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文档简介

东旭铂金通道组

MEC系统操作说明通道的MEC系统主要是为通道外体和坩埚之间提供一个稳定可控的环境，目的是通过调节通道环境氛围，减少通道气泡的产生。设备组成：该系统主要由氮气氧气气源、缓冲水箱、混合气体配比柜、高精度混合气体计量柜、高精度定量给水柜、混合气体输送管道、输水毛细管道、气体扩散管等组成。主要提供水和氮气、氧气，并将其按照设定的比例输送至通道本体内部特定的位置。如下图所示：

一、系统概况

该系统对水、气的控制提供了本地和远程两套控制系统，可以对任何一个支路中供水量和供气量进行单独调控，供水供气系统均可由三楼电脑远程控制和四楼控制盘本地控制。系统开机顺序先是打开三楼电脑，然后四楼将开关打开。关机顺序则是先将三楼电脑关掉，然后四楼将开关关掉。顺序不可打乱，否则系统将无法正常运行。无论本地控制盘还是远程计算机控制，开机后都是一个通道整体图。点击翻页键可以切换控制界面，进入该部分的单独控制界面。F1和F8分别是进入（上翻）和退出（下翻）键，其他控制键无效。通过现场的触控屏或者控制室远程电脑可以通过单个回路界面，控制单个水泵的供水和气体计量的供气量。如下图所示

纯水控制系统由15路支路组成，加1路备用。纯水由主要由定量水泵通过挤压提供动力使水从微细管流出，流量通过调节转速来控制，转速以开度表示。如图

二、纯水控制系统

安装或更换安装或更换安装或更换安装或更换安装或更换气体控制系统由26路支路组成，分别供应到从提升段到供料段的混合气体流量。另加备用一路。氮气氧气配比主要通过高精度混合气体配比柜控制，柜面板上有各种压力表和指示灯以及调节旋钮，压力表指示出了进口和出口以及控制压力，指示灯指示出了该柜子的工作状态，在线氧含量监测仪实时指示出口混合气体中氧气含量，氧含量的调整通过控制旋钮手动调整。供气系统由配比柜调节气体比例，如图

三、气体控制系统

配比柜和氧气氮气罐相连。通过减压阀将氧气罐和氮气罐压力稳定在6公斤，过高或者过低配比柜都会报警。配比柜箱平时开一备一，操作上需要先打开Power开关预热到750℃，达到设定温度后打开电源开关。通过调整氧气调节阀和Flow旋钮调节混合气的比例。下图为在线氧含量监测仪实时指示的出口混合气比例的显示界面上图为配比柜的控制界面。我公司设定的氧气比例在1±0.1%

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