JY_石英封管培训技巧课件

1、石英封管操作规范和技巧石英封管操作规范和技巧主要内容主要内容第一部分：工序介绍第一部分：工序介绍第四部分：操作技巧第四部分：操作技巧第二部分：操作流程第二部分：操作流程第三部分：操作规范第三部分：操作规范第五部分：设备相关第五部分：设备相关第六部分：质量控制第六部分：质量控制第七部分：安全生产第七部分：安全生产工序介绍石英封管工序介绍石英封管工序介绍 石英封管是把已装好硅片、垫片、垫环、杂质源的封管，用氢氧焰把封帽石英封管是把已装好硅片、垫片、垫环、杂质源的封管，用氢氧焰把封帽和管体烧接成一体，最后抽成高真空的操作步骤。和管体烧接成一体，最后抽成高真空的操作步骤。设备及工具CY2003型封管机

2、型封管机高频火花检漏仪高频火花检漏仪设备及工具 工作台工作台氢气氢气报警报警器器设备及工具封管夹具封管夹具 氢氧焰灯氢氧焰灯设备及工具 石英抽嘴石英抽嘴石英料丝石英料丝操作流程石英封管操作流程石英封管操作流程 打开设备总打开设备总电源，开启电源，开启水、电、气水、电、气开关阀门。开关阀门。将装好的封将装好的封管夹上合适管夹上合适的夹具。的夹具。用氢氧焰烧用氢氧焰烧熔封帽口，熔封帽口，使其和管体使其和管体一体化。一体化。接上真空泵接上真空泵放在烘烤炉放在烘烤炉体内抽真空体内抽真空。设备开设备开机机夹封管夹封管氢氧焰氢氧焰封帽封帽抽气烘抽气烘烤烤用氢氧焰把用氢氧焰把封管口封死封管口封死封口封口操作

3、流程石英封管操作流程石英封管操作流程封管结束后封管结束后，关闭电源，关闭电源及设备。及设备。检验无漏气检验无漏气无异常后送无异常后送高温扩散。高温扩散。关封管关封管设备设备自检送自检送扩散扩散开机规范打开封管机电源开关打开封管机电源开关打开机械泵冷却阀门打开机械泵冷却阀门开机规范打开电源开关打开机械泵开关打开真空泵开关开机规范封管时先开氢气阀封管时先开氢气阀门门,在空气中点火在空气中点火再开氧气阀门再开氧气阀门调节火焰大小调节火焰大小 夹封管封管选择合适的夹具夹好封管选择合适的夹具夹好将夹具和封管放操作台上将夹具和封管放操作台上氢氧焰封帽一边封一边一边封一边缓慢转管缓慢转管封帽和封封帽和封管连

4、接处管连接处石英料丝石英料丝焊接抽嘴在封帽口上焊在封帽口上焊接好抽嘴接好抽嘴烧机械泵号把称源编好的泵把称源编好的泵号烧在封帽上号烧在封帽上抽气烘烤将夹具连同管一起穿过将夹具连同管一起穿过炉体确保管在炉体内炉体确保管在炉体内抽气烘烤把焊好的抽嘴和把焊好的抽嘴和抽真空系统对接抽真空系统对接打开抽打开抽气阀门气阀门抽气烘烤封管内径封管内径8282烘烤温度烘烤温度4001040010烘烤时间烘烤时间205分钟305分钟常用封管烘烤时间表常用封管烘烤时间表 封口真空度已达标（真空度已达标（510-3pa)在封帽口接口处烧熔抽嘴在封帽口接口处烧熔抽嘴实现抽嘴分离实现抽嘴分离 封口用氢氧焰把封口处烧牢固用氢

5、氧焰把封口处烧牢固把管尖压平把管尖压平下交用高频火花检漏光呈淡用高频火花检漏光呈淡蓝色为合格蓝色为合格操作技巧料丝多蘸水可防止粘连料丝多蘸水可防止粘连及形成小细丝及形成小细丝操作技巧火焰与封帽平面呈火焰与封帽平面呈30角不角不易使水汽进入封管易使水汽进入封管设备日常设备日常维护保养维护保养房间内的强排房间内的强排风要检查风要检查机械泵内的油机械泵内的油要定期更换要定期更换氢气报警器氢气报警器要经常检查要经常检查工作正常工作正常设备日常维护保养的方法设备日常维护保养的方法设备相关氢气管道氢气管道定期检查定期检查设备使用注意事项设备使用注意事项设备相关真空泵真空泵封管前要半封管前要半小时要开真空小

6、时要开真空泵，先抽取低泵，先抽取低真空，为封管真空，为封管抽高真空做准抽高真空做准备。备。氢气氢气报警器报警器 要定期用氢要定期用氢气实验报警器气实验报警器的灵敏性和可的灵敏性和可靠性。靠性。质量控制质量控制硅片烤蓝及圈印硅片烤蓝及圈印封管有沙眼真空泄露封管有沙眼真空泄露质量控制质量控制常见质量问题的原因及解决方法常见质量问题的原因及解决方法质量现象原因分析解决办法硅片表面白雾，划伤封管时水汽未被抽干，杂质源被抽出注意烘烤时间，放慢抽气速度。硅片变形、粘管封管内空间太小，硅片产生应力调整封帽位置，使管内空间合适。封管有沙眼漏气1转管速度过快2石英料丝没充分烧融1缓慢转管2烧融石英料丝硅片烤蓝硅片表面经高温后严重氧化注意氢氧焰方向和灼烧时间。石英封管安全生产注意事项石英封管安全生产注意事项设备安全方面：设备安全方面：工作台保持通风良好，氢气管道确保不泄露工作台保持通风良好，氢气管道确保不泄露氢气报警器要经常检查其有效性，工作间内不放易燃易爆物品氢气报警器要经常检查其有效性，工作间内不放易燃易爆物品。人员安全方面：人员安全方面：工作时注意高温灼伤，下班后关好水、电、气，以防事故发生工作时注意高温灼伤，下班后关好水、电、气，以防事