ESD防护程序(要求)

NETWORKSYSTEMGROUP系統名稱SYSTEM:檢驗規範主題SUBJECT:ESD防護程序文件編號DOCUMENTNO.:QP-QCD-10OF10REVDAPPROVEDCHECKEDPREPAREDBYDATE※PROPRIETARYINFORMATIONOFNSG※※ITEM章節1234567※※目錄※※CONTENTS內容目錄修訂履歷目的範圍參考文件定義職責內容附件/附表PAGE頁次123333~456~99~10※※修訂履歷※※REV.SDCNNO.修訂內容備註A初版發行B修正para6C修正para6D重新定義文件內容E變更6.5.1F增加TL9000標准要求GHJKLMNPQRSTUVWYZ目的:建立NSG通用的ESD防護要求與執行辦法,以保證ESD敏感零件、半成品及成品不會在搬運、檢驗及制造等過程中受到損傷.從而減少不良品的產生,提升良率.2.範圍:2.1本程序適用於所有參與NSG產品生產並和ESD敏感零件、半成品/成品有接觸的個人與工作場所.包括但不只限於:操作員、倉管員、收貨和出貨員、工程師、經理等.2.2所有和生產流程相關的區域內工作的任何人都必須遵循所有的ESD要求.參考文件:600006-0000:Electro-StaticDischarge(ESD)GeneralOperatingPolicyforManufacturingSJ/T10533-94:電子設備制造防靜電技術要求SJ/T10694-1996:電子產品制造防靜電系統測試方法定義:ESD(ElectrostaticDischarge)靜電釋放Conductivematerial導電材料一種傳導電的材料,這種材料每單位面積的阻抗(亦稱表面阻抗)小於1x106Ω.這對ESD防護是很重要的,因為導體允許靜電荷的釋放從而使電荷迅速地從產品傳導到地面.當一個物品需要用法拉第籠來屏蔽時,導電材料有特殊的作用.ESDprotectivecontainerESD保護器一種具有靜電屏蔽性和耗散性的容器.ESDshieldingcontainerESD屏蔽器這種容器通常用黑色以示區別,並且用一條線通過發亮的手的ESD圖標來標示.屏蔽器是用一個法拉第籠來保護元件而不會產生靜電釋放.這種類型的容器包括,例如:ESD周轉箱和銀色的ESD屏蔽袋.ESDdissipativecontainer/ESD耗散容器這種容器用有一條線通過發亮的手的ESD圖標來標示.耗散器可以緩慢地將電荷存放在容器的表面而不會產生靜電.FaradayCage/法拉第籠容器的導電性使在容器的外部周圍形成一個靜電保護籠的現象.任何接觸到法拉第籠的電荷將會迅速均勻地分布在籠的表面,而不是滲透進籠的內部,因此法拉第籠可以保護任何在它里面的零件.可以形成法拉第籠的物體,例如:屏蔽袋和被完全導電材料之手袋.Shielding/屏蔽運用法拉第籠(每單位面積的阻抗小於1x104Ω)進行ESD防護.Dissipativematerial/靜電耗散材料每單位面積的阻抗小於1x109Ω,但大於1x106Ω時的一種傳導電流的材料.當電荷要求以比較慢的速度(和導體相比)傳輸時這種材料對於ESD防護是很重要的,對於避免電荷的迅速移動引起的損傷又是必須的.耗散材料通常用在ESD地板/墊子,ESD桌面和包裝泡沫.Anti-staticmaterial/抗靜電材料一種可以阻止電荷產生的材料,特別是當它和其它材料接觸時.抗靜電材料具有耗散性,每單位面積的阻抗在1x1010Ω和1x1012Ω之間.這種材料的表面會抑制電荷的產生並且只允許電荷的緩慢移動.它們的可以用的時間是有限的(在潮濕的環境中通常是3年).抗靜電材料通常用於包裝泡沫/爆米花小片/粉紅色寶麗籠袋.ElectrostaticGenerator/靜電產生器一種和其他材料接觸時會產生靜電荷的材料.