JJF 1895-2021半导体器件直流和低频参数测试设备校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1895—2021

半导体器件直流和低频参数

测试设备校准规范

CalibrationSpecificationforSemiconductorDevicesDCandLow

FrequencyParametersTestEquipments

2021-02-23发布2021-08-23实施

国家市场监督管理总局发布

JJF1895—2021

半导体器件直流和低频参数

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测试设备校准规范ॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣৣॣ

ॣJJF1895—2021ॣ

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CalibrationSpecificationforSemiconductorॣ代替ॣ

ॣJJG725—1991ৣ

DevicesDCandLowFrequencyParameters

TestEquipments

归口单位全国无线电计量技术委员会

:

主要起草单位中国电子技术标准化研究院

:

参加起草单位中国计量科学研究院

:

北京市科通电子继电器总厂有限公司

中国电子科技集团公司第十三研究所

北京励芯泰思特测试技术有限公司

本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释

JJF1895—2021

本规范主要起草人

:

刘冲中国电子技术标准化研究院

()

李洁中国电子技术标准化研究院

()

张珊中国电子技术标准化研究院

()

参加起草人

:

高英中国计量科学研究院

()

李奇北京市科通电子继电器总厂有限公司

()

乔玉娥中国电子科技集团公司第十三研究所

()

李力军北京励芯泰思特测试技术有限公司

()

JJF1895—2021

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

概述

2……………………(1)

计量特性

3………………(1)

直流电阻

3.1……………(1)

电压输出

3.2……………(1)

电压指示

3.3……………(1)

电流输出

3.4……………(1)

电流指示

3.5……………(1)

低频信号源

3.6…………(1)

低频h参数

3.7………………………(1)

校准条件

4………………(2)

环境条件

4.1……………(2)

校准用设备

4.2…………(2)

校准项目和校准方法

5…………………(3)

校准项目

5.1……………(3)

外观和工作正常性检查

5.2……………(3)

直流电阻

5.3……………(3)

电压输出

5.4……………(4)

电压指示

5.5……………(6)

电流输出

5.6……………(7)

电流指示

5.7……………(9)

低频信号源

5.8…………(10)

低频h参数

5.9………………………(11)

校准结果表达

6…………(12)

复校时间间隔

7…………(12)

附录原始记录格式

A…………………(13)

附录校准证书内页格式

B……………(18)

附录主要项目校准不确定度评定示例

C……………(23)

附录被校设备的结构图面板及测试夹具端子说明示例

D、………(29)

Ⅰ

JJF1895—2021

引言

本规范依据国家计量校准规范编写规则和

JJF1071—2010《》JJF1059.1—2012

测量不确定度评定与表示编写

《》。

本规范是在晶体管直流和低频参数测试仪基础上进行修订与

JJG725—1991《》。

相比除编辑性修改以外主要技术变化如下

JJG725—1991,,:

修订了电流输出电流指示等校准项目

———、;

增加了主要项目校准结果不确定度评定的示例见附录

———(C)。

本规范历次版本发布情况

:

———JJG725—1991。

Ⅱ

JJF1895—2021

半导体器件直流和低频参数

测试设备校准规范

1范围

本规范适用于半导体器件直流和低频参数测试设备的校准

。

2概述

半导体器件直流和低频参数测试设备以下简称被校设备由偏置电压源偏置电

()、

流源电压测量单元电流测量单元低频信号源等组成主要用于各类半导体器件直

、、、,

流参数低频参数的测试

、。

3计量特性

直流电阻

3.1

范围最大允许误差

:0.005Ω~20GΩ,:±(0.1%~1%)。

电压输出

3.2

直流电压最大允许误差

a):±(0.01V~10kV),:±(0.1%~3%);

交流电压最大允许误差频率

b):±(0.1V~5000V),:±(1%~5%),:

50Hz。

电压指示

3.3

直流电压最大允许误差

a):±(0.01V~10kV),:±(0.1%~3%);

交流电压最大允许误差频率

b):±(0.1V~5000V),:±(1%~5%),:

50Hz。

电流输出

3.4

直流电流最大允许误差

a):±(1nA~10A),:±(0.1%~1%);

脉冲电流最大允许误差单脉冲

b):±(1A~1200A),:±(0.5%~3%),