PECVD设备长期关机项目检查表

1、exactPECVDexactPECVD设备长期关机项目检查表深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司设备长期关机项目检查表检查项目检查部位/条件检查结果责任人备注1管无石墨舟（Y/N）反应管内桨上2管无石墨舟（Y/N）反应管内桨上3管无石墨舟（Y/N）反应管内桨上4管无石墨舟（Y/N）反应管内桨上机械手部分无石墨舟（Y/N）机械手抓手1暂存区2暂存区3暂存区石墨舟储存环境温度（9）湿度洁净度N2开启（Y/N）深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司检查项目检查部位/条件检查结果责任人备注1管抽真空所设置N2流量（SCCM）所设置SiH4流量（SCCM）所设置NH3流量（SCCM）所设置N2O流量（S

2、CCM）开启“主抽阀”时的压力（mbar）整个系统的真空底压（mtorr）2管抽真空所设置N2流量（SCCM）所设置SiH4流量（SCCM）所设置NH3流量（SCCM）所设置N2O流量（SCCM）开启“主抽阀”时的压力（mbar）整个系统的真空底压（mtorr）3管抽真空所设置N2流量（SCCM）所设置SiH4流量（SCCM）所设置NH3流量（SCCM）所设置N2O流量（SCCM）开启“主抽阀”时的压力（mbar）整个系统的真空底压（mtorr）深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司检查项目检查部位/条件检查结果责任人备注4管抽真空所设置N2流量（SCCM）所设置SiH4流量（SCCM）所设置N

3、H3流量（SCCM）所设置N2O流量（SCCM）开启“主抽阀”时的压力（mbar）整个系统的真空底压（mtorr）管道清洗特气管道内停止输入特气（Y/N）特气管道内输入高纯氮气（Y/N）高纯氮开启和关闭的时间（s/s）高纯氮开/关次数清洗管道时1管所设置气体流量（SCCM）N2SiHNH3n2o清洗管道时2管所设置气体流量（SCCM）N2SiHNH3N2O深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司检查项目检查部位/条件检查结果责任人备注清洗管道时3管所设置气体流量（SCCM）N2SiHnh3n2o清洗管道时4管所设置气体流量（SCCM）N2SiHNH3n2o1管温度最高温区的温度（00开始降温时按下

4、“加热关”按钮时开始清理炉管时1管清理炉管反应管内压力值（mbar）反应管内压力值（mtorr）清理炉管、法兰、炉门杂物（Y/N）2管温度最高温区的温度C0开始降温时按下“加热关”按钮时开始清理炉管时深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司检查项目检查部位/条件检查结果责任人备注2管清理炉管反应管内压力值（mbar）反应管内压力值（mtorr）清理炉管、法兰、炉门杂物（Y/N）3管温度最高温区的温度。0开始降温时按下“加热关”按钮时开始清理炉管时3管清理炉管反应管内压力值（mbar）反应管内压力值（mtorr）清理炉管、法兰、炉门杂物（Y/N）4管温度最高温区的温度。0开始降温时按下“加热关”按钮

5、时开始清理炉管时4管清理炉管反应管内压力值（mbar）反应管内压力值（mtorr）清理炉管、法兰、炉门杂物（Y/N）1管机械复位平移编码器计数值平移原点光电开关亮（Y/N）上下编码器计数值深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司检查项目检查部位/条件检查结果责任人备注上下原点光电开关亮（Y/N）炉门已关闭（Y/N）2管机械复位平移编码器计数值平移原点光电开关亮（Y/N）上下编码器计数值上下原点光电开关亮（Y/N）炉门已关闭（Y/N）3管机械复位平移编码器计数值平移原点光电开关亮（Y/N）上下编码器计数值上下原点光电开关亮（Y/N）炉门已关闭（Y/N）4管机械复位平移编码器计数值平移原点光电开关亮（

6、Y/N）上下编码器计数值上下原点光电开关亮（Y/N）炉门已关闭（Y/N）深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司检查项目检查部位/条件检查结果责任人备注机械手复位1轴原点指示灯亮（丫山）2轴原点指示灯亮（丫山）3轴原点指示灯亮（丫山）已点击【复位】按钮（丫山）关闭主气路阀门（Y/N）N2压力表显示压力（bar/psi）N2总阀门n2调压阀SiH4压力表显示压力（bar/psi）SiH4总阀门SiH4调压阀NH3压力表显示压力（bar/psi）nh3总阀门NH3调压阀N2O压力表显示压力（bar/psi）N2O总阀门n2o调压阀关闭1管阀门（Y/N）n2手动阀SiH4手动阀深圳市捷佳伟创新能源装备股

7、份有限公司检查项目检查部位/条件检查结果责任人备注NH3手动阀N2O手动阀关闭2管阀门（Y/N）N2手动阀SiH4手动阀NH3手动阀N2O手动阀关闭3管阀门（Y/N）N2手动阀SiH4手动阀NH3手动阀N2O手动阀关闭2管阀门（Y/N）N2手动阀SiH4手动阀NH3手动阀N2O手动阀关闭CDA阀门（Y/N）CDA总阀门CDA调压阀1管仪表工作正常（Y/N）电子压力规水流量计深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司检查项目检查部位/条件检查结果责任人备注尾气稀释流量计N2、SiH4、NH3、N2O流量计温控仪2管仪表工作正常（Y/N）电子压力规水流量计尾气稀释流量计N2、SiH4、NH3、N2O流量计温控仪3管仪表工作正常（Y/N）电子压力规水流量计尾气稀释流量计3管仪表工作正常（Y/N）N2、SiH4、NH3、N2O流量计温控仪4管仪表工作正常（Y/N）电子压力规水流量计尾气稀释流量计N2、SiH4、NH3、N2O流量计温控仪深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司检查项目检查部位/条件检查结果责任人备注公用仪表工作正常（Y/N）数字CDA流量表断电断开1管所有断路器