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文档简介

1、镀膜过程中喷点、潮斑（花斑）的成因及消除方法真空镀膜的过程中有时会产生喷点及潮斑（花斑），这些喷点、潮 斑（花斑）极大的影响了薄膜的品质，降低产品的合格率。本文将对喷 点、潮斑（花斑）的形成原因以及消除方法作一探讨。一.喷点形成的原因镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因：镀膜材料纯度不高，含杂质较多，预熔过程中无法将这些杂质去除, 蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化，在 蒸镀过程中也容易产生喷点（这种情况在用国产电子枪镀制MgF2 及一些直接升华的材料时较易发生）。镀膜前对材料进行预熔时不够充分，蒸镀过程中材料里的细小颗粒 溅上工件表面形

2、成喷点。镀膜过程中，电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。二.潮斑形成的原因：清洗液配比不好,含有较多水份，清洗后工件表面留有残迹，镀膜后 形成花斑。镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成，清洗第二面时，镀制完的 一面受到污染，在第二面镀膜后形成花斑。工件本身含有的水份（工件白片制作过程细解），在蒸镀前的烘烤 过程中逸出，蒸镀后形成潮斑。镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。针对以上喷点、潮斑（花斑）的成因，在生产中采取了以下一些措施以消 除喷点、潮斑（花斑）：选择可靠的材料供应商，并对购买的每批材料在投入使用前先做一 测试,判定材料的可靠性。规范材料的领用、保管,（干燥缸，干燥剂）保证材料不受潮，材料性质 无变化。规范镀膜操作，严格执行预熔、蒸镀的操作规程。蒸镀前的材料预 熔一定要彻底，镀制某些较厚的膜层时可以采用多次预熔的方法消 除喷点。规范清洗操作，加强清洗后的检查，提高清洗质量，消除因清洗而产 生的潮斑（花斑）。调整烘烤温度,消除烘烤原因产生的潮斑。规范镀膜夹具的管理。每次投入使用前，夹具需要先经过清洗、烘 烤（300度,3小时以上）才能投入生产。设计镀膜夹具时，尽量采用在真空室内放气量小的材料，同时可采 取夹具表面镀Ni的方法降低夹具的放气量,消除由此产生的潮

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