苏州晶方半导体股份有限公司先进晶圆级芯片尺寸封装（WLCSP）建设项目环保竣工验收报告

苏州晶方半导体科技股份有限公司先进晶圆级芯片尺寸封装（WLCSP）建设项目竣工环境保护验收监测报告图3-2续项目一厂周围情况图图3-2续项目一厂周围情况图▲Z20▲Z19▲Z18▲Z▲Z20▲Z19▲Z18▲Z17▲Z16▲Z15▲Z14▲Z13▲Z12▲Z11图3-2续项目二厂平面布置图（附噪声监测点位）图3-2续项目二厂平面布置图（附噪声监测点位）图3-2续项目二厂周围情况图图3-2续项目二厂周围情况图表3-1建设情况表序号项目执行情况1立项2010年5月11日江苏省经信委以苏经信投资【2011】10号文予以批准2环评2010年11月由苏州科技学院完成环评3环评批复2010年12月7日江苏省环境保护厅苏环审〔2010〕282号文予以批复4验收项目建设规模生产规模为晶圆级芯片尺寸封装48万片/年。投资总概算86630万元，其中环保总投资1500万元，占总投资的1.73%。5项目破土动工及竣工时间项目于2011年1月动工，于2012年9月一厂技术改造建成；2013年6月二厂建成。6试生产批准及试生产时间经江苏省环境保护厅批准：一厂于2012年9月25日起试生产（试生产期3个月），二厂于2013年7月17日起试生产（试生产期3个月）。7工程实际建设情况目前主体工程与环保设施已建成投运，实际生产能力已达到设计生产能力的75%以上表3-2验收项目建设内容表序号名称环评/初级审批项目内容实际建设情况1建设规模晶圆级芯片尺寸封装48万片/年按环评要求建设（包括表3-3），现已建成、投入使用2产品类型晶圆级芯片尺寸封装3主要生产设备（台）主要有显影、金属处理、印锡、印型号、切割、芯片摆放、品检等设施（详见表3-3）4主要辅助设施给排水系统、纯水站、锅炉房及除尘设施、PCW站、空调箱站、特种气体供应站、冰机站、空压机站、污水处理设施、送配电设施等表3-3一厂主要生产设备表工序机台名称型号数量生产商压合混胶机A-2502Thinky清洗机B011弘塑对位机BA8GEN31SUSSEV6200SMART1EVG压合机SB84SUSSEV5405EVG烤箱GOL-6Q3群翔MOL-52志圣等离子清洁机AP-10001MarchJSPCS-6001SJS量测显微镜BK2001KunohEclipse1Nikon显微镜SZX72OlympusMM8002Nikon贴膜机LH0813L1LONGHILIFM-11491TECHNOVISION沟槽填胶喷涂机Spray81SUSS旋转压合机Spin-Bond3擎邦烤箱GOL-2Q1群翔WTS-8201志圣UV照射机UV-3001HighMaxTUV-818IS1Toyo研磨研磨机DFG8540GEN23Disco蚀刻蚀刻机MUC-211SPPPegasus2Multiplex4量测显微镜BK2002Kunoh贴膜机LH0813L1LONGHILIFM-11491TECHNOVISION溅镀溅镀机LLSEV023Orelikon烤箱GOL-4Q1群翔WTS-8201志圣光刻涂布机DELTA80CPX4SUSSEV1501EVG喷涂机ALTASPRAY8GEN21SUSS曝光机MA8GEN31SUSS曝光机MA200COMPACT1SUSS曝光机EV6200GEN41EVG等离子清洁机JSPCS-6001SJS烤箱GOL-4Q1群翔MOL-31志圣显影显影机P011弘塑量测显微镜BK-022Kunoh红外光显微镜DZ2-IRV-IRT-100D1Union显微镜SZX72Olympus台阶议DEKTAK81VEECO固含量测定仪HG631mettle烤箱GOL-4Q1群翔GOL-2QD1群翔STS-602志圣MOL-32志圣SMO-3S1志圣金属处理槽式金属表面处理机M01,M029弘塑X-Ray厚度检查机CMI900+1Oxford量测显微镜BK2001Kunoh显微镜SZX71OlympusMM8007Nikon烤箱MOL-51志圣印锡等离子清洁机AP-10001March锡膏印刷机Speedline81MPM回流焊炉DER-810N21德佳推球机dage40001Dage量测显微镜AUM-3002Kunoh显微镜SZX71OlympusMM8001Nikon印型号激光打标机LM4Laserop切割贴膜机LH0813L1LONGHILIFM-11491TECHNOVISION切割机DAD335050DiscoADT710010ADT清洗机DCS14402DiscoUV照射机UV-3001HighMaxTUV-81ToyoCO2产生机N4C-3.09YamatoRCII-2000ACD2NGK量测显微镜BK2001Kunoh显微镜SZX71OlympusSMZ8001Nikon烤箱GOL-2DQ3群翔烤箱SMO-3S1志圣芯片摆放区芯片自动摆盘机E80004Alphasem芯片自动摆盘机E82011Alphasem芯片自动摆盘机KS-9107GPM品检显微镜SZX716OlympusMM80016Nikon表3-3续二厂主要生产设备表工序/站别机台名称型号数量生产商压合混胶机AVRSeries6Thinky清洗机B01.21弘塑对位机BA8GEN33SUSSEV6200SMART3EVG压合机CM200M12SUSSEV54012EVG烤箱GOL-6Q7群翔MOL-58志圣甩干机（SRD）CT-805D-SE6CALITECH等离子清洁机RIE-17012MarchJSPCS-6101SJS量测显微镜BK5603KunohL3003Nikon显微镜SMT66OlympusMM8006Nikon贴膜机LH0813L2LONGHILIFM-11801TECHNOVISION沟槽填胶喷涂机ALTASPRAY8GEN28SUSS旋转压合机AC78002擎邦烤箱GOL-6Q6群翔MOL-56志圣UV照射机UV-3001HighMaxTUV-818IS1Toyo研磨研磨机DFG8540GEN28Disco12"研磨机DGP87611Disco蚀刻蚀刻机CPXpegasus9SPP12"蚀刻机CPXpegasus3001SPP量测显微镜BK5603KunohL3003Nikon贴膜机LH0813L1LONGHILIFM-11802TECHNOVISION溅镀溅镀机LLSEV031OrelikonCluster200II1Orelikon溅镀机Apollo1NexxSRH-4201ULVAC溅镀机Sigma1SPP12"溅镀机Cluster300I1Orelikon薄膜电阻测量仪FPP-50001MillerNanospec30001Nanometrix烤箱GOL-6Q1群翔MOL-51志圣激光钻孔激光钻孔机LU-2F82003.0K日立量测显微镜BK5601KunohL3001Nikon显微镜SMT61OlympusMM8001Nikon烤箱GOL-6Q1群翔MOL-51志圣光刻涂布机DELTA80CPX8SUSSEV1207EVG涂布机VRC-80002M.SETEK12"涂布机EV1011EVG喷涂机ALTASPRAY8GEN28SUSS干膜贴膜机DXL-800HS-Laser1Teikoku撕膜机DXR-800CS1Teikoku曝光机MA8GEN33SUSS曝光机MA200COMPACT2SUSS曝光机EV6200GEN43EVG12"曝光机IQALINGER1EVG步进曝光机AP3002Ultratech等离子清洁机RIE-17011MarchJSPCS-6102SJS等离子清洁机NA-10001ULVAC烤箱GOL-6Q1群翔MOL-51志圣烤箱MOL-21C-SUN显影显影机P01.28弘塑12"显影机DVE91001SSEC干膜显影机VFD-80001M.SETEK高压水清洁机VS-80002M.SETEKSRDCT-805D-SE1CALITECH量测显微镜BK5602KunohL3002Nikon红外光显微镜DZ2-IRV-IRT-100D2Union显微镜SMT62OlympusMM8001Nikon台阶议DEKTAK123VEECO固含量测定仪HG6301mettle烤箱GOL-6Q5群翔MOL-55志圣烤箱MOL-25C-SUN金属处理槽式金属表面处理机M02.28弘塑片式金属沉积机POSFER1EEJA12"片式金属沉积机STRATUSS300-FX1NEXX单片蚀刻机VE-82001M.SETEKSRDCT-805D-SE1CALITECH中央供酸系统MODEL33071SSEC金属元素分析仪X-RAYXDVM-P1FISCHERSCOPEX-Ray厚度检查机CMI900+2Oxford量测显微镜BK5601Kunoh显微镜SMT62OlympusMM8002Nikon烤箱GOL-6Q2群翔烤箱MOL-52志圣烤箱MOL-22C-SUN印锡等离子清洁机RIE-17011March等离子清洁机JSPCS-6101SJS等离子清洁机NA-10001ULVAC锡膏印刷机Speedline84MPM回流焊炉DER-810N21德佳清洗机MODEL33072SSEC单片回焊机Falcon12001SIKAMA推球机dage80001Dage剪力机series5000PXY1Dage拉力机series4000PXY1DageX-Ray检球机SMX-160EIISPECIAL1SHIMADZU2D检球机NSX-951Rudolph12"2D检球机WS-21201Rudolph12"3D检球机WS-31201Rudolph量测显微镜BK5602KunohL3002Nikon目镜检测系统L200+NWL-860TMB1Nikon显微镜SMT63OlympusMM8003Nikon印型号激光打标机Umark18Laserop切割贴膜机RAD2500m/81Lintec12"贴膜机RAD2500m/121Lintec贴膜机LH0813L2LONGHILIFM-11802TECHNOVISION切割机DAD634097Disco12"切割机DAD63613Disco激光切割机LU-2F8200D4日立清洗机DCS14405Disco12"清洗机DCS14601Disco12"UV照射机RAD200m/121LintecUV照射机UV-3001HighMaxTUV-915IS1ToyoCO2产生机N4C-5.0-12010YamatoRCII-4000ACD-SS9NGK量测显微镜BK5601KunohL3001Nikon显微镜SMT61OlympusMM8001Nikon烤箱GOL-6Q6群翔烤箱MOL-56志圣烤箱MOL-26C-SUN芯片摆放区芯片自动摆盘机E80003Alphasem芯片自动摆盘机E82014Alphasem芯片自动摆盘机KS-91016GPM12"芯片自动摆盘机KS-83401GPM芯片自动卷带机ISORT12STI(SemicoductorTechnology&Instrument)品检显微镜SMT620OlympusMM80020Nikon目镜检测系统NikonL200+NWL-860TMB1Nikon表面量测仪P-151KLA-TENCOR自动外观检查机Falcon80006Camtek微粒检测仪64001KLA-TENCOR原子吸收光谱仪AA2401VARIAN测试半自动测试平台——10WinWay——10KZT自动测试机PCI-5815440Chroma微机电测试机Lapole4KromaxLED测试机T8571A13Advantest晶圆级测试平台Eagle2TeradyneFLEX2Teradyne12"晶圆级测试平台Eagle1Teradyne探針测试仪UF2002TSK3.2生产工艺简介具体生产工艺流程见图3-3，主要原辅材料耗用情况见表3-4。表3-4一厂主要原辅材料、能源耗用情况表序号名称规格成分单位单耗/片年用量（12万片用量）存储方式来源最大存储量15防护材料EPICLSF60脂族酯（25.0%-40.0%）

