分析电子显微镜的构造及其功能

1、会计学1分析电子显微镜的构造及其功能分析电子显微镜的构造及其功能/h mv221mveU meUv2 Uemh022151U.200212cmeUUemh/202cmmceU201cvmmU/kV/nmv/(1011mms-1)400.006 011.121 6600.004 371.338800.004 181.5061000.003 701.6442000.002 512.0795000.001 422.5871 0000.000 872.822图1.1 电磁透镜聚焦原理 2r)(INUKf 图 1.2 电磁透镜的像差球差像散色差MCr3ss 3sssCMrr/AAfrAfEECr00图1

2、.3 透射电子显微镜的剖面图 图1.4 电子枪结构示意图1阴极； 2栅极； 3阳极；4电子束交叉点 图1.5 LaB6电子枪的结构原理图 图1.6 场致发射电子枪结构原理图 类型钨丝LaB6热场发射冷场发射亮度(200kV)/(Acm-2sr-1)5105510651085108光源直径/ 50 500.010.10.010.1阴极温度/K2 8001 8001 6001 800300工作真空/Pa103105107108寿命/h602001 0001 0002 0002 000稳定性/h-11%3%6%5%能量发散度/eV2.31.50.60.80.30.5m图1.7 典型的磁透镜剖面图 图

3、1.8 照明透镜系统的光路图(a) TEM模式(b) EDS模式(c) NBD模式(d) CBED模式图1.9 聚光镜电子束对中系统工作原理图 图1.10 样品台及其双倾旋转方向 图1.11 加热和冷却侧插式样品架外观 图1.12 物镜极靴剖面图 图1.13 慢扫描CCD剖面图 图1.14 成像板记录图像和再生的原理 表表1.3 成像板和慢扫描成像板和慢扫描CCD摄像机的性能比较摄像机的性能比较 像素尺寸像素数目动态范围特 征使用时的注意事项成像板25m25m (50m50m) 3 0003 760(2 0481 536)45个数量级和底片一样可以装在各种电子显微镜中有衰减特性慢扫描CCD24

4、m24m1 0241 024(2 0482 048)4个数量级可在几秒钟内采集图像电子射线饱和时，图像上出现人为的假象注：关于像素尺寸和像素数目，列出的是有代表性的通用的系统，其他型号的值作为参考列于括号中。注：关于像素尺寸和像素数目，列出的是有代表性的通用的系统，其他型号的值作为参考列于括号中。 图1.15 分析电子显微镜和它的各种附属装置的框图 图1.16 三透镜成像原理图 pio3MMMM oMiMpM3M1oLoiZipZ2pLpf1p2pp111LLf1pLipZ2iLipZ1pLifif1 iLif1 iL1 i2ii111LLf0f1 ioi2oLZL1 iL2oL1oL0fpo

5、i2ipio31MMfLMMMM图1.17 总倍率与中间镜电流的关系图1.18 小孔径角成像 nCdsin 6103s/.Cd/.6103s41sopt3610/.C1.2 413sACAd/min3opt105210 图1.19 由金的晶格条纹像所测定的线分辨率AAfrAf图1.14 成像板记录图像和再生的原理 表表1.3 成像板和慢扫描成像板和慢扫描CCD摄像机的性能比较摄像机的性能比较 像素尺寸像素数目动态范围特 征使用时的注意事项成像板25m25m (50m50m) 3 0003 760(2 0481 536)45个数量级和底片一样可以装在各种电子显微镜中有衰减特性慢扫描CCD24m24m1 0241 024(2 0482 048)4个数量级可在几秒钟内采集图像电子射线饱和时，图像上出现人为的假象注：关于像素尺寸和像素数目，列出的是有代表性的通用的系统，其他型号