三甲基铝安全使用说明书

1、 电子级三甲基铝请在使用本产品前认真阅读本安全产品说明书电子级三甲基铝作为化合物半导体沉积的铝源。应用于发光二极管、激光二极管、晶体管离性能和离效率太阳能电池中。它还用于硅半导体产业化学气相沉积过程中。1物理性能分子式(CH3)3A1分子量72.09CAS号75-24-1外观清亮透明液体沸点127C(760mmHg)熔点15C液体密度0.752g/ml(20C)蒸气压力at10C(283.15K)4.87torrat15C(288.15K)6.57torr蒸汽压方程logP(torr)=B-A/T(K)A=2134,B=8.224危害识别三甲基铝为易燃液体，遇水剧烈反应。接触皮狀时可能导致严重

2、的烧伤。烟雾可能会导致皮狀和眼睛不适。由丁三甲基铝及其分解物屈有毒物质，应避免吸入。建议急救接触大量三甲基铝和及其副产品后应立即就医。急救人员应配备相应的防护装备（呼吸器具等），以防止三甲基铝在空气中H燃或与水反应发生的爆炸等潜在危险。皮肤接触立即排出产品所在区域范围内的水，在未接触皮肤时尽可能快的装备好防护用具。用肥皂和水清洁可能接触到的三甲基铝，包括头发和指甲下的肌肤等部位。并立即就医咨询。眼睛接触戴隐形眼镜的人员，尽可能不要接触三甲基铝。三甲基铝误入眼睛时，应立即用大量清水冲洗至少15分钟。并拨开眼脸以保证彻底冲洗，同时立即就医咨询。吸入吸入时可能导致过敏。作业人员应快速转移到安全区域，

3、立即使用独立呼吸器具。如呼吸困难，应给氧。如呼吸已停止，应进行人工呼吸，并立即寻求医疗援助。FIRE灭火措施灭火器械金属有机化学材料发生火灾时，只能使用干粉、纯碱或石灰灭火，绝对不能使用水、泡沫或卤代化合物灭火。为保险起见，三甲基铝在储运和使用过程中应远离火源。暴露的危险在已控火灾中，三甲基铝在暴露的空气中或与水接触时会重新燃烧。专用防护设备防火服装、独立呼吸器具、而罩、安全护目镜、安全鞋和抗火手套。意外泄露措施个人预防措施发生意外时，所有人员应撤离危险区域，并使用适当的防护设备，确保足够的通风。在尝试处理现场时应先用悄性气体保护设备。如果容器或阀门发生泄漏,立即呼叫紧急电话。环境的预防措施在

4、确保安全的前提下，尽可能的试着处理泄露的区域。防灭火措施见第4节。清理方法具体方法请联系合林。6、包装和运包装任何接触三甲基铝的设备都必须保证彻底清洁并保持密闭状态。使用前，必须排除系统内所有的空气和水分。运输三甲基铝为金屈有机化合物，液体，燃，遇水剧烈反应。包装运输应符合相关安全规则。特殊保护呼吸保护呼吸器具可供紧急使用。通风大型通风设备。废气排放防止大量的铝氧化粉尘散入空气中。防护手套耐火手套保护眼睛安全护目镜或面罩。其他保护安全鞋、安全淋浴、洗眼喷头和防火服。8、定性和反应性预防措施空气中易白燃。避免与水、空气或其它氧化剂接触。氧化分解产物铝氧化灰尘、CO、C02,具有一定危险性。9、毒理学资料铝氧化灰尘形成这种化合物氧化时可能会导致试验动物肝脏和肾脏的毒性作用。铝氧化粉尘作业（三甲基铝燃烧时）不属是剧毒操作。IARC、NTP和OSHA并未将三甲基铝列为致癌物质或潜在致癌物质。TSCA清单上列出三甲基铝为有毒物质。根据对该产品己有信息的了解,我们可以保证本安全说明书内容的准确性,但并不保证其完整性。由丁在本品使用过程中可能存在未知因素,因此我们不能保证其安全使用。同时因使用本产品造成的损害,我们不承担责任。所有化学品本身就存在未知的健康