第三版清洗工艺手册

1、国电兆晶切片工艺手册0目录前言1第六章 清洗、分选工序1一 工序说明1二 工艺流程图1三 主要设备1四 环境标准2五 主要工艺参数2六 过程控制点2七 成品标准3附件.4一 切割原理4二 碳化硅粉4三 切割液5I国电兆晶切片工艺手册前言文件说明： 本文针对切片工艺参数、过程控制点以及常见异常问题等作较为系统的总结。编制目的： 加强切片车间在线管控，提高技术人员现场分析问题能力，快速解决现场问题。适用范围：硅片清洗分选。 清洗、分选工序一 工序说明 将硅片清洗干净，包装入库。二 工艺流程图 硅片清洗插片取片、去胶预清洗、脱胶插挡板，上料 检测机械手上片包装硅片进档 三 主要设备序号类型名称型号厂

2、家1主硅片脱胶机QZTJ-PV800强众超声科技2主全自动硅片清洗机SG2Y40-10CD张家港市超声电器有限公司3主改装全自动硅片清洗机C6-60张家港市港威超声4主插片机TC-2400无锡市南亚科技有限公司5主甩干机SG10C无锡奥曼特6检测硅片分选机WTS-3000FWAS-300 台湾台达Fortix四 环境标准洁净度：清洗地面尽量不能有积水（防止员工滑到）、胶丝和其他的脏东西；所用物品需摆放整齐，归类摆放。温湿度：温度25±5，湿度无要求。五 主要工艺参数脱胶脱胶温度每槽时间脱胶剂用量得力胶70±5美国胶60±5一槽二槽三槽四槽13L/75刀料1600s

3、600s600s600s料2600-1200s600-1200s600s600s改装全自动清洗机槽号1#2#3#4#5#6#清洗剂用量（双组份）设定温度（）404055-6055-604040A组分2L、B组分1L清洗两刀后，添加A组分1L、B组分0.5L，清洗两刀后添加A组分1L、B组分0.5L，再清洗两刀后全部更换循环时间（s）130全自动清洗机槽 号1#2#3#4#5#6#7#8#9#烘道清洗剂用量（双组份）设定温度（）40404055-6055-604040408570A组分5L、B组分2.5L清洗6刀后，添加A组分3L、B组分1.5L，再清洗6刀后全部更换清洗时间（s）1901901

4、9019019019019017060195改装全自动清洗机槽号1#2#3#4#5#6#清洗剂用量（单组份）设定温度（）404055-6055-604040药水槽各加入4L清洗剂清洗4刀后，再各加入2L后清洗至下班循环时间（s）130全自动清洗机槽 号1#2#3#4#5#6#7#8#9#烘道清洗剂用量（单组份）设定温度（）40404055-6055-604040408570药水槽各加入8L清洗剂清洗6刀后，再各添加4L，清洗至下班清洗时间（s）19019019019019019019017060195六过程控制点序号分类控制点标准设定操作方法检验仪器影响结果备注1脱胶温度美国胶65±

5、5得力胶70±5固定（工艺设定）硅片脱不下来/小崩边根据生产需要可在此基础上稍做调整时间600s-1200s固定（工艺设定）硅片脱不下来/硅落、毛边根据生产需要可在此基础上稍做调整脱胶剂用量13L/75刀固定（工艺设定）量筒小崩边喷淋头堵塞不堵塞目测崩边过滤槽清理脱胶机水箱中的过滤槽需每班清理一次喷淋头堵塞2插片指纹片无双片，插片无声，满水插片戴胶手套操作分选机不能为A品对电池制绒有影响周转小车侧面垫海绵擦胶后的硅片放进周转小车时，侧面需垫上海绵目测碎片周转小车底部异物清理将每一刀擦胶后的硅片放入周转小车前，需将小车中的异物清理干净目测碎片、硅落、毛边过滤网清洗每班对插片机金属过滤网

6、以及塑料过滤网进行一次清洗目测影响插片质量换水每班需对插片机至少一次换水目测影响插片质量如果出现硅片较脏导致插片机中水较脏情况，需及时换水插片盒底部垫海绵插片时，需在插片盒下面垫上海绵目测硅落、毛边3清洗清洗槽温度30-60固定（工艺设定）脏污/水印如果有水印产生可适当调高温度烘道70-80每槽时间170-300s固定（工艺设定）脏污/水印如果有水印产生可适当调长时间柠檬酸、氢氧化钠使用当出现预清洗后硅片表面残留大量砂浆时，在预备槽中加500g柠檬酸，在三、四两槽中各加250g氢氧化钠脏片清洗空片盒每次添加清洗剂后，需洗一篮空的插片盒后再进行硅片清洗清洗机不均匀导致脏片滤芯更换每天需将清洗机过

