2018郑州轻工业学院薄膜试卷B

《薄膜技术与薄膜材料》课程期末试卷（B）题号一二三四总分卷得分试B术线选择1234567891得分评卷人技膜题号0薄号与学答案料材一．选择题（每题2分，共20分）（请把答案填在上方题卡中）膜薄1.下面哪种真空泵不属于气体输运泵：（）期名(A)旋片式机械泵(B)复合分子泵学姓(C)罗茨泵(D)吸附泵第订2.普通三极型电离真空计的工作范围是：()年学(A)102~10-1Pa(B)105~10-2Pa(C)103~10-1Pa(D)10-6~10-1Pa/3、下面关于电镀的描述哪一项不正确：（）只适用于在导电的基片上沉积金属和合金院级(B)被镀基体金属为阳极学班(C)薄膜材料在电解液中是以正离子的形式存在业及装(D)沉积物的质量遵从法拉第定律工级轻年4.目前制备单分子膜沉积技术的是：（州业）郑专(A) 电镀 (B)阳极氧化(C)化学镀 (D)LB技术5.完成化学镀的过程有三种方式，其中下面哪种不是：（ ）(A) 置换沉积 (B)接触沉积

实用标准文案(C)还原沉积 (D)氧化沉积6.下面哪种选项不属于电阻加热蒸发法的缺点 :( )支撑坩埚及材料与蒸发物反应蒸发率高加热时合金或化合物会分解难以获得足够高的温度，可蒸发材料受到限制7.外延沉积技术对衬底的要求不合理的是：（ ）在沉积温度下容易发生热分解不受外延材料及蒸气的侵蚀和外延材料有相近的热膨胀系数晶格类型和晶格常数与外延材料匹配8.直流辉光放电伏安特性曲线中，溅射所选择的工作区域是：（）(A)汤森放电区(B)正常辉光放电区(C)异常辉光放电区(D)弧光放电区9.各种溅射的基础条件是气氛和（）(A)高压(B)真空度(C)低压(D)溅射率10.微量天平法实际上测量的是：（）(A)质量膜厚(B)形状膜厚(C)物性膜厚(D)表面膜厚得分 评卷人二、填空题（每空 1分，共20分）1.典型的真空系统应包括： ______________， 和 及一些必要的管道阀门等。2.X射线衍射法中随分析样品的不同可分为适合单晶的 ，适合粉末材料精彩文档实用标准文案和薄膜的 及适合粉体材料的粉末法。薄膜应力是薄膜重要的力学性质，它对薄膜的实际应用影响很大，它可以分为和 。4.电子衍射图案对于单晶衍射为______________，精细多晶为，大晶粒多晶且包含织构为。2.要得到质量较好的沉积膜，基体应满足什么条件？5.岛状薄膜的形成过程可分为四个主要阶段，分别为，，，。溶胶是具有液体特征的胶体体系，分散的粒子是固体或者大分子，分散的粒子大小在 之间。7.在离子镀膜成膜过程中，同时存在 ______________和 ，只有当前者超过后者时，才能发生薄膜的沉积。8.纳米薄膜按结构可以分为： ______________， 和 。得分 评卷人三、简答题（每小题5分，共40分）3.什么是离子镀？离子镀膜可以分为哪些类别？1.什么是化学气相沉积？有哪些常见类型？线精彩文档订简述扫描电镜的工作原理。简述薄膜形成与生长的物理过程。

实用标准文案卷试B术技 线膜薄 号与 学料材膜薄期学 名姓第 订年学6.简述等离子体化学气相沉积中等离子体的作用是什么？/院 级学 班业 及装工 级轻 年州 业郑 专精彩文档实用标准文案7.何为有机金属化学气相沉积？对原料的要求是什么 ？得分 评卷人 四、综合题（每小题 10分，共20分）1、试推导二次离子质谱仪的工作原理。8.红外吸收和拉曼散射的原因是什么？为什么某些分子振动队红外吸收敏感， 而另一