等离子体简介课件

低温等离子体简介姓名：xxx20xx年x月x日X级xx专业x班学号：xxxxxxxxx指导老师：xxx老师低温等离子体简介姓名1前言看似“神秘”的等离子体，其实是宇宙中一种常见的物质，在太阳、恒星、闪电中都存在等离子体，它占了整个宇宙的99%。现在人们已经掌握利用电场和磁场产生来控制等离子体。前言看似“神秘”的等离子体，其实是宇宙中一种常见的物质，在太2那么大家就思考一下什么是等离子体呢？那么大家就思考一下什么是等离子体呢？3一：等离子体的概念等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。一：等离子体的概念等离子体又叫做电浆，4等离子体等离子体—极光等离子体等离子体—极光5二：等离子体的产生的过程少数离子或电子在高频高压电场中被加速而得到较大动能，能量足够大的粒子碰到其他分子使其电离产生新的自由电子、离子、自由基等粒子，其中荷电粒子又被继续加速，在碰到其他分子如此循环反复形成等离子体二：等离子体的产生的过程少数离子或电子在高6三：等离子体的分类（1）：高温等离子体（2）：低温等离子体（3）：混合等离子体三：等离子体的分类7（1）：高温等离子体由大气电弧、电火花和火焰产生的，组成等离子体的分子、离子和电子都处于热平衡，温度高达几千度，也称平衡态等离子体和热等离子体！（1）：高温等离子体由大气电弧、电火花8（2）：低温等离子体在减压（1.33~1330Pa）和高频电场下发生辉光放电，少量气体分子被电离产生高温电子，穿梭在常温或接近常温的气体中发生碰撞，此时电子温度高达104~105K，而气体的离子和分子的温度与环境相同，约10K，远远低于电子的温度，是一种非平衡体系，也称为非平衡等离子体和冷等离子体。（2）：低温等离子体在减压（1.9低温等离子体

低温等离子体10（3）：混合等离子体在常压或低于常压下，使用5~50kV直流或高阻抗的电源，在电极间发生电晕放电或臭氧发生器产生的等离子体，一般也将其归入低温等离子体的范畴！（3）：混合等离子体在常压或低于常压下，使11四：低温等离子体中基本粒子能量范围电子0~20eV离子0~2eV亚稳态离子0~20eV紫外光/可见光3~40eV四：低温等离子体中基本粒子能量范围电子12五：等离子体的应用

现在,低温等离子体物理与应用已经是一个具有全球影响的重要的科学与工程，对高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。例如，1995年全球微电子工业的销售额达1400亿美元，而三分之一微电子器件设备采用等离子体技术。塑料包装材料百分之九十都要经过低温等离子体的表面处理和改性。科学家预测：二十一世纪低温等离子体科学与技术将会产生突破。五：等离子体的应用现在,低温等离子体物理13

●半导体集成电路及其它微电子设备的制造●工具、模具及工程金属的硬化●药品的生物相溶性包装材料的制备●表面防蚀及其它薄层的沉积●特殊陶瓷（包括超导材料）●新的化学物质及材料的制造●金属的提炼●聚合物薄膜的印刷和制备●有害废物的处理●焊接●磁记录材料和光学波导材料●精细加工●照明及显示●电子电路及等离子体二极管开关●等离子体化工(氢等离子体裂解煤制乙炔、等离子体煤气化、等离子体裂解重烃、等离子体制炭黑、等离子体制电石等)●半导体集成电路及其它微电子设备的制造14等离子体的应用还有很多，下面介绍一种有关保护环境应用！等离子体的应用还有很多，下面介绍一种有关保护环境应用15一：低温等离子体废气处理技术双介质阻挡放电（Double

Dielectric

Barrier

Discharge，简称DDBD）DDBD技术采用形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，该技术是派力迪公司与复旦大学共同研发成功的。一：低温等离子体废气处理技术双介质阻挡放电（Double

16二：技术作用原理

低温等离子体当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。二：技术作用原理低温等离子体当外加电压达到气体的放电电压17DDBD等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。DDBD等离子体反应区富含极高的物质，如高能18

图为DBDD等离子体双介质阻挡放电示意图

19

图为DDBD等离子体放电管

20三：等离子体去除污染物基本过程过程一：高能电子的直接轰击过程二：O原子或臭氧的氧化

O2+e→2O过程三：OH自由基的氧化H2O+e→OH+HH2O+O→2OHH+O2→OH-+O过程四：分子碎片+氧气的反应三：等离子体去除污染物基本过程过程一：高能21等离子体化学反应过程大致如下：

