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1、 ODF段检查机简介及量测项目部门作成人日期Cell-ODF苏振宇2013-08-14目录SZK机台简介及测量项目2HTK机台简介及测量项目3PGK及CGK机台简介及测量项目4ODF工程检查站点概要1ODF工程检查站点概要ODF工程检查站点概要SZK机台构造及测量项目SZK机台构造及测量项目HTK机台构造及测量项目HTK机台构造及测量项目9-白光干涉原理准确测量PS高度-压电转换器纳米级别精确定位-PZT微动控制，再现干涉波形测量原理测量实现123测量控制10y3y2y1y波的重叠原理波在介质中重叠时，质点的震动位移为各波分 别造成的位移的矢量和。光强的重新分布被称作“干涉条纹”11干涉条纹干

2、涉条纹明条纹：光强加强点组成暗条纹：光强减弱点组成形成条件：频率相同震动方向一致相位差为012反射 100% 反射 50% 透光 50%Sample分光镜实现光路一分为二，保证干涉的形成。13使用3D非接触式纳米检测系统. 利用白光干涉原理，实现柱高测量。Z轴自动聚焦，聚焦高度为面内生成干涉条纹处。Z轴聚焦 以聚焦高度为基准位置，PZT微动拍照。PZT微动拍照 根据机台选用计算方式，得出PS High。分析得出结果14Z轴自动聚焦生成干涉条纹 确定基准位置白光干涉原理15PZT微动拍照基准位置PZT精确定位捕获光强，再现干涉波形图PGK机台简介及测量项目PGK机台简介及测量项目CGK机台构造及

3、测量项目CGK机台构造及测量项目TFT基板彩膜的结构偏光板TFT背光源偏光板液晶理论测量方法 液晶材料与面板的特性关系液晶作为各向异性物质有双折射性、通过的光的x和y的相位偏离相位偏差的大小是由液晶cell 之间的距离d 和折射率差决定的理论测量原理液晶是具有光学各向异性的物质、振幅方向与屈折率有关（双折射性）。当光入射光学双折射性物质时、振幅方向xy 光的传波速度不同。Nx平行分量 Ny垂直分量位相差（）=xy（液晶场合下, 为水平光线No 与垂直光线Ne 的折射率之差），就称之为Retardation 位相差理论测量原理分析400800nm 之内每10nm 的Re.値2用最小2 乗法对上述数据进公式演算这样测定任意波长的Re.31椭圆偏振光的光谱测量4指定波长通过换算可以得到( Re.)。实际测量过程检测头示意图回转检光子法根据Raynes 公式测定平行nicols 的频谱与直交nicols 频谱的之比得到透过强度,通Retardation 的计算公式计算得到Retardation.平行nicols 频谱T的测定入射偏光子角()= 45、检光子角()=扭曲角()+45 1= cos2(平行nicols）垂直nicols 频谱T的测定入射偏光子角()= 45、检光子角()=扭曲角()+135 2= cos2(垂直nicols） （）位相差实际测量过程根据400800nm波

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