净化车间洁净度与温湿度控制课件

→ASOLAR净化车间洁净度与温湿度控制合肥品澳工程动力部朱善成2019.8.2→ASOLAR1JASOLAR洁净室介绍什么是洁净室?洁净室Cleanroom:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。摘白GB50073-2019《洁净厂房设计规范》由于半导体工业所制作的渠成杷路元件尺寸嫣表小,在一决小小的溶片上,整合了许许多多的元件,因此在制造的过修中就必须防止外界杂质污染源(包抬尘埃、金属离子、各吴有机物等),因为这些污来得可以造成元器件性能的劣化及严品成品和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁冷的环统中进行,以尽量将污烧源和片隔离JASOLAR2净化车间洁净度与温湿度控制课件3JASOLAR洁净室的构造是怎样的?比较项目全面垂直层流方式部分层流方式乱沈方式室内全部为高洁净度区域洁净通道内为高洁净度区域室内洁净度不高蠡露华炭佘降的动导少作人员对油净度的需华麦余降的活动而导道内200-400次/h换气次数下降风速045m/s下降凤速0.25-0.45m/s20-50其它区100-200次/h设各费用JASOLAR4JASOLAR洁净室的洁净度是如何确定的?Cla9s10Class100Class1000-Class10000米的检子少于1个的粒子少于10个粒直径(pm)米的粒子少于100个1立方英尺为单位空间Class10000:大于0.5微米的子少于10000个直径05徽米的全埃粒子为比较标准JASOLAR5净化车间洁净度与温湿度控制课件6净化车间洁净度与温湿度控制课件7净化车间洁净度与温湿度控制课件8净化车间洁净度与温湿度控制课件9净化车间洁净度与温湿度控制课件10净化车间洁净度与温湿度控制课件11净化车间洁净度与温湿度控制课件12净化车间洁净度与温湿度控制课件13净化车间洁净度与温湿度控制课件14净化车间洁净度与温湿度控制课件15净化车间洁净度与温湿度控制课件16净化车间洁净度与温湿度控制课件17→ASOLAR净化车间洁净度与温湿度控制合肥品澳工程动力部朱善成2019.8.2→ASOLAR18JASOLAR洁净室介绍什么是洁净室?洁净室Cleanroom:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。摘白GB50073-2019《洁净厂房设计规范》由于半导体工业所制作的渠成杷路元件尺寸嫣表小,在一决小小的溶片上,整合了许许多多的元件,因此在制造的过修中就必须防止外界杂质污染源(包抬尘埃、金属离子、各吴有机物等),因为这些污来得可以造成元器件性能的劣化及严品成品和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁冷的环统中进行,以尽量将污烧源和片隔离JASOLAR19净化车间洁净度与温湿度控制课件20JASOLAR洁净室的构造是怎样的?比较项目全面垂直层流方式部分层流方式乱沈方式室内全部为高洁净度区域洁净通道内为高洁净度区域室内洁净度不高蠡露华炭佘降的动导少作人员对油净度的需华麦余降的活动而导道内200-400次/h换气次数下降风速045m/s下降凤速0.25-0.45m/s20-50其它区100-200次/h设各费用JASOLAR21JASOLAR洁净室的洁净度是如何确定的?Cla9s10Class100Class1000-Class10000米的检子少于1个的粒子少于10个粒直径(pm)米的粒子少于100个1立方英尺为单位空间Class10000:大于0.5微米的子少于10000个直径05徽米的全埃粒子为比较标准JASOLAR22净化车间洁净度与温湿度控制课件23净化车间洁净度与温湿度控制课件24净化车间洁净度与温湿度控制课件25净化车间洁净度与温湿度控制课件26净化车间洁净度与温湿度控制课件27净化车间洁净度与温湿度控制课件28净化车间洁净度与温湿度控制课件29净