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文档简介
1、UF200R Prober基本操作(operator)一、Prober操作流程1.上料在开机初始化之后,点击屏幕左下方的LOADER SW,点击TRAY LOCK/UNLK开锁,打开LOADER部分保护盖,放置CASSETTE,要注意CASSETTE内WAFER槽位放置正确,放置CASSETTE时将CASSETTE底部横条对准LOADER上横槽,压下两个白块,CASSETTE左右位置参照蓝色框,前后方向固定即可,将LOADER保护盖盖好,点击TRAY LOCK/UNLK闭锁2.调用DEVICE点击DEVICE PARAMETER CHANGE,在左下方点击DEVICE LIST REFEREN
2、CE,选择需要的DEVICE,点击DEVICE DATA READ,SETTING END,在主界面中会显示DEVICE的主要参数,请核对后再进行下一步3.输入LOT号点击LOT SETTINGS,可以选择使用键盘输入或者使用Barcode scanner扫描,输入完成后点击LOT SETTING END4.设定OPERATION SETTINGS点击OPERATION SETTINGS,确认上下料位置,在每个CASSETTE第一片WAFER测试时一般将STOP BEFOR PROBING设为STOP,第一片测完后改为CONTINUE5.LOAD WAFER点击LOADER SW,点击NEW
3、CST,点击屏幕下方START等待LOAD WAFER6.对针将MARK CROSS对准针尖位置,然后点击DATA IN,如果看不清针尖可以点击右上方切换光源按钮LIGHTING CHANGE7.设定起始DIE的位置将移动模式改为INDEX,将十字线移至WAFER左上角第一个DIE内,注意镜像移动,即点击方向和移动方向相反,完成后点击DATA IN8.对针痕首先要记录PROBING OVERDRIVE值,然后点击OVERDRIVE CHANGE将OD值设为0um,点击Z UP,将CARD RELATIVE Z HEIGHT由-200um提升至0um,点击Z DOWN,将记录的OD值重新输入,点
4、击Z UP,然后Z DOWN,点击IMAGE DISPLAY CHANGE观察针痕是否正常,确认后点击DATA IN!注意:只能在Z DOWN状态下点击IMAGE DISPLAY CHANGE,否则会划伤WAFER和损坏针卡!9.点击START开始测试二、调整打点位置测试完后会自动进入打点界面,点击IMAGE DISPLAY CHANGE观察打点位置,点击MARKER RE-ADJUST调整打点位置,将十字线移至合适位置后点击DATA IN即可,点击RETRY进行重复打点三、更换打点器油墨点击主界面下方的CARD CHANGE,点击CARD CHANGE START,开启MAINBODY上盖,取下打点器,更换油墨后安装打
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