微流控芯片制作与修饰ppt

微流控芯片制作与修饰1微结构的形成

1．经典的光刻技术Photolithographproceduresformakingglasstemplate.(a)Spinecoatingofphotoresist,

(b)coveredwithphotomask,

(c)exposure,(d)developing,(e)etching,and(f)removalofphotoresist.

适合硅、玻璃、石英等材料，与传统的半导体工业的方法一致。分为湿法和干法两种，干法的分辨率较湿法高，相应的制造成本也高。Analyst,2004,129,305–308芯片制作与修饰22．模版浇注法

（模塑法）Processoverviewformassmanufacturingofplasticmicrofluidicsystems

适合聚合物材料。大批量生产时成本低。Anal.Chem.,2002,74,78A-86A3微结构的形成3．模版热压法Schematicrepresentationofthefabricationmethodinvolvinghotembossingofthermoplasticpolymerpelletsandthermalbonding.

适合热塑性聚合物。AppliedPhysicsLetters,2002,80,3614-36164微结构的形成微结构的形成2023/1/155

用激光直接在聚合物或玻璃上加热形成微结构.Anal.Chem.,1997,69,2035-2042光刻机:光刻机/紫外曝光机（MaskAligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫MaskAlignmentSystem.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、等工序Photolithography（光刻）意思是用光来制作一个图形（工艺）；在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。2023/1/156等离子清洗机(plasmacleaner):也叫等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。2023/1/157数控机床:是数字控制机床（Computernumericalcontrolmachinetools）的简称，是一种装有程序控制系统的自动化机床。该控制系统能够逻辑地处理具有控制编码或其他符号指令规定的程序，并将其译码，用代码化的数字表示，通过信息载体输入数控装置。经运算处理由数控装置发出各种控制信号，控制机床的动作，按图纸要求的形状和尺寸，自动地将零件加工出来。数控机床较好地解决了复杂、精密、小批量、多品种的零件加工问题，是一种柔性的、高效能的自动化机床，代表了现代机床控制技术的发展方向，是一种典型的机电一体化产品。2023/1/158注射泵：注射泵由步进电机及其驱动器、丝杆和支架等构成，具有往复移动的丝杆、