GB/T 11164-2011真空镀膜设备通用技术条件

ICS23160

J78.

中华人民共和国国家标准

GB/T11164—2011

代替

GB/T11164—1999

真空镀膜设备通用技术条件

Vacuumcoatingplantgenericspecification

2011-11-21发布2012-06-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T11164—2011

目次

前言…………………………

Ⅰ

范围………………………

11

规范性引用文件…………………………

21

术语和定义………………

31

技术要求…………………

42

试验方法…………………

54

检验规则…………………

65

标志包装运输贮存……………………

7、、、5

GB/T11164—2011

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准代替真空镀膜设备通用技术条件与相比主要变

GB/T11164—1999《》,GB/T11164—1999

化如下

:

为使用方便增加了目次

———;

修改了中真空镀膜设备的压力范围由-4-3修改为-5

———GB/T11164—1999,10Pa~10Pa10Pa~

-3

10Pa;

修改了表中镀膜室尺寸分档增加了

———GB/T11164—19991,300、400、450、1100、1350、2200、

十档尺寸并对带号尺寸优先选用进行了调整

2400、2500、2600、3200,“*”;

修改了表中镀膜设备的分档增加了档镀膜设备并增加或修改了各

———GB/T11164—19991,C,

档镀膜设备的极限压力抽气时间及升压率指标

、;

因中部分规范性引用文件已修订故本标准引用现行标准

———GB/T11164—1999,;

修改了的用表格的方式规定了设备配套的电器装置中各电气回路

———GB/T11164—19994.4.6,

的绝缘电阻值

;

修改了的及增加了安全防护内容

———GB/T11164—19994.5.44.5.12,。

本标准由中国机械工业联合会提出

。

本标准由全国真空技术标准化技术委员会归口

(SAC/TC18)。

本标准负责起草单位北京北仪创新真空技术有限责任公司

:。

本标准参加起草单位上海曙光机械制造厂有限公司兰州真空设备有限责任公司成都南光机器

:、、

有限公司中国航天科技集团第五研究院第研究所上海惠丰石油化工有限公司沈阳真空技术研

、510、、

究所

。

本标准主要起草人陈月增谢钧荣范立群孙凯温发兰靳毅刘强惠进德王学智

:、、、、、、、、。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为

:

———GB/T11164—1989、GB/T11164—1999。

Ⅰ

GB/T11164—2011

真空镀膜设备通用技术条件

1范围

本标准规定了真空镀膜设备的技术要求试验方法检验规则及标志包装运输和贮存等要求

、、、、。

本标准适用于压力在-5-3范围的真空蒸发类溅射类离子镀类真空镀膜设备以下

10Pa~10Pa、、(

简称设备

)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅所注日期的版本适用于本

。,

文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

包装储运图示标志

GB/T191—2008

真空技术术语

GB/T3163—2007

机械电气安全机械电气设备第部分通用技术条件

GB5226.1—20081:

真空技术法兰尺寸

GB/T6070—2007

标牌

GB/T13306—2011

机电产品包装通用技术条件

GB/T13384—2008

电能质量电力系统频率偏差

GB/T15945—2008

机械电气安全指示标志和操作第部分关于视觉听觉和触觉信号的

GB18209.1—2010、1:、

要求

真空设备型号编制方法

JB/T7673

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T3163—2007。

31

.

极限压力ultimatepressure

泵在工作时空载干燥的真空容器逐渐接近达到并维持稳定的最低压力

,、