這種接觸可能是:拓印,分割,或者其他接觸包括摩擦等.這種材料的這些特性是天然的.例如:塑料,透明膠帶,聚脂,玻璃,毛料,頭髮,皮膚,空氣和橡膠.Non-Generator/非靜電產生器一種材料當讓它接觸其他材料時不會產生靜電荷.例如:木材,棉花等.ESDprotectiveworkstation/ESD防護工作站一個工作站具有如下的全部或一部分特性:工作臺面接地且有耗散性.地板下面要求接地,並有傳導性或耗散性.和手環相連的接地插座可以接觸良好.無不必要的靜電產生器.所有電子組裝設備要求通過三相插座來接地.ESDprotectiveworkarea/ESD防護工作區ESD敏感元件/零組件或成品被操作的任何區域.這些區域安裝的有耗散地板,所有的操作員必須佩帶被認可的腳環或手環.除了包裝工站或有特殊要求的區域外所有的工作站必須是ESD防護工作站.ESDsensitiveItems/ESD敏感元件能被ESD損傷的電子零件或組裝成品.這種損傷可能會導致功能退化或嚴重的故障.(具體如附件一)職責:QE工程師:5.1.1本文件之制作與修正5.1.2進行ESD培訓與監督ESD崗前/在崗培訓5.1.3定期對所有ESD防護區域進行稽核,確保各單位嚴格按本文件之要求執行5.1.4保存ESD定期稽核記錄各單位主管:履行定期的稽核並保存記錄.根據ESD稽核的結果調整改善行動項目.主導ESD問題和疑問之解決.制工部:為產線及廠區內提供合理的ESD防護工作站和設備.安裝/維修所有ESD防護工作站和防護地板的接地裝置.對新員工進行ESD崗前培訓.規律性地履行檢查確保所有的工作站和工作區域ESD狀態的維持.完成針對ESD稽核結果中問題所采取的所有改善行動.線長/組長:配備防靜電鞋和/或ESD手環的測試設備(包括對設備工作狀況的確認).安裝/維修所有ESD防護工作站和防護地板的接地裝置.對新員工進行ESD在崗培訓.規律性地履行檢查確保所有的工作站和工作區域ESD狀態的維持.確保員工運用並且測試他們的防靜電鞋和/或ESD手環.確保員工記錄他們的防靜電鞋和/或ESD手環的測試記錄.完成針對ESD稽核結果中問題所采取的所有改善行動.制程品檢員:規律性地履行檢查確保所有的工作站和工作區域ESD狀態的維持.建立並保存工作站稽核記錄或系統的數據庫.檢驗/操作人員:每天兩次對防靜電鞋和/或ESD手環進行測試並記錄結果.在他們的工作站規律性地履行檢查ESD維護狀態.5.7人資部:5.7.1負責新進人員與在崗人員之定期培訓之安排與培訓記錄保存.內容:ESD防護工作站:6.1.1要求:凡對ESD敏感元件,半成品/成品(PCBA),或者設備進行操作的工作區域要提供ESD防護工作站.如:電子零件倉分料/點料工作站;Kitting工作站;PCBA生產工作站(含SI上蓋組裝前所有工站);維修工作站;電子零件&PCBA檢驗工作站).這些工作站應該根據本文件的要求進行設計與執行6.1.2設計:6.1.2.1ESD防護工作站的根本目的是使靜電轉移,即產生的電流通過工作臺面轉移到一條可以把電荷傳到電壓為零的地面的線路.6.1.2.2ESD防護工作站的選擇因素包括:導電性,接地裝置,耐久性,安全性和適用性.6.1.2.3ESD防護工作臺面應該具有好的傳導性使電荷充分地耗散,同時,應具有足夠的阻抗防止電荷瞬間放電.6.1.2.4一個ESD防護工作站應該有以下特點:由靜電耗散材料制成的清潔的工作臺面(表面阻抗:正面106Ω~109Ω;反面≦104Ω),且接地狀況良好(接地電阻:106Ω+/-10%)在地下有導電性或耗散性的地板或墊子沒有不必要的靜電產生器.電子組裝設備要用合適的三相插頭接地.各工作站有配置ESD地線(地線要求≧1.25mm2),且不小於2個ESD接插口.在ESD防護工作站所有的圖紙,規範,組裝/工作指導書,要與沒有保護的ESD敏感元件隔離.