等离子体化学反应过程大致如下：22等离子体简介课件23

图为废气处理工艺路线示意图

24四：DDBD技术特点

①DDBD介质阻挡放电产生电子能量高，低温等离子体密度大，达到常用等离子技术（电晕放电）的1500倍，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；②DDBD技术反应速度快，气体通过反应区的速度达到3-15米/秒，即达到很好的处理效果，其他技术气体通过反应区的速度0.01米/秒都很难达到DDBD的处理效果；四：DDBD技术特点①DDBD介质阻挡放电产生电子能量高，25③气体通过部分，全部采用陶瓷、石英、不锈钢等防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了低温等离子体技术设备腐蚀问题；其他技术是气体与电极直接接触，电极在3个月或1年内会造成严重腐蚀，即使通过的气体没有腐蚀性，自身所产生的臭氧也会把电极造成腐蚀；③气体通过部分，全部采用陶瓷、石英、不锈钢等防腐蚀材料，电极26④DDBD主机为成套工业废气处理装置，前面配有DDBD专用塔，能有效去除废气中的粉尘和水分，操作简单；⑤自动化程度高，设备启动、停止十分迅速，随用随开，对于部分化工生产的不连续性，可以在生产时开启，不生产的间隙停止运行，大量的节约能源；④DDBD主机为成套工业废气处理装置，前面配有DDBD专用塔27⑥运行成本较低，比常用的蓄热式燃烧炉RTO节约运行费用5-8倍，每立方米气量运行费用仅为0.3～0.9分钱，部分高浓度废气可以通过空气稀释后用DDBD技术处理；⑦应用范围广阔，基本不受气温和污染物成分的影响，对恶臭异味的臭气浓度有良好的分解作用，恶臭异味的去除率达80-98%，处理后的气体臭气浓度达到国家标准；⑥运行成本较低，比常用的蓄热式燃烧炉RTO节约运行费用5-828/153/1620.html还有其他特点大家有兴趣了可以浏览下面的网站，里面介绍的很详细！/153/1620.29五：目前我国工业废气治理市场的现状是：1、化工企业，80%存在废气问题，水处理公司限于技术和设备等条件，不能提供废气处理的服务，错失商机；2、废气治理，短时间内执法部门做不到在线检测，验收相对较容易。这是因为废气排放指标用臭气浓度（无量钢）表示，靠嗅辨师的鼻子检测，当臭气浓度低于2000无量钢时，即达到了国家排放标准；3、废气处理项目基本属于技术营销，技术先进、效果好就可以确定合同，基本不需要招标，废气工程盈利水平较高；4、工业废气治理是新兴行业，容易进行技术交流和技术推广；5、废气处理工程90%以上为成套设备的安装，不需要有大量的土建工程，施工时间短，结算期短，资金周转快。五：目前我国工业废气治理市场的现状是：1、化工企业，80%存30总结低温等离子体空气净化（废气处理）能够显著治理的污染有：VOC、恶臭气体、异味气体、油烟、粉尘，也可用于消毒杀菌。低温等离子体技术是一种全新的净化过程，不需要任何添加剂、不产生废水、废渣，不会导致二次污染总结低温等离子体空气净化（废气处理）能够显著治理的污染有：V31参考文献材料表界面（第二版）胡福增等著华东理工大学出版社/77/1048.html/view/1982802.htm/view/1277.htm参考文献32感谢欣赏！

谢谢！感谢欣赏！

谢谢！33低温等离子体简介姓名：xxx20xx年x月x日X级xx专业x班学号：xxxxxxxxx指导老师：xxx老师低温等离子体简介姓名34前言看似“神秘”的等离子体，其实是宇宙中一种常见的物质，在太阳、恒星、闪电中都存在等离子体，它占了整个宇宙的99%。现在人们已经掌握利用电场和磁场产生来控制等离子体。前言看似“神秘”的等离子体，其实是宇宙中一种常见的物质，在太35那么大家就思考一下什么是等离子体呢？那么大家就思考一下什么是等离子体呢？36一：等离子体的概念等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。一：等离子体的概念等离子体又叫做电浆，37等离子体等离子体—极光等离子体等离子体—极光38二：等离子体的产生的过程少数离子或电子在高频高压电场中被加速而得到较大动能，能量足够大的粒子碰到其他分子使其电离产生新的自由电子、离子、自由基等粒子，其中荷电粒子又被继续加速，在碰到其他分子如此循环反复形成等离子体二：等离子体的产生的过程少数离子或电子在高39三：等离子体的分类（1）：高温等离子体（2）：低温等离子体（3）：混合等离子体三：等离子体的分类40（1）：高温等离子体由大气电弧、电火花和火焰产生的，组成等离子体的分子、离子和电子都处于热平衡，温度高达几千度，也称平衡态等离子体和热等离子体！（1）：高温等离子体由大气电弧、电火花41（2）：低温等离子体在减压（1.33~1330Pa）和高频电场下发生辉光放电，少量气体分子被电离产生高温电子，穿梭在常温或接近常温的气体中发生碰撞，此时电子温度高达104~105K，而气体的离子和分子的温度与环境相同，约10K，远远低于电子的温度，是一种非平衡体系，也称为非平衡等离子体和冷等离子体。（2）：低温等离子体在减压（1.42低温等离子体

