进口设备技术参数

1、附件：进口设备技术参数场发射透射电镜序号设备名称技术要求数量1场发射透射电镜1. 工作条件1.1电力供应：220V（10%），50Hz1.2工作温度：18C-23C1.3工作湿度： 80% (20C)1.4仪器运行的持久性：仪器可连续使用1.5 仪器的工作状态：较强的防震抗磁能力，工作稳定1.6 仪器设备的安全性：符合放射线防护安全标准和电器安全标准2. 设备用途：2.1 用于二维和三维尺度对材料科学进行快速、精确的形貌观察和微区的晶体结构和定量表征，选择特定设计的样品台进行原位动态实验。本系统主要有电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成。3. 技术规格3.1分辨率3.1.1信息分辨率：0

2、.12nm（要求现场验收）3.1.2点分辨率：0.25nm（要求现场验收）3.1.3 扫描透射分辨率：0.16nm（要求现场验收）3.2加速电压3.2.1加速电压：20kV 200kV高压范围内连续可调，包含20kV, 80 kV, 120kV, 160kV和200kV的常用高压3.2.2 加速电压全程范围内切换仅需通过软件控制完成3.2.3 高压稳定性： 1ppm/10min3.3电子枪3.3.1电子枪类型：超高亮度高稳定度的肖特基场发射电子枪3.3.2 束流：1nm束斑电流 1.0nA3.3.4 高亮电子枪，探针电流 150nA 200kV3.3.5 束斑漂移：1nm/min3.3.6 最

3、小能量分辨率： 0.7eV3.4 最小束斑尺寸3.4.1 平行光照明模式：最小束斑 1.2 nm 3.4.2 汇聚束照明模式：最小束斑 0.5 nm 3.5会聚束电子衍射（CBED）3.5.1最大衍射角：13 （半角）；最大接受角1003.6 透镜系统3.6.1 球差系数： 1.5 mm3.6.2 色差系数： 1.6 mm3.6.3 最小聚焦步长： 3nm3.6.4 恒功率设计，消除在不同模式切换以及放大倍数调整时产生的热效应，保证成像与分析的超高稳定性3.6.5 全自动光阑系统，包括全自动化一级、二级聚光镜光阑，及选区光阑和物镜光阑，最好是带位置记忆功能3.7 TEM放大系统3.7.1 放大

4、倍数：不窄于25 - 1,500,000倍 3.7.2 放大倍数重复性： 1.5% 3.8 相机长度：最小 12mm；最大 5700mm，保证选区衍射和高阶衍射成像并能通过CMOS拍照。3.9 扫描透射(STEM)3.9.1分辨率：0.16 nm 3.9.2配置更先进的高角环形暗场探头（HAADF），保证TEM能拍摄高分辨明场BF像的同时，STEM能快速拍摄高质量的暗场DF像和高角环形暗场HAADF像3.9.3 STEM放大倍数：150 - 230M 倍3.9.3 TEM与STEM模式相互切换后所需热稳定时间小于30秒，保证BF、DF和HAADF图像采集的无缝式切换3.10 样品台3.10.1

5、五轴优中心高精度自动样品台，观察点位置可以标记存储并返回3.10.2 最大倾斜角度： 903.10.3 最小样品倾斜角度不小于 (/) 30/303.10.4样品移动范围：X,Y 2 mm；Z 0.75 mm 3.10.5样品漂移速率（使用标准样品杆）： 0.5nm/min3.10.6配备单倾样品杆一根，高灵敏低背景双倾样品杆一根3.11 能谱仪探测器3.11.1对称式的双电制冷能谱，无窗设计，集成在电镜极靴内，可灵活拆装，保留升级到四个能谱的接口3.11.2 能量分辨率：136 eV (Mn-Ka)，在输出计数率10kcps内保持不变3.11.3 元素分析范围：从B（5）-Am（95）3.1

6、1.4 最大输入计数率： 500Kcps3.11.5 EDS立体角： 0.45srad3.11.6 EDS最高耐热温度： 1000C，保证后期的加热升级3.11.7 可进行快速原子级尺寸的点、线、面的定性定量分析，全息面分布分析，具有谱峰剥离和谱峰重构功能3.11.8对于纳米级球状样品，在不转动样品的前提下，能从多角度收集X射线性能3.12.9面分布分析最快速度：10s/pixel3.12.10可同步实时进行STEM图像采集和EDS分析3.12 数字化照相系统成像相机是透射电镜的必要附件，用于透射电镜形貌像和电子衍射花样的数字化像的记录，具有数字化图像处理的功能，具有快速的连续记录功能，与所购