文件要有防靜電的封套/文件夾才可以與ESD敏感元件接觸.6.1.3維護:每個部門負責對他們的工作站的ESD防護裝置進行確認,確保其功能的完整性.這應該通過所有工作站有規律性的維護來達成.這種維護包括以下幾點:6.1.3.1定期(原則上每2小時1次)對各工作站進行確認,以確保沒有不必要的靜電產生器(例如:塑料,乙烯基容器如家用塑膠制品,非防靜電帶子,等等).6.1.3.2無線電通訊設備禁止帶入ESD工作站.6.1.3.3時刻確保工作站沒有食物或飲料.6.1.3.4對所有的工作臺面進行定期(原則上1天1次)的清潔.6.1.3.5定期(原則上每月1次)確認各工作站接地連接裝置的安全性/可靠性.ESD防護工作區:6.2.1要求:凡對ESD敏感元件,半成品/成品,或者設備進行操作的工作區域均要建制成ESD防護區.如:電子零件倉;Kitting區;PCBA生產區(含SI上蓋組裝前所有工區);維修區;MRB倉;電子零件&PCBA檢驗區.這些工作區應該根據本文件的要求進行設計與執行.6.2.2設計:6.2.2.1全部采用靜電耗散地板,且接專用ESD大地(接地阻抗≦10Ω6.2.2.2依各工作區需求配置合理之ESD地線(地線要求≧6mm2)6.2.2.3沒有不必要的靜電產生器(如塑料,特氟輪,聚酯,玻璃,橡皮等等)6.2.2.4配置合理之ESD防護工作站(見6.1部分)6.2.3維護:6.2.3.1ESD地板原則上要求用中性的肥皂水或者ESD洗滌劑進行清洗6.2.3.2禁止給地板上蠟6.2.3.3工作站之維護(見6.1.3部分)人體靜電防護:6.3.1要求:因為大部分的NSG生產之產品都包含有ESD敏感元件.故所有參觀(僅限於進入ESD防護區者)或參與電子零件,半成品和組裝成品生產/搬運的人員,均需配備/使用適當的人體ESD防護裝置.所有人員應該根據本文件的要求進行ESD設計與執行6.3.2設計:6.3.2.1所有進入廠區ESD防護區域之人員均需穿好防靜電衣與防靜電鞋6.3.2.2凡需接觸ESD敏感元件,半成品(含SI上蓋組裝前所有半成品)/成品(PCBA)之人員,均需配備/使用防靜電衣、防靜電鞋、防靜電帽、防靜電手套與防靜電手環(在特殊情況下也應滿足使用防靜電衣、防靜電鞋與防靜電手環之最低要求)6.3.2.3防靜電鞋內不得墊鞋墊,任何人在進行電子零件,半成品組裝/維修時,雙腳不得同時離地架空,以免影響防靜電鞋之效果(原則上應踩在防靜電地板上).6.3.2.4將防靜電手環套在手腕上,用扣件將手腕帶扣緊,使其金屬部件直接和皮膚接觸,並且必須將防靜電手環之接地夾接至ESD地(通常通過ESD工作臺面),當ESD防護區空氣或人體皮膚太干燥時,帶防靜電手環處皮膚需擦拭適量保濕劑(一般在防靜電手環檢測不通過時才需要)6.3.2.5所有人員之頭髮露出防靜電帽之長度不得超過10cm(長頭髮可卷入防靜電帽或防靜電衣內)6.3.3維護:6.3.3.1防靜電鞋/手套與防靜電手環需依據其點檢作業指導書,原則上每天每班測試2次,若測試結果為不良,需請制程工程師(負責生產部人員)/QE工程師(負責周邊單位人員)進行確認.可能需要更新防靜電鞋/防靜電手環或者進行防靜電鞋與防靜電手環使用方法的培訓..6.3.3.2防靜電鞋為確保其功能與外觀,原則上從領取時起使用一年後需更新及報廢.6.3.3.3防靜電衣/帽為確保其功能與外觀,原則上從領取時起使用兩年後需更新及報廢.6.3.3.4防靜電衣/帽/手套需定期對其有效性進行檢查,原則上每6個月檢查一次.6.3.3.5以上所有測試與處理結果均需有相應之記錄,并有適當的審核記錄.ESD敏感元件的收料和儲存:收料:ESD敏感零件在收料時只可以在ESD防護工作站中拆卸它們的出貨(ESD)包裝.在轉移到其他區域之前,這類零件應用原始的包裝箱或用ESD防護箱重新包裝.倉儲:6.4.2.1倉庫人員和其他可能參與轉移物料的人員要避免與非ESD防護的敏感零件直接接觸.6.4.2.2若僅出於工令發料或物料周轉目的需從ESD防護包裝內轉移ESD零件時.