石英（15.0%-20.0%）

丙烯酸单体（15.0%-20.0%）

氧化硅胶（2.5%-3.0%）kg0.02803,360室内/瓶装国内运输50016感光油墨EAGLE2100ED丙二醇单甲醚（12.5%-15.0%）L0.04305,160室内/桶装国内运输1,00017显影液Eagle2005乳酸（20.0%-25.0%）L0.01571,884室内/桶装国内运输35018靶材Al/Cu4,5N,AKQ515,HECW铝/铜96%:4%个0.0031372室内/盒装国内运输10019靶材Ti,5N,AKQ515,HECWTi（100%）个0.00019室内/盒装国内运输10020导电胶带230mmx50m,LP310H固型份：150℃*15min)10±1%

溶剂：醋酸乙酯

胶性：压克力胶混合型接着剂

铝箔：软态

离型纸m0.550066,000室内/卷装国内运输7,00021聚酰亚胺胶带10mm*33m硅树脂，聚酯m0.100012,000室内/卷装国内运输2,20022甲酸电子级甲酸（≥99.7%）kg0.512561,505室内/桶装国内运输17023H2SO4电子级硫酸（≥5%）kg0.08269,907室内/桶装国内运输10024CuSO4CuSO4硫酸铜(62.3%)L0.01201,440室内/桶装国内运输36025甲醛HCHO甲醛(12.4%)L0.0010120室内/桶装国内运输3026柠檬酸钠——柠檬酸钠(10%-12%)L0.000560室内/桶装国内运输1527海藻酸钠——海藻酸钠(15-20%)L0.000336室内/桶装国内运输1028甲基磺酸铜——甲基磺酸铜(10%-20%)L0.0009108室内/桶装国内运输3029氢氟酸0.001氢氟酸(0.10%)kg0.282633,912室内/瓶装国内运输0.0630氢氧化钠AR500氢氧化钠（≥99.5%）kg0.01011,212室内/瓶装国内运输30031无铅锡膏97SCLF318AGS88.5V锡（60%-100%）

变性酸氢化胶树脂（1-5%）

松香（1-5%）

银（1-5%）

铜（0.1-1%）kg0.0061732室内/瓶装国内运输10032BGA清洗剂清洗剂1014四氯乙烯kg0.222226,664室内/桶装国内运输200033紫外膜270mmx100M,AdwillD-611H高粘聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂(HVPET-94)

