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CdS薄膜与CuSCdS太阳电池2CuS/CdS是一种廉价太阳电池,它具有成本低、制备工艺十分简2单的优点。因此,在70-80年代曾引起国内外广大光伏科研者的广泛兴趣,以空前热情进行研究。在烧结体Cu2JCdS太阳电池研究的基础上,70年代开展了在多种衬底上使用直接和间接加热源的方法沉积多晶CdS薄膜。薄膜制备方法主要有喷涂法、蒸发法等。CdS薄膜结构特性CdS是非常重要的:II-W族化合物半导体材料。C北薄膜具有纤锌矿结构,是直接带隙材料,带隙较宽,为2.42eV。实验证明,由于CdS层吸收的光谱损失不仅与CdS薄膜的厚度有关,还与薄膜形成的方式有关。CdS薄膜光学性质CdS薄膜广泛应用于太阳电池窗口层,并作为n型层,与p型材料形成p-n结,从而构成太阳电池。因此它对太阳电池的特性有很大影响,特别是对电池转换效率有很大影响。一般认为,窗口层对光激发载流子是死层,其原因是,(1)CdS层高度惨杂,因此耗尽区只是CdS厚度的一小部分;(2)由于CdS层内缺陷密度较高,空穴扩散长度非常短,如果耗尽区没有电场,载流子收集无效。因此减少缺陷密度,可使扩散长度增加,能在CdS层内收集到更多的光激发载流子。CdS簿膜电学特性一般而言,本征CdS薄膜的串联电阻很高,不利于做窗口层,在300°C-350°C之间,将In扩散入CdS中,把本征CdS变成n-CdS,电导率可达1020-icm-i左右。对CdS热处理也能使电导率增加1080-icm-i的量级。在相对低温下进行热扩散,以免使膜退化。当在空气中加热到300°C时,由于氧在晶界有化学吸收,使光电导率衰减。未掺杂的CdS薄膜的电阻率高,不是由于膜的不连续引起的,很可能是由于氧气介入,氧俘获导带电子,形成化学吸附,存在晶界的多晶CdS薄膜更易吸收氧,在热退火过程中,消除氧的吸附作用,降低了电阻率,因此热处理不但有效地滤掉了薄膜内部的氧,而且有利于膜在优势晶向上长大。CdS薄膜和CuS/CdS太阳电池的制备方法21.4.1喷涂法60年代初,已有人开始采用喷涂或涂刷技术,研究CdS薄膜及CuS/CdS太阳电池。为了适应工业化生产CdS薄膜,R,R.Chamberlin2和J.F.Jorn等人发展了这种方法。用喷涂法制备CdS薄膜,其方法主要是将含有3和Cd的化合物水溶液,用喷涂设备喷涂到玻璃或具有SnO导电膜的玻璃及其它材料2的衬底上,经热分解沉积成CdS薄膜。各国不同学者采用的工艺都基于如下热分解效应:CdC1+(NH)CS+2H0—CdSl十2NHClf十C0I2 22 2 4 2热分解温度Ts〉250C。热分解温度、喷涂溶液组分,喷速以及SnO透明电极的电阻率,2窗口效应的利用等是影响电池性能的主要因素。为了制备太阳电池,在CdS膜表面喷涂转型物质,如含Cu+的氯化亚铜溶液,或采用常规浸泡工艺,使之形成一定厚度的CuS层,2并经热扩散等工艺和喷涂金属层作电极,形成太阳电池。在CuS/CdS太阳电池中,由于两种材料的亲和力失配,相差20.3eV,因此使扩散电位被限制在0.8eV,降低了太阳电池的开路电压。为此,提出了采用由CdS和ZnS制备Cdi-xZnxS来代替CdS,以改善小层的电子亲和力和降低界面态数目。由于喷涂法制备Cu2S/CdS(Cu2S/Cdi-xZnxS)薄膜太阳电池,不采用真空设备,使工艺得到简化,并为定量掺杂、控制膜厚和薄膜电阻率及重现性带来方便。1977年R.Feigllsen研制出转换效率为7.8%的Cu2SCd09Zn01S太阳电池。1.4.2蒸发法采用电子束技术蒸发CdS原料油于装料器外壳不加热,并进行水冷,因而减少了污染,获得的膜牢固、致密、纯度高、耐腐蚀性好、剩余原料组分不变,可以循环使用。因此该方法获得了广泛应用。长春应化所张瑞峰等人用电子束蒸发制备CdS薄膜,改进了电子束蒸发设备,避免了在蒸发过程中CdS粒子飞溅。采用常规氯化亚铜浸泡法形成Cu多层,从而构成CuS/CdS太阳电池,电池最佳转换效2率为6.2%。真空加热蒸发制备CdS薄膜是常采用的方法。长春应化所王福善等人用石墨作加热器,调节源上方挡板的大小和位置,获得无溅射颗粒的CdS薄膜,并用氯化亚铜水溶液浸泡形成Cu2S层,构成Cu2S/CdS太阳电池,其最高效率为7.8%。长春应化所王给祥等人,改进了蒸发工艺,对CuS层进行HCI2腐蚀,使表面形成绒面织构,所获得的CuS/CdS太阳电池最佳有效2面积转换效率为8.9%。Cu28/CdS太阳电池机理研究由于CuS/CdS薄膜太阳电池工艺不稳定,电池转换效率不高,2稳定性差,易衰降,因此阻碍了这一类型太阳电池的发展。为此许多学者对这种电池开展了深入细致的机理研究。上海能源所黄芳龙用扫描电子能谱仪测量了不同效率的薄膜CuS/CdS太阳电他的AES谱。2认为真空蒸发形成CdS膜和化学浸泡法形成Cu2s层构成的Cu2S/CdS电池为缓变结电池,高浓度CuS区厚0.05颇-0.1颇,铜过渡区厚度2为1颇,在一定的结深和过渡区范围内,电池效率与高浓度CuS层厚2度(结深)成正比,与铜过渡区厚度成反比,并计算出电他的极限效率为18%,实际工艺可能达到12.5%。黄芳龙进一步研究了扩散对CuS/CdS太阳电池效率及稳定性的影响。扩散会改变电池各元素的组2成比,导致电池效率下降,特别
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