洁净室设备概述培训讲义

洁净室设备概述主讲人：徐仁春11

空氣浴塵機

2緩衝室

3

傳遞箱

4衣架及鞋櫃

5洗手台及烘乾機

6沖身洗眼機無塵室設備2潔淨廠房空間組成分析圖人員物料人員淨化用室1.緩衝室2.衣櫃及鞋櫃3.洗手烘乾機4.三叉管制機...空氣浴塵室A/S氣閘室A/L傳遞箱P/B物料淨化化用室空調機房輔助室1.鍋爐機房2.超純水站3.空氣壓縮機房4.真空幫浦室5.變電/配電站...化學區-沖身洗眼機潔淨室一般區垂直管線間/水平夾層3空氣浴塵室(AIRSHOWER)為作業者或物品進入CLEANROOM時，用以吹除人體衣服上及設備、物料、工具的塵埃之功能。空氣浴塵室(AIRSHOWER)同時具有AIRLOCK氣鎖功能可以有效控制人員進出作用，並作為不同等級清淨室的緩衝室，達到防止交叉污染產生。2.1空氣浴塵機42.法規需求—無3.用途與分類用途使用於跨越不同潔淨等級區域使用分類1.單座式A/S2.隧道式A/S3.階梯隧道式A/S門扇又可分為手拉門式A/S自動門式A/S2.1空氣浴塵機54.結構說明噴氣口紅外線感知器前過濾網送風機HEPA主過濾網壓差計2.1空氣浴塵機61.前置過濾網(PRE-FILTER)將尼龍不織布網材裝入鋁框內,其以除去較粗大之塵埃為目的。可用水洗或真空吸塵器吸塵方式再生使用。2.主濾網(MAINFILTER)--HEPAFILTER採用高性能過濾網,於0.3um以上的粒子,有99.99%以上的過濾效率。阻塞時，需重新更換。3.噴氣口(AIRNOZZLE)將加壓之潔淨空氣經特別設計之噴氣口噴出23M／S以上的風速，達到粒子剝離之效果，並可依需求調整吹氣方向，可有效的去除人體衣服上之較大微粒子塵埃。4.送風機使用高靜壓送風機,並採2極與4極之變極方式,以供給噴氣及循環時之使用。2極運轉時為強力噴氣模式，4極運轉時僅做空氣潔淨循環模式。2.1空氣浴塵機71.控制不同潔淨等級區域人員之進出2.排除一定粒徑以上之灰塵粒子3.防止不同潔淨等級區域之交叉污染4.人員更衣室入口的朝向，避開主要經常風向入口。5.進入無塵室間，空氣浴塵室之位置宜適中，以方便人流進出動線。6.空氣浴塵室旁，應設置側門，供緊急使用。7.單體式空氣浴塵室，自進入A/S且門關閉後，至另一側門扇可開啟之標準程序，共歷時30秒。因此，設置台數，須根據通過頻率最高時段之人數，作為選取空氣浴塵室尺寸規格之依據。8.若通過頻率最高時段之人數，超過單體式空氣浴塵室之負荷時，則建議使用隧道式空氣浴塵室，但通道兩側門扇，不建議使用互鎖型式，以利人員動線之暢通。9.隧道式空氣浴塵室之兩側門扇外，建議使用燈號及反射鏡，教育通道兩側人員之進出行為，以避免兩側門扇同時打開，產生交叉污染情形。182.1空氣浴塵機8A/S數量計算A/S型式總人數單台A/S使用人數單台A/S經過時間A/S台數全部通過時間2人份120人÷2人X20秒÷4台=5分鐘4人份120人÷4人X20秒÷2台=5分鐘8人份120人÷6人X20秒÷1台=5分鐘2.1空氣浴塵機9氣密緩衝室(AIRLOCKROOM)為作業者或物品離開CLEANROOM時，利用互鎖功能，以有效控制人員進出時，防止交叉污染產生。2.2緩衝室10用途1.使用於跨越不同潔淨等級區域使用，由潔淨等級高至等級低處2.利用門扇互鎖之機制，防止氣流的干擾及交叉污染分類1.單座式A/L2.組合式A/L2.2緩衝室111.門扇(具有互鎖功能)2.氣密室基本設計原則1.控制不同潔淨等級區域人員之進出2.防止不同潔淨等級區域之交叉污染3.氣密緩衝室通常與空氣浴塵室位置相鄰，以方便人流離開無塵室動線順暢。2.2緩衝室12傳遞箱(PASSBOX)為置於潔淨室隔間牆上之裝置，其功能是做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區，其可防止於傳遞物品時由於門的開啟而破壞了潔淨室氣流與室壓。更可減少作業人員走動時，防止外區塵埃的進入。傳遞箱(PASSBOX)的進出口應具有不可同時開啟的聯鎖控制，以達到防止交叉污染之功能。2.3傳遞箱132.法規需求—無3.用途與分類用途1.物流使用於跨越不同潔淨等級區域使用2.利用門扇互鎖之機制，防止氣流的干擾及交叉污染分類1.手動式P/B2.自動式P/B2.3傳遞箱144.結構說明1.門扇(具有互鎖功能)2.氣密室5.基本設計原則1.控制不同潔淨等級區域人員之進出2.防止不同潔淨等級區域之交叉污染3.氣密緩衝室通常與空氣浴塵室位置相鄰，以方便人流離開無塵室動線順暢。2.3傳遞箱15人在進出無塵室間，人往往是最高的汙染源。因此，人出入無塵室時，穿上包覆全身的無塵衣，則是控制無塵室污染的重要指標。為了控制無塵衣的潔淨度，配備衣櫃(Garmentstocker)，存放無塵服及鞋子，藉以控制無塵室之污染源。2.4衣架及鞋櫃162.法規需求—無3.用途與分類用途1.防止無塵衣存放時遭到外界汙染2.控制無塵衣之潔淨度與乾躁度分類1.無塵式衣櫃2.4衣架及鞋櫃174.結構說明衣櫃由空調過濾設備SS-MAC及衣櫃本體，兩者組合而成。其空調過濾設備可除去0.3um以上粒子99.99%以上之效率，吹出口潔淨度為CLASS100(US.Fed.Std.209d)，且具低噪音及低消耗電力之特性。1.主過濾器(MAINFILTER)2.前置過濾器(PREFILTER)3.電源3.保險絲5.基本設計原則1.設置於GownRoom2.依據使用人員數量，設置無塵衣櫃及鞋櫃3.以方便人流使用動線位置設置2.4衣架及鞋櫃18人在進出無塵室間，手部的往往是最高的汙染源。因此，人出入無塵室時，手部的清潔，則是控制無塵室污染的重要指標。為了防止手部汙染的情形產生，配備洗手烘乾機(Handwasheranddryer)，已是無塵室潔淨度控制的基本設備需求。2.5洗手台及烘乾機192.法規需求—無3.用途與分類用途1.防止無塵室與非無塵室間的手部的接觸汙染2.控制人員手部之清潔度與乾躁度

