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文档简介

1、利用 TFC 求膜层的N 与 K 图文教程1 首先利用晶控控制沉积单层膜，厚度约4 7 个 1/4 个中心波长，这里假设在K9 基底上沉积单层ZnS 薄膜，晶控显示厚度390nm ；2然后利用分光光度计测量单层膜的反射率或透射率，测量范围最好宽些，这里测量400 1500nm ，利用 list 选项导出所测量数据，并保存为TXT 格式，这里命名ZnS.TXT,如3. 打开TFC，选择modify materials4 继续选择Add Material, 填写材料名称，选择合适的N 与 K 的拟合公式，这里选择Cauchy与 Sellmeier 公 式 ， 如 果 不 合 适 ， 可 试 选 别

2、 的 公 式 ， 点 OK 结5试填写A0 与 B1 等各系数，以后熟练可凭经验填写，点击Fit Data 选项结束此步。/ M+ p& V3 z- f) A6 根 据 实 际 情 况 填 写 各 选 项 ， 点 击 Set Constraints 结 束 此 步$ K* h* x0 s) N- p( f7 . 填 写 薄 膜 厚 度 与 是 否 优 化 ， 点 OK 离8 . 回 到 上 界 面 ， 点 击 Computer 进 行 计9 .下面为计算结果图，如果感觉结果可接受点击Accept 选项，如不接受，点击Reject 选项返回重选拟合公式，修改拟合公式系数或膜厚等参数继续计算。10 结果处理：感觉结果可接受点击Accept 选项，出现下面界面，点击convert 选项，填写 材 料 名 称 ， 点 击 OK， 即 可

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