JJG 48-2004硅单晶电阻率标准样片

中华人民共和国国家计量检定规程

JJG48—2004

硅单晶电阻率标准样片

StandardSliceofSingleCrystalSiliconResistivity

2004-09-21发布2005-03-21实施

国家质量监督检验检疫总局发布

JJG48—2004

硅单晶电阻率标准样片

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检定规程췍JJG48—2004췍

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代替JJG48—1990췍

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VerificationRegulationofStandard

SliceofSingleCrystalSiliconResistivity

本规程经国家质量监督检验检疫总局于年月日批准并自

20040921

年月日施行

20050321。

归口单位:全国无线电计量技术委员会

主要起草单位:中国计量科学研究院

参加起草单位:广州半导体材料研究所

本规程委托全国无线电计量技术委员会负责解释

JJG48—2004

本规程主要起草人:

鲁效明中国计量科学研究院

()

参加起草人:

谢鸿波广州半导体材料研究所

()

JJG48—2004

目录

范围……………………

1(1)

概述……………………

2(1)

计量性能要求…………

3(1)

标准样片的电阻率的测量范围……………………

3.1(1)

标准样片的标称值…………………

3.2(1)

标准样片应具备的参数及性能要求………………

3.3(1)

通用技术要求…………

4(2)

计量器具控制…………

5(3)

检定条件……………

5.1(3)

检定项目及检定方法………………

5.2(5)

检定结果的处理……………………

5.3(7)

检定周期……………

5.4(8)

附录硅单晶电阻率标准样片温度修正系数表……

A(9)

附录硅单晶电阻率标准样片的清洗方法…………

B(10)

附录硅单晶电阻率标准样片检定原始记录………

C(11)

附录硅单晶电阻率标准样片检定证书及检定结果通知书内页格式……………

D(12)

附录硅单晶电阻率标准样片检定结果的计算与处理……………

E(13)

附录计算硅单晶电阻率标准样片的各种修正系数表……………

F(15)

附录不同直径的硅单晶电阻率标准样片距边缘处的修正系数表F…

G6mm(eg)(16)

JJG48—2004

硅单晶电阻率标准样片检定规程

1范围

本规程适用于硅单晶电阻率标准样片的首次检定后续检定和使用中的检验

、。

2概述

硅单晶电阻率标准样片以下简称标准样片是用高纯多晶硅经过单晶制备再

(),,

经中子嬗变掺杂等多种工艺制造的具有一定几何尺寸的实物标准由不确定度已知的

,。

标准装置对该实物标准的电阻率及其它指标给予标定使用时以标准样片为准对相

,,,

关参数进行量值传递

。

3计量性能要求

标准样片的电阻率的测量范围

3.1

电阻率的测量范围

0.005Ω·cm~5000Ω·cm。

标准样片的标称值

3.2

标准样片的标称值应符合下述个规格中的一个见表

19,1:

表1标准样片的标称值

Ω·cm

电阻率标称值

0.0050.010.020.050.10.20.5125

102575180250500100020005000

标准样片应具备的参数及性能要求

3.3

标准样片除具有电阻率标称值和实际值外还应有下列参数或数据导电类

3.3.1,,:

型掺杂元素直径值厚度值和使用要求

、、、。

对不同级别的标准样片各项指标的要求见表

3.3.2,2。

表2标准样片的各项指标

样片级别

合格指标