标准解读

《GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件》这一标准文件规定了离子束蚀刻机应满足的基本技术要求、测试方法以及检验规则，旨在确保设备的性能稳定性和加工质量的一致性。以下是该标准主要内容的概述：

  1. 范围：明确了本标准适用的离子束蚀刻机类型，通常用于半导体、微电子、光学元件等领域中的材料精密加工，通过离子束轰击实现材料表面的精确蚀刻。

  2. 引用标准：列出了实施本标准时需要参考的其他相关国家标准或行业规范，这些标准涉及电气安全、机械安全、环境条件等方面的要求。

  3. 术语和定义：对离子束蚀刻机相关的专业术语进行了明确界定，便于读者理解和执行标准内容。

  4. 分类与型号：根据离子束能量、加工面积、设备结构等特点，对离子束蚀刻机进行分类，并规定了型号命名规则，以便用户根据需求选择合适的机型。

  5. 技术要求：

    • 性能指标：包括离子束的能量范围、束流稳定性、加工精度、均匀性等关键参数的具体要求。
    • 安全性：确保设备在操作、维护过程中的电气安全、机械安全及防护措施达到国家相关安全标准。
    • 环境适应性：设备需能在规定的温度、湿度、洁净度等环境下正常工作，且对周围环境的影响控制在允许范围内。
    • 可靠性：规定了设备连续工作时间、故障率等指标，确保长期稳定运行。

  6. 试验方法：详细说明了如何对离子束蚀刻机的各项技术指标进行测试和验证，包括测试环境、测试设备、测试步骤和判定准则。

  7. 检验规则：包括出厂检验、型式检验的项目、抽样方案及合格判定标准，确保每台出厂设备均符合技术要求。

  8. 标志、包装、运输和贮存：对设备的标识信息、包装方式、运输条件及贮存环境提出了具体要求，以保护设备在流通和存放期间不受损害。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 15861-2012
  • 1995-12-22 颁布
  • 1996-08-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS31.200L97中华人民共和国国家标准GB/T15861-1995离子束蚀刻机通用技术条件GenericspecificationT0mbeametchingsystem1995-12-22发布1996-08-01实施国家技术监督局发布

中华人民共和国国家标准CB/T15861-1995离子束蚀刻机通用技术条件Genericspecificationofionbeametchingsystem主题内容与适用范围本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、定存本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子柬蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行引用标准GB191包装储运图示标志GB5080.7设备可靠性试验恒定失效率假定下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案SJ142电子工业专用设备总技术要求SJ1224真空蒸发设备通用技术条件SJ/T10152集成电路主要工艺设备术语3术语3.1束能量beamenergy表征离子束中离子的动能。单位以电子伏特(eV)计3.2柬流雷度beamcurrentdensity离子束某一指定截面上单位面积所通过的电流强度。3.3有效束径effectivebeamdiameter杠到靶上的束流密度均匀性在土5%以内的束直径范围3.4东流均勾性uniformityofbeamcurrent离子束某一指定截面上各等距测试点间束流密度变化的最大与最小值之差与其之和的比的百分3.5束流稳定性stabilityofbeamcurrent定时间内束流强度变化的均方根值与其平均值之比。3.6蚀刻均勾性etchuniformity被蚀刻材料表层不同点上的蚀刻速率的不一致性。3.7中和器neutralizer产生中和离子束中正电荷的电子发射源。4产品分类按加工工件置放方式分：立式离子束蚀

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