7、电镜完美匹配。3.12.1双相机图像采集系统，配置光子和电子之间可直接转换的CMOS相机一个，光纤耦合CCD相机一个，与电镜一体化。3.12.2 CMOS相机最大像素：4096 4096，像素大小：14um 14um3.12.3 安装方式：底装3.12.4 具有较高的读取速度，适合拍摄动态录像功能，拍摄速度应不小于25fps512k x 512k3.12.5具有大的动态范围可以快速直接拍摄衍射花样和低剂量图像3.12.6配置的CMOS相机应支持可拔插设计3.12.7 支持客户根据电镜语言进行控制程序的自编（如CPython 编程语言）3.12.8 预留升级EELS等附件的接口3.13 软件操作

8、3.13.1 数字化操作系统，基于Windows7的64位计算机控制系统, 在用户图形界面上完成电镜的操作控制。3.13.2 能方便地实现常用功能, 包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。能非常便捷的将数据、软件各模块在两台液晶显示器之间显示。3.13.3电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用。可设置任意多个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。3.13.4 电镜操作者可以远程控制和操作电镜，不需要暗室。3.13.5 预留接口，后期升级可以接入EELS等附件。3.14 离子减薄3.14.1离

9、子源：双独立的离子源，电压100eV 6.0keV，连续可调3.14.2最高束流密度不小于10 mA/cm2，连续可调3.14.3离子源自清洗功能3.14.4离子源电磁聚焦磁场,金属样品微粒不会吸附在离子源处3.14.5超大空间样品室、大样品台和悬空工作的设计3.14.6减薄入射角：-10o + 10o，样品台旋转：0o 360o，可制备具有大面积电子穿透区的样品3.14.7采用无油真空系统，保证保持样品不受污染，抽真空的时间小于4分钟3.14.8真空部分包含：无油隔膜泵、涡轮分子泵、真空测定用皮拉尼真空计3.14.9实时聚焦系统，能根据加速电压的不同，自动调整聚焦磁场强度，聚焦离子束。（要求

10、与永磁铁的固定磁场不同）确保在低电压时，也具有超高的能量密度3.14.10专用的样品夹技术，确保在零角度时的减薄时也没有污染3.14.11触摸屏的设置，可以自动控制减薄过程，样品的观察可借助透射光或反射光3.14.12 配置光学显微镜一台，放大倍率7 45倍，用于样品直接观察3.15超薄切片机3.15.1 体视显微镜（S6E） 3.15.2. 放大倍率 10 x-64x 3.15.3. 共心式移动范围 +5/-8（可选） 3.15.4. 刀架 360可旋转自锁刀架，+/-30分隔刻度，可沿台N-S前后方向自由移动，范围56mm 3.15.5. 切片刀倾角调节范围 -2 - 15，每1刻度指示，

11、可使用6-12mm切片刀，兼容任何品牌钻石刀 3.15.6. 弧形样品夹 3.15.7. 样品面旋转 样品可做360平面旋转，90对齐刻度 3.15.8. 样品中心旋转 +/- 22中心旋转 3.15.9.原厂家针对本项目售后服务承诺书3.15.10.原厂家国内20套以上盖章的证明材料3.15.11 顶部照光 LED光源，亮度可调节，最大8250lx（在刀锋附近） 3.15.12. 背光 LED光源，亮度可调节，最大3450lx（在刀锋附近） 3.15.13. 样品透射照光 LED光源，亮度可调节，最大200lx（无样品时） 3.15.14. 点照光 LED光源，可开关，最大8600lx（在刀

12、锋附近） 3.15.15. *触摸屏控制面板 *高级型10.4英寸触摸屏 3.15.16. 通过USB接口升级系统软件可以 3.15.17. 切片速度 0.05100mm/s，旋钮调节 3.15.18. 样品臂步进（厚度） i. 1ii. 100nm，iii. 步进1nm，iv.旋钮调节 v. 100vi. 1000nm，vii. 步进10nm，viii. 旋钮调节 ix. 1000 x. 2500nm，xi. 步进100nm，xii. 旋钮调节 xiii. 2500 xiv. 15000nm，xv. 步进500nm，xvi. 旋钮调节 3.15.19. 切片创面范围 0.2-14mm可调 3