低温等离子体43（3）：混合等离子体在常压或低于常压下，使用5~50kV直流或高阻抗的电源，在电极间发生电晕放电或臭氧发生器产生的等离子体，一般也将其归入低温等离子体的范畴！（3）：混合等离子体在常压或低于常压下，使44四：低温等离子体中基本粒子能量范围电子0~20eV离子0~2eV亚稳态离子0~20eV紫外光/可见光3~40eV四：低温等离子体中基本粒子能量范围电子45五：等离子体的应用

现在,低温等离子体物理与应用已经是一个具有全球影响的重要的科学与工程，对高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。例如，1995年全球微电子工业的销售额达1400亿美元，而三分之一微电子器件设备采用等离子体技术。塑料包装材料百分之九十都要经过低温等离子体的表面处理和改性。科学家预测：二十一世纪低温等离子体科学与技术将会产生突破。五：等离子体的应用现在,低温等离子体物理46

●半导体集成电路及其它微电子设备的制造●工具、模具及工程金属的硬化●药品的生物相溶性包装材料的制备●表面防蚀及其它薄层的沉积●特殊陶瓷（包括超导材料）●新的化学物质及材料的制造●金属的提炼●聚合物薄膜的印刷和制备●有害废物的处理●焊接●磁记录材料和光学波导材料●精细加工●照明及显示●电子电路及等离子体二极管开关●等离子体化工(氢等离子体裂解煤制乙炔、等离子体煤气化、等离子体裂解重烃、等离子体制炭黑、等离子体制电石等)●半导体集成电路及其它微电子设备的制造47等离子体的应用还有很多，下面介绍一种有关保护环境应用！等离子体的应用还有很多，下面介绍一种有关保护环境应用48一：低温等离子体废气处理技术双介质阻挡放电（Double

Dielectric

Barrier

Discharge，简称DDBD）DDBD技术采用形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，该技术是派力迪公司与复旦大学共同研发成功的。一：低温等离子体废气处理技术双介质阻挡放电（Double

49二：技术作用原理

低温等离子体当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。二：技术作用原理低温等离子体当外加电压达到气体的放电电压50DDBD等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。DDBD等离子体反应区富含极高的物质，如高能51

图为DBDD等离子体双介质阻挡放电示意图

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图为DDBD等离子体放电管

53三：等离子体去除污染物基本过程过程一：高能电子的直接轰击过程二：O原子或臭氧的氧化

O2+e→2O过程三：OH自由基的氧化H2O+e→OH+HH2O+O→2OHH+O2→OH-+O过程四：分子碎片+氧气的反应三：等离子体去除污染物基本过程过程一：高能54等离子体化学反应过程大致如下：

等离子体化学反应过程大致如下：55等离子体简介课件56

图为废气处理工艺路线示意图

57四：DDBD技术特点

①DDBD介质阻挡放电产生电子能量高，低温等离子体密度大，达到常用等离子技术（电晕放电）的1500倍，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；②DDBD技术反应速度快，气体通过反应区的速度达到3-15米/秒，即达到很好的处理效果，其他技术气体通过反应区的速度0.01米/秒都很难达到DDBD的处理效果；四：DDBD技术特点①DDBD介质阻挡放电产生电子能量高，58③气体通过部分，全部采用陶瓷、石英、不锈钢等防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了低温等离子体技术设备腐蚀问题；其他技术是气体与电极直接接触，电极在3个月或1年内会造成严重腐蚀，即使通过的气体没有腐蚀性，自身所产生的臭氧也会把电极造成腐蚀；③气体通过部分，全部采用陶瓷、石英、不锈钢等防腐