• 现行
  • 正在执行有效
  • 2011-01-14 颁布
  • 2011-05-01 实施
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GB/T 26251-2010氟和氟氮混合气_第1页
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文档简介

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犌８６

中华人民共和国国家标准

犌犅／犜２６２５１—２０１０

氟和氟氮混合气

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２０１１０１１４发布２０１１０５０１实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

书

犌犅／犜２６２５１—２０１０

前言

本标准的附录Ａ为规范性附录。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出。

本标准由全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）归口。

本标准起草单位：中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟

业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院。

本标准主要起草人：杜伟华、贺国武、李建浩、李春晓、倪志强、邓建平、周鹏云。

Ⅰ

书

犌犅／犜２６２５１—２０１０

氟和氟氮混合气

１范围

本标准规定了氟和氟氮混合气的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全的要求。

本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟。氟用于制备六氟化铀、六氟化硫、

三氟化硼、二氟化银、三氟化钴和三氟化镁等氟化物，也可用于激光气或塑料氟化处理等领域。

氟氮混合气制备采用压力法。混合气主要用于汽车、制药工业中材料氟化处理。

氟的分子式：Ｆ２。

氟的相对分子质量：３７．９９６８０６４（按２００７年国际相对原子质量计算）。

２规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有

的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究

是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

ＧＢ１９０危险货物包装标志

ＧＢ／Ｔ３７２３工业用化学产品采样安全通则

ＧＢ５０９９钢质无缝气瓶

ＧＢ７１４４气瓶颜色标志

ＧＢ／Ｔ８９７９纯氮、高纯氮和超纯氮

ＧＢ／Ｔ１１６４０铝合金无缝气瓶

ＧＢ１４１９４永久气体气瓶充装规定

ＧＢ／Ｔ２６５７１特种气体储存期规范

《气瓶安全监察规程》（国家质量监督检验检疫总局发布，２０００年）

３技术要求

３．１氟的技术要求应符合表１的规定。

表１氟的技术指标

项目指标

－２

氟（Ｆ２）纯度（体积分数）／１０≥９９．０

－２

氧（Ｏ２）＋氮（Ｎ２）含量（体积分数）／１０≤０．４５

－２

四氟化碳（ＣＦ４）含量（体积分数）／１０≤０．０５

氟化氢（ＨＦ）含量（体积分数）／１０－２≤０．５０

３．２氟氮混合气的技术要求应符合表２的规定。

表２氟氮混合气的技术指标

项目指标

－２

氟（Ｆ２）含量（体积分数）／１０

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