高密聚乙烯衬垫m0.400048,000室内/卷装国内运输10,00034紫外膜270mmx100M,AdwillD-210高粘聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂(HVPET-94)

高密聚乙烯衬垫m0.400048,000室内/卷装国内运输10,00035液氮——氮（99.999%）L32.663,920,000管道————36八氟化四碳50KgsC4F8（99.999%）kg0.02132,556室内/瓶装国内运输30037六氟化硫,SF650Kgs六氟化硫（99.999%）kg0.07929,504室内/瓶装国内运输1,00038液碱CP级NaOH（30%）kg0.107012,840室内/槽车国内运输3,00039无水乙醇电子级纯品（99.5%）kg0.04745,688室内/桶装国内运输1540盐酸30%CP级HCl(30%)kg0.363043,560室内/桶装国内运输300表3-4续技改后二厂原辅料及能源消耗序号名称规格成分单位单耗/片36万片用量存储方式来源最大存储量1晶圆8英寸Si片1.0000360,000室内/盒装国内运输300002玻璃dia.200mmx0.4t玻璃片1.0000360,000室内/盒装国内运输600003环氧树脂胶353ND双酚F（75-100%）

咪唑（25%-50%）kg0.01254,514室内/瓶装国内运输5004玻璃清洗剂DeconexOP148氢氧化钠（5%-15%）

两性表面活性剂（<5%）

非离子表面活性剂（<5%）

阴离子表面活性剂（<5%）kg0.01445,184室内/桶装国内运输1,6205环氧基硅烷道康宁Z6020环氧乙基环氧丙基三甲氧基硅烷（>60%）

甲氧基硅烷（10%-<30%）

甲醇（<1%）kg0.000286室内/桶装国内运输406冰醋酸-乙酸（>=99%）mg0.101536,567室内/瓶装国内运输20007聚酰亚胺胶带230mmX33mX0.05mm硅树脂，聚酯m0.8000288,000室内/卷装国内运输320438硅晶片粘着剂AP8000丙二醇甲醚（>99%）kg0.038013,680室内/瓶装国内运输24579显影液——KOH（4%）

水（>97.7%）kg0.106738,412室内/桶装国内运输450010光刻胶AZP46201-甲氧基-2-丙醇乙酸脂（62%）L0.00602,177室内/瓶装国内运输8011丙酮电子级纯品（≥99.7%）kg0.4886175,882室内/桶装国内运输2500012无水碳酸钠电子级碳酸钠（≥99.8%）kg0.036613,166室内/瓶装国内运输110013异丙醇电子级纯品（≥99.7%）kg0.128046,070室内/桶装国内运输660014防护材料EPICLSF60脂族酯（25.0%-40.0%）

石英（15.0%-20.0%）

丙烯酸单体（15.0%-20.0%）

氧化硅胶（2.5%-3.0%）kg0.028010,080室内/瓶装国内运输150015感光油墨EAGLE2100ED丙二醇单甲醚（12.5%-15.0%）L0.043015,480室内/桶装国内运输300016显影液Eagle2005乳酸（20.0%-25.0%）L0.01575,652室内/桶装国内运输104017靶材Al/Cu4,5N,AKQ515,HECW铝/铜96%:4%个0.00311,116室内/盒装国内运输20018靶材Ti,5N,AKQ515,HECWTi（100%）个0.000128室内/盒装国内运输20019导电胶带230mmx50m,LP310H固型份：150℃*15min)10±1%

溶剂：醋酸乙酯

胶性：压克力胶混合型接着剂

铝箔：软态

离型纸m0.5500198,000室内/卷装国内运输2200020聚酰亚胺胶带10mm*33m硅树脂，聚酯m0.100036,000室内/卷装国内运输660021甲酸电子级甲酸（≥99.7%）kg0.5125184,515室内/桶装国内运输1700022H2SO4电子级硫酸（≥5%）kg0.082629,722室内/桶装国内运输720023CuSO4CuSO4硫酸铜(62.3%)L0.01204,320室内/桶装国内运输108024甲醛——甲醛(12.4%)L0.0010360室内/桶装国内运输9025柠檬酸钠——柠檬酸钠(10%-12%)L0.0005180室内/桶装国内运输4526海藻酸钠——海藻酸钠(15-20%)L0.0003108室内/桶装国内运输2727甲基磺酸铜——甲基磺酸铜(10%-20%)L0.0009324室内/桶装国内运输8128氢氟酸0.001氢氟酸(0.10%)kg0.2826101,736室内/瓶装国内运输1700029氢氧化钠AR500氢氧化钠（≥99.5%）kg0.01013,636室内/瓶装国内运输100030无铅锡膏97SCLF318AGS88.5V锡（60%-100%）

