CT pecvd日常报警说明课件

CTpecvd日常报警说明Process

recipe

has

terminated

with

error

state----Alarm

ACK----

(1)to

store(2)to

store

enable

unload(3)Restart

recipe

进行中的工艺以错误的状态结束----警报确认----（1）储存（2）储存并卸下（3）重新开始工艺。(1)用错工艺号，手动结束工艺，重新开始新的其它工艺时进行选择。(2)多数情况下选择此项。(3)工艺中断需要重新进行时选择，选择前应查看镀膜情况。警报翻译说明警报翻译说明Boat

already

in

tube----select:

[

process=0

unload=1].石墨舟已经在管内----选择[运行工艺=0

取出卸下=1]当管内有石墨舟时，异常排除后手动运行工艺时会出现这样的提示，查看镀膜情况后在做选择。123Lost

homing,

check

position.

失去引导，检查位置。

此报警会自动解除，只需要检查一下桨是否在原点的位置即可。说明翻译警报12HFGen

out

of

1st(2nd)

tolerance.

高频发生器超过第一（二）个位置，如果在镀膜中退出，如已经沉积到氮化硅，检查镀膜时间后，选择手动工艺输入剩余时间。通常出现这样的报警有三种情况：

(1)石墨舟的电极孔放反。

(2)石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电极的中间。

(3)炉内的碎片太多，石墨电极底部接触到碎片形成两片电极之间的短路。警报翻译说明123Recipe

abort2----process

abort!

TO

continue:

enter

AB.工艺推出----运行终止。继续输入AB对工艺异常确认输入AB后，会出现第（一）个报警

说明警报翻译123Vacuum

tube

out

of

1st(2nd)

tolerance.石英管内的真空度超过第一（二）个限值。

系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次，由于某种原因导致抽真空被延时，在特定的时间内无法达到真空设定值的要求，系统会出现这样的报警，检查一下状态栏中的压力值和真空泵的工作是否正常，如正常过几分钟后报警会自动解除；如果此报警连同第（八）个报警一起出现的话，联系工序长和领班。说明翻译警报12Boat

sensor

of

grab

has

changed

without

permission.机械手上的传感器被非允许移动。机械手喜爱上下移动时不会前后移动，若这时前后的位置发生变化，机械臂将会被锁定，出现报警。此警报需要通知工序长或领班。说明翻译警报123Collective

alert

pump

st.1真空泵报警。

一般情况下是由于真空泵的负压太大，导致报警。如复位无效的话通知工序长或领班。说明翻译警报12Gas

N2(SiH4、NH3)out

of

1st(2nd)

tolerance.特气氮气（硅烷、氨气）超过第一（二）个限值。

出现这种报警的原因是多面的：高频放电失败、管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定（冷却水报警），都会出现这样的报警，出现超过第一个限值报警，只是警告；超过第二个限值报警出现后工艺会自动停止，此时报警消失，出现第五个报警信息说明翻译警报123Warming:

check

SiH4

distribution.警告,检查硅烷的流量。警告,检检查硅烷的流量是否于设定值吻合，如果不是退出并重新运行工艺查硅烷的流量。说明翻译警报123Recipe

couldn't

de

started.

please

check

protocol

for

reason.。工艺不能被运行，请检查原因。此管已有一个工艺在运行；此管没有你要选的工艺文件；状态不正确说明翻译警报123There

is

already

an

active

recipe

×××

form

local

listing.已经有×××工艺在此管的工艺列表中。十一、十二俩个报警有时会一起出现，终止任何一个报警都会解除。说明翻译警报12Boat

collision.舟被撞击。Handling对话框中将舟移动到安全的位置；若是在上下舟，检查一下小车和储存架的位置是否于舟的位置匹配。说明翻译警报12Tube

ready

in

undefined

please

ensure

that

the

CESAR

loading

machine

is

at"0"

position

and

softlander

is

"UP".管子的状态无法被确认，请确保CESAR接收到桨在"0"和"UP"的位置。检查桨是否在上位和原点的位置，如果是的，在空桨的情况下运行homing工艺；如果不是，手动移动桨到上位和原点。说明翻译警报123The

boat

sensor

has

detected

no

boat

in

the

grab

although

a

boat

should

be

in

the

grab.

please

check

boat

in

grab

sensor

and

try

again.

