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文档简介

1、MEMS与智能手机MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。何谓MEMS？MEMS的应用领域能量域和换能器传感器执行器MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。何谓MEMS传感器？重量轻重量轻体积小体积小成本低成本低功耗低功耗低适于批适于批量生产量生产可靠性可靠性高高易于集易于集成成易于实现易于实现智能化智能化 加速度计 陀螺仪 压力传感器 话筒 其它MEMS传感器在手机中的应用 MEMS加速度计用于测量载体的加速度，并提供相关的速度和

2、位移信息。 MEMS加速度计主要分为电容式、压电式和电阻式三种。MEMS加速度计 压阻式加速度计通过压敏电阻阻值变化来实现加速度的测量，其具有结构、制作工艺和检测电路都相对简单的特点。 电容式加速度计利用惯性质量块在加速度作用下引起悬臂梁变形，通过检测其电容的变化就可获得加速度的大小。 压电式加速度计运用采用压电效应，运动时内置的质量块会产生压力，使支撑的刚体发生应变，最终把加速度转变成电信号输出。 根据终端设备的指向，MEMS加速度计可以把图像、视频和网页进行旋转。通过上下左右倾斜手机，还可以查看手机菜单，只要轻轻击打手机机身，就可以在屏幕上选中不同的图标。有了MEMS加速度计，还能检测到用

3、户抖动手机的MP3播放器的动作，这个简单的手势可以让播放器跳到下一首歌或返回到上一首歌。 MEMS 陀螺仪是一种振动式角速率传感器，其特点是几何结构复杂和精准度较高。 MEMS陀螺仪能够测量沿一个轴或几个轴运动的角速度，是补充MEMS加速度计的理想技术。MEMS陀螺仪 加速度传感器可测量位移，陀螺仪可测量方向，二者结合可以直接测量运动矢量。 如果组合使用加速度计和陀螺仪，系统设计人员就可以跟踪并捕捉三维空间的完整运动，为最终用户提供现场感更强的用户使用体验、精确的导航系统以及其它功能。 MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪（压阻型感测）来测量这种形变，也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。 MEMS压力传感器可用于测量楼层高度、气压，精度更高的话甚至可以用来测量身高。MEMS压力传感器 MEMS运动控制技术使得现在手机只有数量很少的按键，不再有普通的键盘。 向手机输入信息时，用户在空中书写数字和字母，M

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