变性酸氢化胶树脂（1-5%）

松香（1-5%）

银（1-5%）

铜（0.1-1%）kg0.00612,196室内/瓶装国内运输30031BGA清洗剂清洗剂1014四氯乙烯（90%）kg0.222279,992室内/桶装国内运输1000032紫外膜270mmx100M,AdwillD-611H高粘聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂(HVPET-94)

高密聚乙烯衬垫m0.4000144,000室内/卷装国内运输3000033紫外膜270mmx100M,AdwillD-210高粘聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂(HVPET-94)

高密聚乙烯衬垫m0.4000144,000室内/卷装国内运输3000034氮气——氮（99.999%）L23.914,040,000管道管道35八氟化四碳50KgsC4F8（99.999%）kg0.02137,668室内/瓶装国内运输100036六氟化硫,SF650Kgs六氟化硫（99.999%）kg0.079228,512室内/瓶装国内运输300037液碱CP级NaOH（30%）kg0.107038,520室内/槽车国内运输1000038无水乙醇电子级纯品（99.5%）kg0.084530,404室内/桶装国内运输300039硫酸——H2SO4（30%）kg0.4944178,000室内/桶装国内运输10000表3-4续一厂能源使用情况类别名称组分、规格单位单耗/片年耗量来源及运输燃料天然气甲烷m36.47776400园区天然气管道电————度125.77159092400园区供电公司汽蒸汽——t0.089705厂内锅炉房气氮气N2m30.0333920园区氮气管网新鲜水自来水——m33.58429550园区自来水公司表3-4续二厂能源使用情况类别名称组分、规格单位单耗年耗量来源及运输电————度88.7631953600园区供电公司汽蒸汽——t0.0414400园区集中供热气氮气N2m30.0248640园区BOC氮气管网新鲜水自来水——m33.451242500园区自来水公司注：二厂使用区域集中供热公司提供的蒸汽，不再使用天然气。图图3-3总工艺流程图图3-3A光玻璃清洗工艺流程（包括产污环节）图3-3B光刻、显影工艺流程（包括产污环节）图3-3C晶圆压合玻璃工艺流程（包括产污环节）图3-3D研磨工艺流程（包括产污环节）图3-3E蚀刻工艺流程图（包括产污环节）图3-3F沟槽填胶工艺流程（包括产污环节）图3-3G切割工艺流程图（包括产污环节）图3-3H溅镀工艺流程（包括产污环节）图3-3I金属处理工艺流程（包括产污环节）图3-3J印锡工艺流程（包括产污环节）3.3环评结论及环评批复的要求3.3.1环评结论苏州科技学院在项目环评报告书提出的主要结论如下：建设项目与国家产业政策相符，厂址与区域规划相容，总量控制与区域要求相符，污染物达标可行可靠，项目投产后区域环境质量可维持现状，项目清洁生产水平高，项目环境风险可以接受，公众调查基本得到了广大公众的了解和支持，支持、赞成率达40.38％，有条件赞成59.62%，没有反对意见。总结论：本项目的产品符合国家产业政策；厂址符合规划要求，选址恰当，布局基本合理；采取的工艺改造、污染治理措施可行可靠，可有效实现污染物达标排放，达到节能降耗减排目的；对环境污染贡献值小，对环境影响小；能满足清洁生产的要求；经济损益具有正面效应，群众的赞成和支持率较高。因此，本项目在认真落实本报告书提出环保治理措施和建议后，对周围环境及敏感点的影响在可控制范围内，具有环境可行性。3.3.2建议①建设单位须做好项目生产过程的管理，优化生产工艺流程；②采用先进生产设备和工艺，尽可能减少污染物排放；③建设单位须加强职工环保意识，并配备专职环保人员对环保设备的日常运行进行管理和监控，切实做到污染物达标排放；④管理部门须严把审批关，控制重污染的企业进入工业区，对入园企业做好产业结构的优化调整，并对已建和在建项目的污染治理措施的运行进行监督；⑤加强区域总量控制。3.3.3江苏省环境保护厅对环评报告书的批复意见见附件。4．污染物的排放及防治措施4．1废气排放及防治措施本项目废气主要有酸性废气、有机废气和锅炉废气。酸性废气产生于光刻显影、蚀刻、金属处理、废水处理等，酸性废气通过废气收集系统收集，经碱液洗涤塔处理后一车间经15米高排气筒二车间经24米高排气筒排入大气。有机废气产生于光刻显影、沟槽填胶、溅镀、印锡等，有机废气通过废气收集系统收集，经活性炭吸附塔处理后一车间经15米高排气筒二车间经24米高排气筒排入大气。