13、.15.20. 样品臂回程速度 10，30，50mm/s可选 3.15.21. 样品臂总行程 200m 3.15.22. 预警值 20m 3.15.23. 样品臂前进指示 10段，每段20m 3.15.24. *切片驱动力 无震动重力切片* 3.15.25. 切片厚度/速度存储 500组（每用户5组） 3.15.26. 总行程计数 -有 3.15.27. 切片数计数 -有 3.15.28. 切片行程/切片数倒计数 -有 3.15.29. *可编程自动修块模式 -有 3.15.30. 手动修块模式 -有 3.15.31. 外接脚控装置 可以 3.15.32. *左右(E-W)方向刀台移动 25m

14、m，步进马达驱动，安装FC7附件之后10mm移动范围 3.15.33. 左右(E-W)方向移动控制 快速移动按钮和调节滚轮 3.15.34. 左右(E-W)方向步长 250m 3.15.35. *前后(N-S)方向刀台移动 10mm，步进马达驱动 3.15.36. 前后(N-S)方向移动控制 快速移动按钮和调节滚轮 3.15.37. 前后(N-S)方向步长 0.1-15m可调 3.15.38. 左右(E-W)方向距离测量 精确至微米级 3.15.39. 静电强度控制 内置 3.15.40. 样品臂马达同步 可绑定 3.15.41 电压 100 - 260VAC，50/60Hz 3.15.42.

15、 功率 80W 3.15.43.原厂家盖章的彩页和彩页上没有的技术参数必须有原厂盖章的技术证明材料3.16玻璃制刀机3.16.1采用平衡断裂法原理断裂*3.16.2碳化钨切割滚轮，持久耐用，并自动复位*3.16.3切割压力可方便调节，刻度显示，5档连续可调3.16.4切割角度：453.16.5断裂压力旋钮调节，压力值刻度显示，并自动复位3.16.6制刀台抽屉式设计，方便取刀，无需其他工具*3.16.7兼容玻璃条规格：6.4 mm，8 mm，10 mm3.16.8高度重复性，制作出高品质玻璃刀4.系统附属配件与支持4.1电镜控制计算机最低配置要求：进口品牌工作站/Intel i7 3.4GHz

16、CPU/Intel Q77 主板/ 内存16G/21000G STA II HDD/1GB GDDR5独立的专业图形显卡/DVD刻录机/，2个24寸显示器/Win7 64位操作系统。4.2配置抗环境干扰的仪器抗干扰罩，增加稳定性。4.3 配置Times Top 12KVA不间断电源一个，延时两个小时。4.5 配备冷阱系统，容量不小于8L4.6 配置标准铜网、标准碳膜各100个4.7 配置配用场发射灯丝一套4.8 配置透射电镜专用工具一套4.9配置壁挂式空调一部，功率不小于2.0匹，配置立柜式空调一部，功率不小于3.0匹4.10打印机一台：黑白激光打印机 ，接口：高速USB2.0 端口，黑白激光

17、打印；打印速度：标准A4 高达14ppm；黑白打印分辨率：600600dpi;月打印负荷：500 页；电源电压：110-240 伏特；产品尺寸：370242209mm；幅面尺寸：A45. 技术文件及相关业绩要求5.1包装箱应用新的坚固的经过熏蒸后的木箱或铁皮箱，能防潮、防锈、防震、防粗暴装卸，适于整体吊装，适于长途运输或转卸装运；投标人应提供仪器主体及主要附件的详细的操作、安装及调整说明书；5.2合同签订后提供设备的预安装要求说明；5.3 合同签订后提供电子版说明书；5.4随机提供完整的产品验收说明书；5.5 设备应具有内嵌式的Help文件，对各操作以及功能具有详细的介绍。通过help文件的超

