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文档简介
1、Faic本设计操0厂开始:打开TFCalc软件:1:File(文件目录)用此目录来读取、写入和打印膜系档。一下主要介绍每个目录项:a:NewCoating(创建新膜系)开始创建一个新的膜系,如果在TFCalc程序同一目录下存在一个膜系名为DEFAULT,那么就会打开此膜系檔。快捷键:Control-Nb:Environment(环境参量)当打开新I的或从磁读出TF匚ale-lintitied文件时,窗_会弹出。信/息叫做膜系设计”1'。FilsEditMe-di£y童屮Referencewavelength(参考波长)与指定膜层1/4波长(QWOT)相关,改变参考波长TFCa
2、lc将优先改变光学厚度,继而所有膜层的物理厚度也随之改变。通常用入o来表示。Substrate(基底)基底是在基底命令下的选项,此名称在使用前必须先定义。基底被看作是一个没有干涉效应的块状介质。而如果它是吸收材料那么就看作只有衰减效应的介质。Exitmedium(出射介质)在基底目录下的选项,此名称在使用前必须先定义。如果基底材料与出射介质相同(没有backlayers),那么基底可看作是无限大厚度的(在后表面没有反射);如果他们不同,那么就要考虑到若干反射。同样的,如果基底材料与出射介质相同(没有backlayers),那么计算所得的透过率就是基底的透过率,如果不等,那么基底的透过率就可以计
3、算出来。2:Edit(编辑目录)编辑目录列出了标准Windows目录,你可以使用这些命令来编辑你所需要的文本。下面主要讲述每一个目录项。Undo(撤销命令)Undo在当前的程序中是无效的,如果你犯了错误,此命令对你没有任何帮助。Cut(剪切)移除你选定的文本,文本被保存在剪切板里。Copy(Copy)复制你选定的文本,文本被保存在剪切板里。Paste(粘贴)将剪切板里的内-容-I插八光'标厂八II的位置。Clear(清除)将选定的文本擦除。3:Modify(修改目录)设定所要求的规格参数:a:Targets-Discrete(单点目标)显示优化膜系的单点目标。单点目标是在单点波长上的目
4、标。程序可以帮助你设计多达5000层具有指定折射率、透过率、吸收率、PSI、密度、颜色、亮度或相移的膜系。在所有优化开始前必须输入目标,对每个单点目标你必须指定:JnlxiFilegditMoii£yRunResiiltsMisc.Helpb:OptionsMenu(选项目录)当特定窗(例如膜层、目标、图表)被启动时,此目录显示。下面主要介绍前五个目录项。因为选项1、2和3是特定为各自窗服务的,需要查阅相关部分来获取更多细节。jTFCalc-untitled-Inix|FileEditMocifyRunResult;Vise.HepAdd(增加)在启动窗中增加输入的数量。例如,在膜系
5、设计的“单点目标”中增加单点波长上的目标,先选定单点波长上的目标窗再选此命令。Delete(删除丿同上c:Targets-Continuous(连续目标)显示优化膜系的连续目标。连续目标是在连续波长上的目标。最多可有100个连续目标。不论是单点或连续目标都必须在优化前输入。对每一个理想目标,你必须设定:TFCalc-untitledd:Materials(材料)此选项使你可以显示和修改膜系材料。材料名称按照字母顺序排列。RunResultsMisc.Helpupticns凶TFCalc-untitled2Material:SI02MaterialsSubstratesIlluminantsDe
6、tectorsDistributionsEFileEditModifyEnironment.StackFormula.Layers-FrontLayers-BackGroupsTargets-DiscreteTargets-ContinuousTargets-Cone-AngleCommentsVariableMaterialsMixzureMaterialsEnyironmente-InlxlIII02Datum1234Wavelength300.0350.0oo490.0IndexN1.4781.4721.4671.463IndewK0.00.00.0Q0ffiOpticnse:Subst
7、rates(基底)此选项使你可以显示和修改任何基底的光学参数。基底材料名称按照字母顺序排列。入射材料和出射材料(例如空气和水)是与基底材料存放在一起的。-!x|FileEditModifyRunResultsMisc.HelpTFCalc-untitledEnvironment.StackFormula.Layers-FrontLayers-BackGroupsTargets-DiscreteTargets-ContinuousTargets-Cone-AngleCommentsVariablBMaterialsMixtureMaterialsEnvironmentsMaterialsSubs