锅炉使用清洁能源天然气为燃料，燃烧后的废气通过18m排气筒排放。另外车间换气的一般废气无污染源，通过6m排气筒排放。具体防治措施见表4-1。表4-1废气排放及处理措施废气名称生产设施/排放源废气量（m3/h）排气筒（米）污染物处理设施环评要求实际建设酸性废气光刻显影、蚀刻、金属处理、废水处理22000、17000直径：1、0.7/高：15、24、硫酸雾、氟化物碱液洗涤塔处理同环评有机废气光刻显影、沟槽填胶、溅镀、印锡等10000、28000直径：0.5、0.9/高：15、24丙酮、甲醛、非甲烷总烃、异丙醇喷淋塔+活性炭吸附同环评锅炉废气锅炉房1500直径：0.45/高：18烟尘、二氧化硫（SO2）、氮氧化物（NOX）使用天然气同环评无组织废气罐区、生产车间等//硫酸雾、非甲烷总烃、丙酮//4．2废水排放及防治措施本项目废水包括生产废水、纯水制备废水、间接冷却水排水和生活污水。生产废水为各工序的清洗废水，混合后排入厂内废水处理站，处理达接管标准后进入园区第一污水处理厂。纯水制备废水回用于厕所冲洗水、洗手水和废气洗涤塔补充水。间接冷却水排水为清下水，根据苏州工业园区的环境管理要求，清下水也排入市政污水管网。生活污水和经厂内预处理的生产废水一起接管进入园区第一污水处理厂。废水排放及防治措施见表4-2；厂区污水预处理设施工艺流程见图4-2；具体废水走向见图4-1。表4-2项目废水排放及防治措施生产设施/排放源废水量（m3/a）污染物处理设施环评/初步设计的要求实际建设一般清洗废水14555+43666pH、（悬浮物）SS、化学需氧量（COD）、厂内污水处理站预处理后进入园区第一污水处理厂集中处理，处理后最终排入长江建设同环评。碱性清洗废水41180+123540pH、SS、COD、LAS酸性清洗废水74195+222585pH、SS、COD、铜切割研磨废水99400+298200pH、SS、COD有机清洗废水18105+54315pH、SS、COD废气洗涤塔废水3195+9585pH、SS、COD、氟化物冷却塔弃水12780+43310pH、SS、COD纯水制备弃水（回用于厕所冲洗水、洗手水和废气洗涤塔补充水）72775+219035pH、SS、COD直接排入园区第一污水处理厂集中处理，处理后最终排入长江生活污水14555+39050pH、SS、COD、氨氮（N-NH3）、TP（总磷）、LAS一般清洗废水一般清洗废水、酸碱性清洗废水、切割研磨废水、有机清洗废水、废气洗涤塔废水、冷却塔弃水园区第一污水处理厂（二级生化处理）长江★S1园区第一污水处理厂（二级生化处理）长江★S1★S1厂区废水预处理站园区第一污水处理厂（二级生化处理）生活污水生活污水清下水（间接冷却水排水清下水（间接冷却水排水）★S2★S1长江市政污水管网长江市政污水管网图4-1废水走向图（附废水监测点位）图4-1废水走向图（附废水监测点位）图4-2图4-2废水处理站处理设施工艺流程4．3噪声及其防止措施本建设项目主要噪声源为车间换气处理机组、各类泵、空压机、冰水主机、冷却塔、风机等，采取选用低噪声设备、建筑物隔声、加消声器和减振降噪等措施来防治（详见表4-3）。表4-3主要噪声源及防治措施表设备名称产生方式噪声值dB(A)治理措施新风处理机组连续90消声、减震冰水主机连续85隔声墙真空泵连续90消声、减震风机连续90消声、减震纯水水泵连续80消声、减震水泵连续90消声、减震空压机连续90消声、减震冷却塔连续90消声、减震4．4固体废弃物的处置该项目的固体废弃物主要为一般工业固废的胶带、晶圆残渣、废紫外膜、废靶材、废锡膏、不合格产品、生活垃圾等，危险废物的废玻璃清洗剂、废异丙醇、显影液废液等。详细年产生情况和处理处置情况见表4-4。表4-4一厂固体废弃物的产生和处理处置废弃物名称危废编号产生量（t/a）来源处理方式废聚酰亚胺胶带/0.5光玻璃清洗环卫部门统一收集处理废导电胶带/0.5蚀刻晶圆残渣/0.5蚀刻废紫外膜/0.5切割废靶材0.7溅镀外售废锡膏0.5印刷锡球不合格产品0.05品检回收生活垃圾/213——环卫部门统一收集处理废玻璃清洗剂900-352-35（HW35）3光玻璃清洗CV玻璃清洗委托苏州工业园区和顺企业环保服务有限公司处理废异丙醇900-452-42（HW42）2光刻显影、溅镀显影液废液266-010-16（HW16）10光刻显影废防护材料900-452-42（HW42）0.2光刻显影废光刻胶900-452-42（HW42）0.01光刻显影废油墨900-452-42（HW42）0.25光刻显影废ADP浸泡液900-499-42（HW42）2沟槽填胶废NaOH346-066-17（HW17）10金属处理：碱洗