分類1.落地單體式洗手烘乾機(富泰)2.壁掛洗手台式洗手烘乾機(TOTO)2.5洗手台及烘乾機201.洗手-水過濾器2.烘乾功能-風機5.基本設計原則1.設置於GownRoom2.依據使用人員數量，設置烘乾洗手機3.以方便人流使用動線位置設置4.需先行考量水電管路預留位置2.5洗手台及烘乾機21沖身洗眼器一般分為沖身及洗眼設備二種，主要依化學品噴濺身體位置選擇適當沖身或洗眼設備，現今緊急沖淋裝置常一起設置沖身及洗眼設備，可供現場作業人員第一時間沖淋化學品濺傷之位置。一般來說，緊急沖淋裝置主要是以清水提供人員清洗，清洗建議時間約需15分鐘至30分鐘。而針對化學品噴濺，另外有六氟靈（Hexafluorine）及敵腐靈（Diphoterine）急救用品進行處理。2.6沖身洗眼機222.法規需求—a.勞工安全衛生設施規則第三百十八條：雇主對於勞工從事其身體或衣著有被污染之虞之特殊作業時，應置備該勞工洗眼、洗澡、漱口、更衣、洗濯等設備。前項設備，應依左列規定設置：(1)刺激物、腐蝕性物質或毒性物質污染之工作場所，每十五人應設置一個冷熱水沖淋設備。(2)刺激物、腐蝕性物質或毒性物質污染之工作場所，每五人應設置一個冷熱水盥洗設備。b.鉛中毒預防規則第三十五條：雇主使勞工從事粉狀之鉛、鉛混存物或燒結礦混存物之處理作業者，應設置淋浴設備。c.特定化學物質危害預防標準第三十六條：雇主使勞工從事製造、處置或使用特定化學物質時，應設置洗眼、沐浴、漱口、更衣及洗衣等設備。但丙類第一種物質或丁類物質之作業場所並應設置緊急沖淋設備。d.四烷基鉛中毒預防規則第五條第一款第六項：設置休息室、盥洗設備及淋浴設備供給勞工使用。2.6沖身洗眼機233.用途與分類用途可使工作人員於意外噴濺到危害