氨气水分分析仪操作标准作业指导书_第1页
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文档简介

1、氨气水分分析仪操作标准作业指导书1 目的制定氨气水分分析仪操作指导书，使操作员有一致且正确的操作步骤，减少人为因素异常发生，以利于机台正常运作。2 范围：适用水分分析仪设备操作。3 参考文件设备操作说明书4 定义无。5 职责 5.1 操作员a) 严格按规定步骤及要求进行操作；b) 操作时如出现异常必须及时反馈工艺工程师和生产主管。c) 负责机台表面日常维护； 5.2 生产主管a) 监控员工是否按规定要求操作，纠正员工的错误操作；b) 接到异常反馈后，根据规定返工程序指示员工进行返工操作；c) 配合并协助工艺工程师处理异常； 5.3 工艺工程师a) 负责标准作业指导书的撰写及修改相关的作业内容；

2、b) 及时跟进处理异常；c) 监控员工操作步骤，必要时通知生产主管及生产经理；d) 改进并优化工序； 5.4 设备工程师 负责设备异常处理及机台维护；6 资历与训练操作员经过DF740设备的操作、应急处理及注意事项培训，且经过操作SOP培训并考核合格。方可进行此操作。7 作业内容7.1 设备运行前检查a) 气体管路连接是否正常；b) 确认管路中气体为PN2；c) 确认管路气体压力在915psi之间；7.2 系统启动7.2.1 设备处于气体隔离状态，电源开关“off”;7.2.2 打开设备门，将电源开关打至“on”状态（见图1），设备启动进行程序运行自检；7.2.3 启动真空泵电源； 7.2.4

3、 系统起动完成进入操作界面，此时气源已开始经过分析仪，真空泵气体入口针阀打开，根据分析气体种类来调整真空泵入口气体压力值（图2）。注间：如果设备压力并不在这个目标范围内，将发出报警信号直到调节至目标范围。Background Gas Pressure Pressure Control Vacuum Pump N2 200 +/-20 Torr Ext. Regulator/Needle Valve ON NH3 75.0 +/-5 Torr Ext. Regulator/Needle Valve ON 图 1 图27.3 系统关机7.3.1 一般性短时间（2小时内）关机 进入设备主菜单界面，将分析气源切换至N2气源，运行30分钟后打开设备前门将电源开关关闭及关闭真空泵即可。7.3.2 长时间（2小时以上）关机从主菜单进入系统，将分析气源切换至N2气源，运行30分钟后在菜单中选择隔离分析仪，系统将自动启动分析仪内部阀门关闭程序，在

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