7、滤器中的滤芯进行一次更换损坏清洗机喷淋泵清洗槽内异物清理每班换水时需将各个槽中的碎硅片等异物清理干净目测碎片、损坏清洗机甩干甩干机空气喷嘴用两层无尘纸包住，并用细线扎好目测脏片每班更换一次4机器清洗脱胶机、清洗机将脱胶机和清洗机中的水排放干净，并将机器中的碎硅片等杂物清除掉目测脏片每班清洗一次5分选指纹片硅片表面无任何脏污戴胶手套操作分选机不能为A品影响电池制绒碎片不良品崩边掉角片崩边/缺角的片子用改进的插片篮分选机不良品6包装指纹片硅片表面不能有任何脏污戴胶手套操作分选机不能为A品影响电池制绒碎片不良品七 成品检验标准1、材料特性特性规格检验仪器或依据标准生长方式DSS导电型号/掺杂剂P/B

8、oronASTM F42氧含量5.0 × 1017 atoms/cm³ASTM F1188碳含量8.0 × 1017 atoms/cm³ASTM F13912、电学特性特性 规格检验仪器或依据标准抽样方案电阻率13 ·cm电阻测试仪或硅片分选测试仪每根晶棒抽取15片（头、中、尾分别抽取5片），超过两片不合格则全检少子寿命1 µs少子寿命测试仪或硅片分选测试仪3、几何尺寸特性规格检验仪器或依据标准抽样方案厚度200 ±20µm硅片分选测试仪每根晶棒抽取15片（头、中、尾分别抽取5片），超过两片不合格则全检TTV30

9、µm硅片分选测试仪翘曲度 50µm硅片分选测试仪宽度156 ±0.4mm游标卡尺或硅片分选测试仪直角度90° ±0.3°硅片分选测试仪对角线219.2 ±0.4 mm游标卡尺或硅片分选测试仪倒角尺寸斜边0.52.0mm（max-min0.5）目测或游标卡尺直角边0.35-1.42mm斜角度45 °±10°目视或万能角度尺隐裂无目测或硅片分选测试仪线痕 15µm硅片分选测试仪或粗糙度测试仪 全检崩边崩边深度0.3 mm，长度0.5 mm；最多每片2个目视或硅片分选测试仪孔洞无目视或硅片分

10、选测试仪缺口无目视或硅片分选测试仪微晶单个微晶面积<3×3mm2；整个微晶区域面积<3×3cm2目视或硅片分选测试仪表面质量表面无损伤、无污点、无水渍、无污渍目视或硅片分选测试仪分类包装：根据硅片标准将硅片进行分类，放入包装盒内，每50片一张静电纸，每100片一张珍珠棉，硅片盒子两端各放一张硬纸板。最后根据情况适当加入纸板或珍珠棉保证硅片不在硅片盒内晃动。并在硅片包装盒上，贴好标签，填写相应项（具体事项详见分选作业指导书）。附件一 切割原理切割过程中，利用碳化硅粉的坚硬特性和锋利菱角将晶棒逐步截断，这一过程会伴随着较大的摩擦热释放，同时由于碳化硅粉与晶棒之间的碰

11、撞和摩擦而产生的破碎碳化硅粉和硅粉也将混入切割体系中。切割液的主要作用是使砂浆具有良好的流动性，碳化硅粉能够在切割体系中均匀稳定的分散，在钢线的高速运动中以均匀平稳的切割力场作用于晶棒表面，同时及时带走切割热和破碎颗粒，保证硅片的表面质量。二 碳化硅粉黑色碳化硅粉绿色碳化硅粉等积碳化硅粉扁平状碳化硅粉 产品规格粒度分布m化学指标%D3<D50D94>水份含量<0.15%800#2013.0-14.59.01500#14.58.0-8.64.5检验包装，无破损，无结块例如800#碳化硅粉粒度分布：三 切割液水溶性切割液基本不含有水，产品为透明的真溶液，不需添加增稠剂，通过结构及配方调整即可达到所需要的粘度，产品性能稳定，对设备腐蚀性较小，切割效率及成品率均较高，且产品易于回收，是现阶段普遍使用的一种切割液。现在使用奥克切割