虽然有一个舟在机械臂上，但传感器测不到，请检查一下舟是否接触到传感器后再试一次。

机械臂上的传感器没有感应到舟，将舟放到正确的位置即可。说明翻译警报123Grab

sensor

undefined.

No

movement

possible!

Check

boat

position.传感器不明确，无法移动，检查舟的位置。

机械臂不在正确的位置，无法移动，若机械臂没有被锁定在Handling的界面中将机械臂移至正确的位置。说明翻译警报123Boat

position

(speed)

out

of

1st(2nd)

tolerance.舟的位置（速度）超过第一（二）限值。通常会发生在退舟失败后，手动使桨复位。说明翻译警报123Boat

failure.退舟失败。检查舟在桨上的位置，如果正确手动将桨复位；如果不正确，戴上高温手套把舟拉到正确的位置后手动复位。说明翻译警报123Water

flow

gas

side

st.1.TGA（gas

side

）冷却水报警。将石英管后的冷却水流量调整一下即可说明翻译警报123No

process

boat

in

source

position.

在设定的位置没有舟的存在。

通常是因为机械臂将石墨舟放到储存架上，储存架上的传感器没有感应到。调节传感器或者调节舟的位置即可。说明翻译警报123The

trollery

is

in

the

collision

area

of

the

lift

.please

remove

trollery.

小车在机械臂的撞舟区域，请移开小车小车上有舟，炉管空的情况，机械臂要去STORE取舟，这时需要把小车移走。说明翻译警报123Warning

water

flow

at

plasma

generator等离子电源水流量报警

炉管后便高频电源的冷却水流量低，调整进水阀门。说明翻译警报123Warning

no

connection

to

Cesar

st1

Cesar连接不上。说明翻译警报123Warning

handling

stop

急停按钮报警

说明翻译警报123Vacuum

tube

out

of

2

nd

tolerance

石英管真空度超出第二范围。炉门密封圈上有碎片，需要清理碎片，或者后边的观察窗石英玻璃坏掉，更换。说明翻译警报123External

file

could

not

be

written

(h:/protol/cvd-2/p%day%cil)

不能向外部储存器写程序。

重新加载工艺或者重启电脑。说明翻译警报123Unable

to

adjust

network

time

.possibly

time

service

on

ccc

not

不能够调整计算机网络时间。CCC电脑报时功能不可用

说明翻译警报不能够调整计算机网络时间。CCC电脑报时功能不可用

CCC电脑时间不同步，重启CESAR或CCC电脑

123Door

open

or

unlocked

.no

auto-processing

possible.

门被打开或者没锁，不能自动运行工艺

门没关严实，打到手动挡，开关一下门，然后打开自动，消除报警。说明翻译警报123请在此处添加文本请在此处添加文本请在此处添加文本说明翻译警报123请在此处添加文本请在此处添加文本请在此处添加文本说明翻译警报123Grab

sensor

undefined

,no

movement

possible!

Check

boat!

抓手信号不确定，不能运动，检查舟。

舟没有水平放在抓手上，抓手上限位开关未打开到位，检查小车或STORE2/3位置，如果位置没变化，检查开关是否损坏，更换备件。

说明翻译警报123Boat

position-EFM

error

4

:not

positioned.

舟的EFM位置不确定。

桨上没有舟，感应开关感应不到舟的位置存在，如有舟，检查感应器是否损坏。说明翻译警报123Alarm

water

flow

at

main

cooler.

主冷却水流量报警。出水流量低，打开出水阀

说明翻译警报123Alarm

compressed

air

supply

压缩空气报警。说明翻译警报1Boat

positionEFM

error

1023

:

boat

is

misplaced

for

the

lift

,problem

must

be

cleared

and

acknowledged

mannually.

舟在机械臂的位置不确定，问题需要清除或者手动确定说明翻译警报123The

motion

did

not

complete

.timeout,check

plug

connection

and

power

supply!

运动不能完成，超时，检查接头或电源。说明翻译警报123State

of

arm

has

changed!

Cancel

,

if

it

is

in

vertical

direction.

机械臂位置改变，如果在垂直方向，就取消。请在此处添加文本说明翻译警