利用TFC求膜层的N与K图文教程

1、利用TFC求膜层的N与K图文教程1.首先利用晶控控制沉积单层膜，厚度约47个1/4个中心波长，这里假设在K9基底上沉积单层ZnS薄膜，晶控显示厚度390nm；2.然后利用分光光度计测量单层膜的反射率或透射率，测量范围最好宽些，这里测量4001500nm,利用list选项导出所测量数据，并保存为TXT格式，这里命名ZnS.TXT,如图所示：r_.二-coating.ISrris.iEt012545678501234s6?8_yft-123ooO0000000-11111111112225444444444444444444444444OOOOOOO-OOO-OOQOOOOOOO-OOOOS.51

2、65-9237S.5SS5開賢8.2112Q.1306109911.13S212.2048品2?3414.4126IE.5352塢，曰阳017.7706IS.SS11碍RS6721.023022.060623loaoa24.0239：-l.:小小25.832225.572S27,4碍3.打开TFC,选择modifymaterials(rl*-elekIK巩北幽l订hl4.继续选择AddMaterial,填写材料名称，选择合适的N与K的拟合公式，这里选择Cauchy与Sellmeier公式，如果不合适，可试选别的公式，点OK结束。Mateiialtoadd.TaUeofnandkarrnuiaf

3、ormulafornFrirnriylgtypeFqiknl.兀）=AoHFiihtAll1Ii&ta.BgrintalN：ies,coatine.耳Emnetaii商f*LancelAddlaterialASubstrateNa*e5.试填写AO与Bl等各系数，以后熟练可凭经验填写，点击FitData选项结束此步。coatint.ISMaterial:IHSWavelengthrange戲）;U.4怕1.5CauchyAanCM=A0+-十#0KPrint.Convert.匚ancelComment.Fii:Data.rMEhnmdfri1欣如基哄与窗层瞬虧根推吾苛反射，可慢据实阳悄况埴写2

4、匹星遥刖UwduWiLEiaMVFI.SQI詁船H：版Lhfu*l恤1r出卄俠“IMirr出關nIM-fLL7.填写薄膜厚度与是否优化，点OK离开。：1.te2a,I：2?jtsFonop厂1-1.030DOfl.0420t.5rrl.Offfi0.0wr|-1.0r20QlO门r|-10ft2Q14ta3OCjBt尊9.下面为计算结果图，如果感觉结果可接受点击Accept选项，如不接受，点击Reject选项返回重选拟合公式，修改拟合公式系数或膜厚等参数继续计算。coatine.?18meanet3.00.0100200300400500j/velengthincrement松J:0.02OK

5、CancelB3:4.95188KConV-erL一股此值越小计算越谁确Deviation:0.786E3:4.95188051A1:225457983e-2Iteratiori：5coatine.18msnetB1:1.5193731OelB2：-1.71084957elAO:2:3.193648A2:-2.43819197e-4B1:1.51937310e11.71084957elThiMhn);407.02710.结果处理：感觉结果可接受点击Accept选项，出现下面界面，点击convert选项，填写材料名称，点击OK,即可保存所计算的N与K值，如下图所示。完工。A0;j2-：32193648A1;:Print.L-ancelComment.FitData.Cduchrin(=A0ConvertdispersionformulatotabulardataNewnsme:SellnneierRejectWavelergthrange愉:0.4DataFile1IndexNIridexKIZN511DaLufn000J927O4C.0DS23G1CQQ09522S1CC