废硫酸346-064-17（HW17）8.5金属处理：去氧化铜废氢氟酸346-064-17（HW17）15金属处理：去钛废甲酸346-064-17（HW17）25金属处理：去光阻废化学镀铜原液346-058-17（HW17）5金属处理：化学镀铜废BGA清洗剂900-401-41（HW41）22印锡废丙酮900-499-42（HW42）41擦拭机器废乙醇900-499-42（HW42）4废抹布900-499-42（HW42）5污泥406-004-22（HW22）10废水处理废活性炭900-499-42（HW42）270有机废气处理供应商回收原料空桶900-041-49（HW49）10全过程废抛光树脂900-015-13（HW13）1纯水制备表4-4续二厂固体废弃物的产生和处理处置废弃物名称危废编号产生量（t/a）来源处理方式废聚酰亚胺胶带/1.5光玻璃清洗环卫部门统一收集处理废导电胶带/1.5蚀刻晶圆残渣/1.5蚀刻废紫外膜/1.5切割废靶材2.0溅镀外售废锡膏1.5印刷锡球不合格产品0.15品检移交给客户生活垃圾/568——环卫部门统一收集处理废玻璃清洗剂900-352-35（HW35）9光玻璃清洗CV玻璃清洗委托苏州工业园区和顺企业环保服务有限公司处理废异丙醇900-452-42（HW42）6光刻显影、溅镀显影液废液266-010-16（HW16）30光刻显影废防护材料900-452-42（HW42）0.6光刻显影废光刻胶900-452-42（HW42）0.03光刻显影废油墨900-452-42（HW42）0.75光刻显影废ADP浸泡液900-499-42（HW42）6沟槽填胶废NaOH346-066-17（HW17）30金属处理：碱洗废硫酸346-064-17（HW17）25.5金属处理：去氧化铜废氢氟酸346-064-17（HW17）45金属处理：去钛废甲酸346-064-17（HW17）75金属处理：去光阻废化学镀铜原液346-058-17（HW17）15金属处理：化学镀铜废BGA清洗剂900-401-41（HW41）68印锡废丙酮900-499-42（HW42）123擦拭机器废乙醇900-499-42（HW42）12废抹布900-499-42（HW42）15污泥406-004-22（HW22）30废水处理废活性炭900-499-42（HW42）800有机废气处理供应商回收原料空桶900-041-49（HW49）30全过程废抛光树脂900-015-13（HW13）3纯水制备4、5“以新代老”措施本次技改完成了以下“以新代老”措施。（1）用硫酸代替盐酸调整废水pH；一厂已建项目废水处理站技改前采用30%盐酸调整pH，由于盐酸的易挥发性和刺激性，降低了物料的使用率，增大了污染物HCl排放量，对环境造成了一定的影响。技改后，本项目将采用硫酸代替盐酸，从而减少HCl的排放。降低了对环境的影响。（2）严格区分有机废气、酸性废气，分类收集分类处理。一厂已建项目生产初期因有机废气、酸性废气产生源辨识不清，两类废气没有完全分开，造成有机废气进入酸性废气处理系统，去除率很低。技改项目在分析实际生产情况和验收监测结果的基础上，将有机废气和酸性废气完全分开收集，分别处理，针对性强，可显著提高废气处理效率，降低污染物排放量。（3）一厂增加1套活性炭吸附设施，并增大其处理风量；一厂已建项目只有1套活性炭吸附设施，无法做到1用1备，更换活性炭时易造成有机废气未经处理直接进入大气；此外，原活性炭吸附设施处理能力较小，为2520m3/h，在技改后有机废气和酸性废气完全分开收集，有机废气产生量将增大，无法满足需要，因此将原活性炭吸附设施处理能力扩大至10000m3/h，可以保证有机废气得到稳定的处理效果。（4）用微毒的乙醇替代中等毒性的甲醇；用无氮配方清洗剂代替含氮清洗剂；技改后，中等毒性的甲醇将被微毒的乙醇替代，这两种试剂都是有机溶剂，根据研发和运行试验结果，乙醇可以取代甲醇，不会影响产品性能。技改后，含氮的烷氧基硅烷将被无氮的环氧基硅烷取代，从而减少含氮废水的排放。该技术经济可行。（5）回收一厂的蒸汽冷凝水；一厂锅炉使用的是软水，其蒸汽冷凝水较清洁，可以回收后用于纯水的制备，节能减排。5．验收监测评价标准5.1废气排放标准燃气锅炉排放烟气执行《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2001）表1、表2标准；工艺废气：执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2标准。电镀废气：化学镀铜工序产生的硫酸雾执行《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表5标准。