标准解读

《GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅》是中国国家标准之一，该标准主要针对用于制造半导体材料中硅外延生长过程的三氯氢硅（TCS, Trichlorosilane）制定了技术要求和测试方法。根据这一标准文件，三氯氢硅作为重要的半导体原材料，在其纯度、物理性质等方面都有严格规定。

在纯度方面，标准明确了不同等级三氯氢硅的具体指标，包括但不限于主成分含量、杂质元素的最大允许浓度等。这些指标直接关系到最终产品的性能与质量，因此对于生产者而言至关重要。同时，还详细列出了检测上述参数所需采用的方法和技术条件，确保了测试结果的一致性和准确性。


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  • 2014-12-31 颁布
  • 2015-09-01 实施
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文档简介

ICS29045

H83.

中华人民共和国国家标准

GB/T30652—2014

硅外延用三氯氢硅

Trichlorosilaneforsiliconepitaxial

2014-12-31发布2015-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T30652—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会和全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本标准起草单位中锗科技有限公司南京国盛电子有限公司南京中锗科技股份有限公司

:、、。

本标准主要起草人柯尊斌刘新军郑华荣谭卫东金龙

:、、、、。

Ⅰ

GB/T30652—2014

硅外延用三氯氢硅

1范围

本标准规定了硅外延用三氯氢硅的要求试验方法检验规则和标志包装运输贮存

(SiHCl3)、、、、、、

质量证明书以及订货单或合同内容

()。

本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅以下简称产品

()。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

包装储运图示标志

GB/T191

化学品安全技术说明书内容和项目顺序

GB16483

工业三氯氢硅

GB28654

硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼铝磷钒铬锰铁钴镍铜钼砷和锑量

GB/T29056、、、、、、、、、、、

的测定电感耦合等离子体质谱法

氯硅烷中碳杂质的测定方法甲基二氯氢硅的测定

YS/T987

国务院令第号危险化学品安全管理条例

591

3要求

31外观

.

产品应为无色透明液体

。

32化学成分

.

321产品的化学成分应符合表的规定

..1。

表1化学成分

%

其他氯硅烷杂质含量-7不大于

SiHCl3/(×10),

不小于不大于

FeCrNiAlMoAsSbPMnBCuCoVC

99.950.0551.51110.50.50.30.20.10.050.020.015000

注硅外延用三氯氢硅的含量为减去表中其他氯硅烷和杂质实测总和的余量

:100%。

33其他

.

需方如对硅外延用

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