• 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-05-14 颁布
  • 2018-12-01 实施
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文档简介

ICS23160

J78.

中华人民共和国国家标准

GB/T36176—2018

真空技术氦质谱真空检漏方法

Vacuumtechnology—Vacuumleaktestingmethodbyheliummassspectrometer

2018-05-14发布2018-12-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T36176—2018

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

一般要求

4…………………2

人员资格

4.1……………2

设备要求

4.2……………2

氦气

4.3…………………2

环境要求

4.4……………2

检漏方法

5…………………2

喷吹法

5.1………………2

氦罩法

5.2………………6

压力真空检漏法

5.3-……………………9

检漏文件

6…………………11

检漏记录

6.1……………11

检漏报告

6.2……………11

附录规范性附录检漏记录

A()…………12

附录规范性附录检漏报告

B()…………13

Ⅰ

GB/T36176—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国机械工业联合会提出

。

本标准由全国真空技术标准化技术委员会归口

(SAC/TC18)。

本标准起草单位北京卫星环境工程研究所安徽皖仪科技股份有限公司宁波莱宝真空自动化技

:、、

术有限公司湖南维格磁流体股份有限公司沈阳真空技术研究所

、、。

本标准主要起草人王勇孟冬辉孙立臣闫荣鑫史纪军黄文平王国东胡眉任国华孙伟

:、、、、、、、、、、

邵容平陆鸣张春元窦仁超言继春王功发言文静彭光东孙刚孙威景嘉荣李斌王玲玲

、、、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T36176—2018

真空技术氦质谱真空检漏方法

1范围

本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象

,、

系统组成检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求

、。

本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件组件分系统级以及系统级产品

、、。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

真空技术术语

GB/T3163

纯氦高纯氦和超纯氦

GB/T4844、

无损检测人员资格鉴定与认证

GB/T9445

无损检测术语泄漏检测

GB/T12604.7

质谱检漏仪

GB/T13979

3术语和定义

和界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T3163GB/T12604.7。

31

.

等待时间waitingtime

两次测试的间隔时间

。

32

.

检漏灵敏度leaktestingsensitivity

Q

emin

在具体的工作条件下检漏系统所能检出的最小漏孔漏率

,。

33

.

喷吹法sprayprobemethod

用喷枪喷出已知浓度的氦气束在被检件的表面扫描进行的氦质谱检漏方法

。

34

.

氦罩法heliumhoodmethod

将被检件部分或全部罩住罩内充入已知浓度的氦气进行的氦质谱检漏方法

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