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文档简介

1、流体过滤与分离技术解决方案服务商 江阴某半导体企业应用超纯水设备项目在集成电路、分立器件和其他半导体产品中，半导体材料是半导体产业链上游环节的重要组成部分，起着关键作用。目前全球的半导体产业链正向中国大陆转移，中国晶圆厂扩产的步伐已逐渐加快。随着国内晶圆厂的投产，对半导体材料的需求也将增加，市场的需求空间已被打开，因半导体元件集成度高，生产线狭窄，对水质的要求特别高，超纯水成为电子工业用水的“标配”。江阴某半导体企业应用超纯水设备项目项目工艺自来水进入原水箱，经过原水泵增压，经过砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器，到达反渗透单元，经两级反渗透过滤，进入EDI单元，达到电阻率15Mcm(25

2、)进入纯水水箱。纯水供水设计为循环方式，经纯水供水泵增压，通过紫外线消毒器、抛光混床接入纯水供水管，到达使用点。莱特莱德超纯水设备设计原则1、根据进、出水要求，选择成熟可靠、高效节能、占地少、经济实用的处理工艺，保证处理效果，减少工程投资和日常费用。2、工艺流程简洁通畅，整体布置简洁、合理、美观符合厂区的统一规划，要求水处理设施布局与周围环境协调，不对周围环境造成二次污染。3、管道布局合理，充分利用现有设置和现有地形条件。整体施工期短、安装方便、便于管理。安全措施得当，避免隐患。4、通过对各功能模块进行优化组合，以确保整个系统的高性能和高品质，使产品水完全达到或优于用水水质标准。莱特莱德超纯水设备中水箱均设有液位控制系统、水泵配有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电器采用PLC可编程序控制器，实际实现了无人操作，同时在工艺选材方面采用

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