解析相关培训张家清-qc判定_第1页
解析相关培训张家清-qc判定_第2页
解析相关培训张家清-qc判定_第3页
解析相关培训张家清-qc判定_第4页
解析相关培训张家清-qc判定_第5页
免费预览已结束，剩余14页可下载查看

付费下载

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

薄膜區薄膜沉積Thin

Film

=

TEtching

=

E蝕刻區薄膜圖案成形AOIADIAEIASIaPhoto

=

P黃光區光阻圖案成形ArrayProcess

FlowA:TFTB:Cs(儲存電容)TFTCs(Cs

on

gate)GatetongueShield

metalCross

overAs

islandA:TFTB:Cs(儲存電容)SignallineSourceDrainThrough

holeITO(顯示區)Arrayleakage异物周围有PI晕，异物在TFT侧PI下反射&

投射光可发现TFT侧的金属层有变形说明在TFT制程中异物掉落造成Array

异常PS:

此类异常容易误判为TFT侧PI下金属，要求大倍率 搭配投射光仔细辨认Arrayleakage异物周围有PI晕，异物在TFT侧PI下透射光可发现TFT侧的金属层有变形(TFT侧有新增金属残留，且变形为圆滑延伸)PS:

此类异常容易误判为TFT侧PI下金属，要求大倍率 搭配投射光仔细辨认Arrayleakage异物周围有PI晕，异物在TFT侧PI下反射透射光可发现TFT侧的金属层有变形透射光有时可见彩色光晕PS:

此类异常容易误判为TFT侧PI下金属，要求大倍率

搭配投射光仔细辨认Arrayleakage异物周围有PI晕，异物在TFT侧PI下反射透射光可发现TFT侧的金属层有变形异物周围有圆滑形金属残PS:

根据之前的Array制程演示，TFT元件颜色一样的为同一层开始变胖开始变胖恢复正常Arrayleakage异物周围有PI晕，异物在TFT侧PI下异物周围有圆滑形金属残（一般金属为有楞有角）PS:

根据之前的Array

制程演示，TFT元件颜色一样的为同一层，故此为Source

层异常造成Source

略变粗Source

正常Arrayleakage异物周围有PI晕，异物在TFT侧PI下Source

&

Drain

有Pattern

变胖Array

有镭射修补痕迹PS:

判定时注意有镭射修补痕迹镭射修补Arrayleakage异物周围有PI晕，异物在TFT侧PI下异物周围有圆滑形金属残（一般金属为有楞有角）TFT

有镭射修补痕迹PS:

判定时注意有镭射修补痕迹镭射修补ITO

RemoveArrayleakage镭射修补异物周围有PI晕，异物在TFT侧PI下异物周围有圆滑形金属残（一般金属为有楞有角）TFT

有镭射修补痕迹PS:

容易误判为TFT侧PI下金属，仔细观察放大可发现有TFT变形和镭射修补痕迹微小变形微小变形Arrayleakage一般为线路断开或有异物造成断路直观可以发现有格外拉线线路可见修补区域Array

ITO

被RemovePS:

Array

另外一种修补方式（Array

CVD

长膜修补）Source

断开Array

拉线修补ITO

被Arrayleakage异物周围有PI晕，异物在TFT侧PI下异物周围有圆滑形金属残（一般金属为有楞有角）待确认—需去PI此类异常未发现有TFT元件变形，但与平时解析到的TFT侧PI下异物/金属不太相似，必要时需去PI后再判定Array

leakage—

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论