混合微电路技术：第五章 电阻器的调整_第1页
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第五章 电阻器的调整了解电阻器的调组方法；了解探针测量技术；了解电阻微调方法；5.1激光调阻掺钕的钇铝石榴石(YAG)晶体不可见，因此结合红色的氦氖激光，方便定位聚焦撞击材料，加热后材料气化去除重叠光斑激光切割刨面激光调阻切口的俯视图激光微调术语5.2喷砂调阻慢，阻值稳定，不用热，因此无应力或机械微裂产生，电阻碎屑成为污染细粒的砂在高压下通过小的喷嘴，摩擦并移去不需要的电阻材料去掉材料形成切口减小电阻器膜的厚度5.3电阻器的探针测量技术探针卡两探针两根探针放在电阻上进行测量电阻误差0.2欧姆两探针系统四探针四探针系统5.4电阻微调的类型直线切割双线切割L形切割扫描切割蛇形切割电阻微调激光切割的类型5.5特殊要求雷电保护功能雷电产生高压，L形切割和直线切割等有尖角和窄的切口的微调图形，大的电压梯度会在在切口上形成飞弧Teradyne公司制造的w429系统的算法微调系统从数据库中选择适当电阻器模型及对应算法，然后驱动激光进行U形切割提高生产率激光微调工作台，W429

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