操作人員只需適當接地(如:穿防靜電鞋)與穿防靜電衣即可,但只能在ESD樓層內及ESD防護區域進行操作.6.4.2.3ESD敏感元件在備料/發料時用原始的包裝或者靜電屏蔽箱.6.4.3制程ESD敏感零件(良品/不良品)批退時需依原包裝方式或使用ESD屏蔽袋包裝.6.4.4所有部門/工站產生/發現之不良ESD敏感零件,都必須有ESD防護(如使用防ESD之盒子或ESD屏蔽袋包裝).運輸工具之ESD防護:6.5.1所有ESD敏感元件之備料/發料與暫存車架均需有一條金屬鏈條將車架連接至ESD地面.6.5.2所有ESD敏感元件之備料/發料與暫存車架上不得放置不必要的靜電產生器.6.5.3所有裝有ESD敏感元件之備料/發料與暫存車架不得靠近(<30cm)或接觸強靜電產生器(如馬達/電腦顯示器等),除非有對強靜電產生器進行ESD屏蔽.特別說明:所有ESD防護工站/區域/物品及相關設備之ESD電壓均不得超過100Vpeak,所有人員之ESD電壓均不得超過1000Vpeak.ESD防護區之稽核:6.6.1所有ESD防護功能之檢測均依據第6點內容之要求執行.6.6.2新制程/新設備或重新安裝之設備/工作站必須由QE工程師會同制工/測試等單位人員共同檢測ESD防護功能(依據第6點內容之要求要求執行)合格后方可投入生產.6.6.3各單位主管/線組長定期(每天每班2次,每次在下班后再上班時進行)監督所屬人員對所屬區域之ESD防護設施進行檢查,并保留實當記錄(如防靜電手環/防靜電鞋點檢記錄等).6.6.4正常生產之制程區域(包括前置加工區/維修區等),IPQC每天每班(白、夜班)對所屬區域之所有人員至少抽檢2次,并記錄其測試結果,如有不合格者須記錄其處理對策與重檢記錄.抽檢數量原則上每線每段每班至少抽檢2人次.6.6.5正常生產之制程區域(包括前置加工區/維修區等),IPQC每月對所屬區域之所有ESD防護工作站至少全檢1次,并記錄其測試結果.6.6.6各ESD防護區域/設備或工作站必須由QE工程師會同制工/測試等單位人員定期(6個月)檢測ESD防護功能(依據第6點內容之要求要求執行)合格后方可繼續投入生產.6.6.7所有抽檢記錄/每月/每6個月或新制程之ESD檢查記錄均以電子檔形式分發至所有部門主管.以上所有測試結果如有不合格者須立即停止該區域/設備/工站或人員之所有作業,并記錄其處理對策與重檢記錄,直到重新檢查合格后方可灰復正常作業.ESD測試設備:6.7.1此套設備用於(但不限於)對NSG廠區所有的ESD防護系統進行全面的測試:表面阻抗測試儀:要求滿足103Ω~1012Ω之測試范圍,精度:+/-10%Max.靜電電壓測試儀:要求滿足–20KV~20KV之測試范圍,精度:+/-20%Max.電阻測試儀(萬用表):要求滿足0.1Ω~106Ω之測試范圍防靜電環測試儀:要求滿足106Ω+/-10%之測試范圍及精度6.7.2這套設備需要依據NSG校驗程序進行定期的校驗ESD防護之培訓:6.8.1所有新進人員(包括所有間接人員)必須通過對此ESD要求之培訓且考試合格后方可上崗.培訓內容包括ESD零件之操作/ESD之防護與防靜電手環與防靜電鞋之點檢方法,原則上由制程工程師負責新進人員之培訓工作.6.8.2現場主管/制程工程師/QE工程師負責對現場操作人員進行在崗培訓.6.8.3在崗ESD培訓需求分為各單位提出與QE統一要求兩種,原則上每人每年至少安排1次以上在崗培訓(間接人員可視工作關係決定).6.8.4所有培訓記錄由人資部保存建檔.附件/附表:7.1靜電環/鞋日點檢記錄表7.2ESD測試報告7.3ESD防護(人員)抽檢記錄表7.4附件一:電子零件ESD敏感等級表電子零件ESD敏感等級表零件類型(簡稱)零件類型(全稱)零件類型EOS/ESD最小靜電敏感度(V)VMOSV