8、tratesIlluminantsDetectorsDistributionsTFCalc-untitledFileEdi:McdiFyRunResutsMisc.HelpOptionsAIRBK7GSubstra2SlSubstrateGLASSJnlDatum1Wavelength55Q0IndexN1.52IndexK0.0EOptionsf:StackFormula(膜堆)此项使你可以用公式输入一个膜堆。公式最长可由32000个字符组成,最多可以包括由26个单个字母组成的标识。就像所述的“L”(低折射)和“H”(高折射)。使用"<<"和">
9、;>"按钮增加更多的标识。注意基底在紧靠第一层膜的左边。公式的语法十分简单。material(材料):必须是在材料库或在机动材料窗中定义过的材料。TFCalc-untitledOTFCdc-untitledStackFormula.Layers-FrontLayers-BackGroupsTargets-DiscreteTargets-ContinuousTargets-Cone-AngleCommentsVarableMateiialsMi应ureMaterialsEnvironmentsMaterialsSubstratesIlluminantsDetectorsDistr
10、ibutionsO:L:.:I-O:L-.二1IIIJEnterlhefamula.IhesubstratekIoIteIeAofIhefirstlei.MabeiialThicknessDptiffliae?GioipGetiErateLaEfsi_;ACarcsiClesrFoimdaPrirtFileEdit|ModifyRunResultsMisc.HelpEnterStackFarniulaEnvironment.当你设定好所要的参数后,选定GenerateLayers(产生膜层)按钮时,程序会依照膜层公式来改变Layers-Front(前表面膜层)窗的内容。如果你选定Cancel(
11、取消)按钮就不会有任何改变。如果你已经对膜层窗做了实质的改动,你可以使用ClearFormula(清除公式)按钮擦除膜层公式来避免你在使用膜堆公式设计时意外地取代前表面膜层。g:Layers-Front(前表面膜层)显示基底前表面膜层,基底两侧最多可各有5000层膜。FileEJitModifyRuiRejulti绷阳HepTFCalc-4_LAVER-InlxlLayer1234MalerialSI02TI02SI02TI02QWOT0.32580.32540.47850.5055rhi?kressnn30.7918.7E45.2229.15Optimize?YesVesYesYesGrou
12、p1111Constrain1?NoNoNdNoMinThickness0.0000rm0.0000nm0.0000nm0.0000nmMan.Thickness0.0000m0.0000nm0.0000nm0.0000nmNeedles?YesYesYesYeslH±1Layers-FrontOp:ioreMoreOptions这些窗显示组成膜系的膜层信息。对每个膜层你必须指定以下信息:在QWOT中的1/4波长或物理波长:注意每一层只有一个厚度需要输入,如果输入光学厚度,那么将会计算物理厚度,反之亦然。如果膜层内含有在一定波长有明显吸收的材料,那么就不可能计算通常的1/4光学厚度。
13、在此情况下,程序会显示n/a或QWOT的相近值。是否需要优化膜层。是否限制膜层厚度。以纳米或1/4波长为单位给出厚度最小和最大值。是否需要用Needle法在优化过程中加入膜层。4:Run(运行目录)a:AnalyzeOnly(只分析)快捷键:F3只分析命令程序计算当前膜系折射率、透过率、吸收率、PSI、密度、损耗和相移,它不改变膜层的厚度。在你需要修改一些参数并想看一下修改后的效果时是很有用的。一个状态窗会显示分析的进程。-InlxlFileEditModifyRunResultsMisc.HelpF4MlfCalc-untitledTFCalc-untitledAnalyzeOnlyF3Fi
14、leEditModifyRunResultsMisc.HelpInter日匚tiyeAnalysis.OptimiseDesignGlobalSearchComputeEFIComputeSensitivity匚omputeMonitor匚urveComputeLayerSensitivity.ComputeYield.SetAnalysisParameters.SetOptimizationParameters.SetGlobalSearchParaneters.5etEFIParameters.SetSensitivityParameters.SetMonitoringParameters.b:InteractireAnalysis(分析每一比或每一层参数)它可随意修改各个部位的厚度及参数,可以随时观看到你所要的光谱及膜厚。0TFCalc-4_LAYERimxiFileEditModifyRunResultsMisc,HelpOldValue:0.28
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