18、链接，可直接控制电镜的操作；5.6要求所投的产品系列在未来5-10年内不会停产，最近2年在国内的业绩合同不少于8份。（提供厂商承诺书和合同复印件，加盖公章）。6. 电镜场地的改造要求6.1 按照厂商设备对场地测试的报告数据进行场地改造，改造部分应包含：磁屏蔽六面体结构及其焊接、独立地线系统、照明及动力系统、消声系统、房间装潢等；6.2使用导磁材料制作的屏蔽体来提供磁旁路，降低屏蔽体内部的磁通密度。同时尽量增大涡流损耗，使一部分能量转化为热能消耗掉；6.3要求至少以外界AC磁场为1mGauss作为设计基础值，设计保证在环境磁场增大至1mGauss的情况下，将磁场干扰降至0.3mGauss及以下；

19、6.4 房间的改造面积：不小于5000mm4000mm3200mm（必要时对原房间做隔断处理），室内净高不小于2800mm，设备门洞净尺寸不小于1500mm2400mm；6.5磁屏蔽室门：尺寸（净）为1500mm2400mm80mm；磁屏蔽门厚度不小于80mm，磁屏蔽门采用内嵌套锁边工艺，满足磁屏蔽的技术要求。门板及门框均采用符合磁屏蔽要求的内嵌工艺，在满足磁屏蔽指标的条件下，门板及门框尽可能做得与现场周边环境匹配，完全闭合后，各门缝处无明显漏磁；6.6通风波导口：整个屏蔽室设有1个通风口(300mm300mm)，在出风口上装有排气风扇，使用排气风扇时新风换气速度不小于900m3/h，通风口按

20、波导口处理。在自然通风的条件下，室内新风换气量可达到70m3/h，可满足两个人60m3/h换气量的卫生部颁国家卫生标准。排气风扇与屏蔽壳体为软连接以免引起振动。以波导口形式设计的过孔为设备用电、气、水及空调冷媒等提供通道。6.7噪音消除：要求选用质量上乘的微孔材料吊顶，内衬高效阻燃吸音材料。6.8独立地线制作：设置一个单独的接地回路，阻值不大于2。6.9电源系统设置：与电镜工程师实时沟通，原则上要求配电箱应放置在屏蔽室外侧，即设备准备间内。且所有动力、照明线路套优质pvc管材由屏蔽室外侧沿钢结构外墙至指定位置，在屏蔽壳体上开孔并以波导口方式处理进入屏蔽室。6.10按照电镜厂商的报告，设计好电源

21、插座及电话线口和以太网线口；准备间内设开关箱，自动空气开关，保证与电镜完全匹配； 6.11屏蔽室的照明：为使屏蔽室内保持简洁轻松的风格，采用内嵌式组合日光灯具照明。房间内共使用14Wx3格栅灯4盏，以保证房间照明至少达到500流明；6.12房间内空调位置的设计：做好空调器正常安装时所必需的电源插座位置预留和布置工作，空调管线路径的定位等；6.13地面：地瓷砖贴面，要求震动少，整洁美观。地瓷砖贴面用白色填缝剂填缝；6.14墙面：屏蔽室内墙饰面采用可装饰性、耐腐蚀性和安全性都较好的铝塑板，高效隔音衬里。要求装饰效果高档、明快，满足环保吸音和安全的各项要求，具有精密仪器实验室的装饰效果。墙面板用黑色

22、硅胶勾缝。所有钢铁结构部分均刷防锈漆，所以木材结构部分（如有）均刷防火涂料；6.15吊顶：选用带吸音的微孔铝合金板吸音顶面，色泽与墙面一致。整个屏蔽室力求简洁、明亮、舒适；6.16所有电线、地线走PVC管或软管，保持电镜室的整齐有序；6.17屏蔽室设备安装平台与其它地面、墙面等隔离（无硬接触），与建筑物地平无相对运动；6.18装潢充分考虑电镜室防尘防水的要求，材料选择用电镜屏蔽室通行方法处理。6.19从材料选择、焊接工艺、预处理等环节入手，确保所有设计合理。施工符合国家行业相关标准，要求工程施工符合国家标准钢结构工程施工质量验收规范（GB50205-2001）。6.20 要求场地改造方具有丰富

23、的改造经验，在国内已做的场发射透射电镜场地 不少于15家。6.21改造完成后，应使用厂商认可的专门精密测试仪器给予全面的测试 。7.技术服务7.1预安装：合同正式签字生效后，卖方负责对买方的电镜实验室进行预安装 (主要包括磁场、振动测试等)，提供电镜的安装要求和用户需要准备的安装条件和物资。卖方工程师费用由卖方承担。7.1.2安装与调试：仪器到达用户所在地后，根据买方的通知，卖方在2周内安排仪器的安装调试，直至达到验收指标。仪器的安装调试应在于15个工作日内完成。7.2 技术培训：卖方设备安装调试完成后，卖方应对用户技术人员进行调试、操作、仪器维护、故障排除等方面的现场培训，时间不少于5个工作

