65页。第17页/共64页第十八页，共65页。第18页/共64页第十九页，共65页。第19页/共64页第二十页，共65页。3 敏感(mngn)机理第20页/共64页第二十一页，共65页。第21页/共64页第二十二页，共65页。4 谐振子的Q值第22页/共64页第二十三页，共65页。第23页/共64页第二十四页，共65页。第24页/共64页第二十五页，共65页。第25页/共64页第二十六页，共65页。第26页/共64页第二十七页，共65页。第27页/共64页第二十八页，共65页。5 设计(shj)要点第28页

3、/共64页第二十九页，共65页。6 特征(tzhng)与优势第29页/共64页第三十页，共65页。第30页/共64页第三十一页，共65页。第31页/共64页第三十二页，共65页。第32页/共64页第三十三页，共65页。第33页/共64页第三十四页，共65页。第34页/共64页第三十五页，共65页。第35页/共64页第三十六页，共65页。第36页/共64页第三十七页，共65页。第37页/共64页第三十八页，共65页。lTlf 21TTTlTTlfll12121第38页/共64页第三十九页，共65页。 fTTfTTTT020181214flTfkl281dd第39页/共64页第四十页，共65页。第

4、40页/共64页第四十一页，共65页。第41页/共64页第四十二页，共65页。第42页/共64页第四十三页，共65页。第43页/共64页第四十四页，共65页。第44页/共64页第四十五页，共65页。第45页/共64页第四十六页，共65页。ffc Whp01121/Whc WhrEhppp/()32443 116第46页/共64页第四十七页，共65页。ff crEhp31320 1244()021ff4421032)1 (3ddEhrcfpfk第47页/共64页第四十八页，共65页。第48页/共64页第四十九页，共65页。第49页/共64页第五十页，共65页。第50页/共64页第五十一页，共65

5、页。pa ffb ffc ff()()()00203第51页/共64页第五十二页，共65页。ffBp01BErh3 1423()第52页/共64页第五十三页，共65页。ff Bp02021ff2dd0Bfpfk第53页/共64页第五十四页，共65页。第54页/共64页第五十五页，共65页。第55页/共64页第五十六页，共65页。第56页/共64页第五十七页，共65页。paffbffaffbff 00200211第57页/共64页第五十八页，共65页。ffap00ffabafpfk0dd第58页/共64页第五十九页，共65页。端盖 端盖 电极 电极 空腔 空腔 振子 p p 压敏石英振子结构原理图 第59页/共64页第六十页，共65页。66021Ehf 第60页/共64页第六十一页，共65页。1 2 3 4 5 6 7 8 p 振膜式压力传感器原理结构 第61页/共64页第六十二页，共65页。4 3 2 1 9 8 7 F 振梁式力传感器 测量电路 5 6 第62页/共64页第六十三页，共65页。p1 1