老化试验测试规范及工作流程

1、一、一、DMOSDMOS产品信息简介产品信息简介TO220TSSOP8SOT323平面结构图示平面结构图示立体实物图示立体实物图示G D SD SG 二、老化机台简介二、老化机台简介HR-1680(RT) HTRB/HTGB SYSTEM内部电源操作界面内部电源操作界面试验箱内部结构试验箱内部结构三、老化试验测试规范三、老化试验测试规范1）HTRB试验规范试验规范测试条件Vds=(Vds Rating) 80% , T=150样品数量80 颗数据采集点168H 对初始样品在规定条件下进行168H加速试验，然后释放应力，测试样品。500H 对已完成168H的同一批样品在相同应力条件下连续进行33

2、2小时加速试验， 然后释放应力，测试样品。1000H 对已完成500H的同一批样品在相同应力条件下连续进行500小时加速试验， 然后释放应力，测试样品。测试电路连接图应力施加在 D 端；G、S短接后一起接地。2）HTGB试验规范试验规范测试条件Vgs=(Vgs Rating) 80% , T=150样品数量80 颗数据采集点168H 对初始样品在规定条件下进行168H加速试验，然后释放应力，测试样品。500H 对已完成168H的同一批样品在相同应力条件下连续进行332小时加速试验， 然后释放应力，测试样品。1000H 对已完成500H的同一批样品在相同应力条件下连续进行500小时加速试验， 然

3、后释放应力，测试样品。测试电路连接图应力施加在 G 端；D、S短接后一起接地。100k100k四、老化试验测试工作流程四、老化试验测试工作流程0hrs FT测试168hrs后FT测试168hrs老化试验48hrs老化试验48hrs后FT测试选取80颗pass样品继续500hrs老化试验Fail 500hrs，试验结束Fail 168hrs，试验结束500hrs后FT测试Fail=2颗YesNo1000hrs后FT测试Fail=2颗继续1000hrs老化试验Fail80颗，一般为100颗)，此试验需用两块老化板同时进行实验；2.如果申请方没有要求进行48hrs，则只需从0hrs FT测试后的样品

4、中选取80颗Pass的样品，进行168hrs。48hrs老化目的：剔除样品中发生早期失效的样品浴盆曲线：I：早期失效：早期失效II：中间稳定期III：后期失效0hrs FT测试168hrs老化试验48hrs老化试验48hrs后FT测试选取80颗pass样品1.选用正确的老化板2.操作前防静电措施3.给样品编号4.样品上板5.样品入炉6.施加应力7.运行漏电流监控系统8.停止漏电流监控系统9.撤销应力10.样品出炉11.样品卸板12.送做FT测试168hrs后FT测试操作流程操作流程操作流程举例：操作流程举例：2N60_F0042A_A100539.1_08# 80颗颗 TO220 HTRB_1

5、68hrs1.选用正确的老化板选用正确的老化板2.操作前防静电措施3.给样品编号4.样品上板5.样品入炉6.施加应力7.运行漏电流监控系统8.停止漏电流监控系统9.撤销应力10.样品出炉11.样品卸板12.送做FT测试从老化柜中选取实验所需的老化板从老化柜中选取实验所需的老化板每块老化板上都写有板子的功用类型每块老化板上都写有板子的功用类型1.选用正确的老化板2.操作前防静电措施操作前防静电措施3.给样品编号4.样品上板5.样品入炉6.施加应力7.运行漏电流监控系统8.停止漏电流监控系统9.撤销应力10.样品出炉11.样品卸板12.送做FT测试1. 防静电腕带要贴紧手腕防静电腕带要贴紧手腕2.

6、 防静电腕带另一端夹紧防静电台垫防静电腕带另一端夹紧防静电台垫3. 双手都要佩戴防静电手套双手都要佩戴防静电手套1.选用正确的老化板2.操作前防静电措施3.给样品编号给样品编号4.样品上板5.样品入炉6.施加应力7.运行漏电流监控系统8.停止漏电流监控系统9.撤销应力10.样品出炉11.样品卸板12.送做FT测试对对80个器件按照顺序进行编号；个器件按照顺序进行编号；编号的目的：便于数据整理时，样品和数据能够一一对应。编号的目的：便于数据整理时，样品和数据能够一一对应。1.选用正确的老化板2.操作前防静电措施3.给样品编号4.样品上板样品上板5.样品入炉6.施加应力7.运行漏电流监控系统8.停

7、止漏电流监控系统9.撤销应力10.样品出炉11.样品卸板12.送做FT测试按照样品的编号顺序，将样品逐个按照样品的编号顺序，将样品逐个装载至对应编号的老化板测试座上。装载至对应编号的老化板测试座上。所有样品都装载完成后的老化板所有样品都装载完成后的老化板1.选用正确的老化板2.操作前防静电措施3.给样品编号4.样品上板5.样品入炉样品入炉6.施加应力7.运行漏电流监控系统8.停止漏电流监控系统9.撤销应力10.样品出炉11.样品卸板12.送做FT测试1#和和2#电源为小电源；电源为小电源；3#和和4#电源为大电源；电源为大电源；本样品的测试电压为本样品的测试电压为480V，这里选用，这里选用4

8、#电源。电源。样品入炉前，先将样品入炉前，先将4#测试电源的电压测试电源的电压逆时针调节至逆时针调节至“0”1.选用正确的老化板2.操作前防静电措施3.给样品编号4.样品上板5.样品入炉样品入炉6.施加应力7.运行漏电流监控系统8.停止漏电流监控系统9.撤销应力10.样品出炉11.样品卸板12.送做FT测试电压调节至电压调节至“0”后，因为老化机台正处后，因为老化机台正处于运行状态，若直接打开箱门放板，容易于运行状态，若直接打开箱门放板，容易被鼓风机吹出的高温气浪所伤，因此要先被鼓风机吹出的高温气浪所伤，因此要先摁一下摁一下“运行运行/暂停暂停”按钮，使得机台处于按钮，使得机台处于“STANDBY”状态后，方可将箱门打开，状态后，方可将箱门打开，然后再放入老化板。然后再放入老化板。“RUN”灯亮，灯亮，表明系统正处于表明系统正处于运行中运行中“运行运行/暂停暂停”键键1.选用正确的老化板2.操作前防静电措施3.给样品编号4.样品上板5.样品入炉样品入炉6.施加应力7.运行漏电流监控系统8.停止漏电流监控系统9.撤销应力10.样品出炉11.样品卸板12.送做FT测试老化箱内高温操作老化箱内高温操作时，双手要带上时，双手要带上耐高温防护手套