24、日。要求厂商在中国有自己专门的透射应用实验室和培训中心，方便做样比对和无缝式应用培训。7.3 服务：要求供货厂家在中国至少设立5家以上的固定维修站，并配备专业维修工程师，能提供及时有效的售后服务。7.4保修期：卖方对透射电镜主机系统提供三年保修服务。保修期从仪器验收合格、双方签署验收报告之日算起。保修期内，仪器的零配件费用、人工费用、差旅费用 (耗材除外) 均由卖方承担。因使用环境及人为因素造成设备损坏不在保修范围之内。保修期后，厂商应保证终身供应零备件和正常的售后服务。7.5维修响应时间：卖方承诺在48小时内对用户的服务要求做出响应。如需现场解决问题，在5个工作日内到达仪器现场。重大问题或其

25、他无法迅速解决的问题应在两周内提出明确解决方案。7.6 软、硬件升级：仪器在保修期内，或保修期外，卖方应免费向用户提供仪器软件升级服务，与之相关的硬件升级收取成本费。8. 订货数量：1套9. 目的地：客户指定地点10. 交货时间：合同生效后8个月内1原子力显微镜序号设备名称技术要求数量1原子力显微镜(AFM)1.工作模式1.1轻敲模式带有Q-control控制技术 1.2接触模式 1.3定量相位成像模式 1.4横向力模式 1.5磁场力显微镜 1.6压电力显微镜(Piezo Response Force Microscopy, PFM mode), 一次测量能够同时得到CAFM信号。1.7扫描开

26、尔文显微镜(Kelvin probe force microscopy )1.8静电力显微镜(EFM) 1.9 表面电势显微术(Surface Potential Microscopy) 1.10动态和静态力曲线测试（Force curve） 1.11力阵列测量(Force Volume Measurement) 1.12纳米刻蚀1.13纳米操纵1.14高次谐波成像模式（Dual AC Mode）1.15 双频共振追踪压电模式（Dual frequency resonance trackingPFM）1.16 导电AFM (ORCA), 一次测量同时完成PFM和电流/电压测试2. 扫描器2.1

27、扫描器须为三轴分离的平板式扫描器，三个轴分别由三根独立的压电陶瓷管驱动，并通过使用绕性构件保证三轴运动方向正交。2.2 XY扫描器范围90m90m；Z轴扫描器范围可达15m（可升级为40m）。2.3三个扫描轴上都带有独立的闭环传感器，XY轴闭环传感器噪音小于150pm，Z轴闭环传感器噪音小于35pm；2.4 保证高分辨率测试，控制最低噪音水平，扫描过程中探针在仅在Z方向运动，扫描器驱动样品在X,Y方向运动。探针、探针支架、激光反馈装置保持相对静止，不接受XY方向采用扫描探针的方式；2.5 最大样品尺寸不小于75X75mm，最大样品厚度不小于10mm;2.6 配备声音警报反馈系统，保证快速下针且

28、不会碰断针尖；3. 检测系统3.1光电探测器采集带宽7MHz，光学系统噪音(探针未接触样品表面) 10pm (Adev,0.1Hz到1KHz带宽)3.2 系统高度噪音：系统高度噪音(探针接触样品表面)20pm（Adev,0.1Hz到1KHz带宽）；4. 控制器系统4.1不少于三个锁相放大器：2个为工作在20MHz的双频率数字积分锁相放大器，1个为工作在5MHz的双频率数字积分锁相放大器；4.2两个输出频率在40MHz的双频率频率合成器，频率范围从直流到最大15MHz（9mHz步长）；4.3一个输出频率在10MHz的双频率频率合成器，频率范围从直流到最大 2MHz（2mHz步长）。4.4 CrossPointTM 信号交换芯片：一个32 32路数字化信号交换芯片，一个16 16路数字化信号交换芯片。现场可编辑门电路（FPGA）。4.5 数字调Q范围：2KHz-20MHz5. 操作软件5.1扫描过程中能实时输出样品的三