丙酮依据环评提供的评价标准；排放速率根据《确定地方大气污染物排放标准的技术方法》计算得到，排放浓度参照《工业企业设计卫生标准》第三章工作场所有害因素职业接触限值(GBZ2-2007)表1。排放标准见表5-1。表5-1废气排放标准限值序号污染物排放浓度（mg/m3）排放速率（Kg/h）厂界无组织（mg/m3）排气筒高度m依据标准1SO2100//18《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2001）表2燃气标准2NOX400//3烟尘50//《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271—2001）表1燃气标准4林格曼黑度（级）1//5氟化物9.00.10/0.338/15/24《大气污染物综合排放标准》（GB16297—1996）表2二级标准6甲醛250.26/0.818/7非甲烷总烃12010/31.44.08硫酸雾30///《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表59丙酮3002.4//环评标准注：丙酮最高允许排放速率是根据《确定地方大气污染物排放标准的技术方法》计算得到。表5-1续化学镀铜工序单位产品基准排气量工艺种类基准排气量m3/m2(镀件镀层)排放量计量位置其它镀种（化学镀铜）37.3车间或生产设施排气筒注：该公司化学镀铜工艺废气无单独的排气筒，与其它废气合并后排放；本次监测不对此指标进行评价。5.2废水排放标准厂区污水处理站排水执行苏州工业园区第一污水处理厂接管标准和《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准。项目涉及化学镀铜工序，该工序含铜废水在厂排口执行《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表3标准。见表5-2。表5-2废水排放标准限值单位：mg/L，pH（无量纲）序号污染物排放标准污水处理厂接管标准标准来源1pH6—9污水处理厂接管标准和《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准2CODCr5003SS4004氟化物205NH3-N/356TP/87LAS20/8总铜0.3/《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表3标准5.3厂界噪声评价标准表5-3厂界噪声标准限值标准类别昼间dB(A)夜间dB(A)《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类区标准65555.4总量控制指标根据江苏省环境保护厅对该项目的环评批复,该项目建成投产后污染物年排放总量控制指标（二厂/全厂）。废气：硫酸雾≤0.15/0.2吨，氟化物≤0.45/0.6吨，非甲烷总烃≤25.83/34.44吨，丙酮≤7.01/9.35吨，甲醛≤0.007/0.009吨，氮氧化物≤0/0.24吨，烟尘≤0/0.09吨，二氧化硫≤0/0.039吨。废水：废水(接管量)≤105.33/140.40万吨，COD≤149.76/200.19吨，SS≤101.71/136.06吨，氨氮≤1.37/1.88吨，总磷≤0.31/0.43吨，总铜≤0.26/0.35吨，氟化物≤4.38/5.84吨，LAS≤0.62/0.83吨。废水(全厂外排量)≤140.40万吨，COD≤70.2吨，SS≤14.04吨，氨氮≤1.88吨，总磷≤0.43吨，总铜≤0.35吨，氟化物≤5.84吨，LAS≤0.71吨。固体废弃物：全部综合利用或安全处置，零排放。6．验收监测内容6.1废气监测废气监测点位、项目和频次见表6-1。表6-1废气监测点位、项目和频次地点名称监测点位监测断面尺寸监测项目监测频次一厂锅炉出口（Q1）内径ф0.45米废气参数、烟尘、SO2、NOX排放浓度和排放速率、烟气黑度3次/天╳2天酸性废气洗涤塔：进口（Q201）出口（Q2）内径ф1米废气参数、硫酸雾、氟化物排放浓度和排放速率及处理效率3次/天╳2天有机废气吸附塔：进口（Q301）出口（Q3）内径ф0.5米废气参数、丙酮、甲醛、非甲烷总烃排放浓度和排放速率及处理效率3次/天╳2天二厂酸性废气洗涤塔：进口（Q401）出口（Q4）内径ф0.7米废气参数、硫酸雾、氟化物排放浓度和排放速率及处理效率3次/天╳2天有机废气吸附塔：进口（Q501）出口（Q5）内径ф0.9米废气参数、丙酮、甲醛、非甲烷总烃排放浓度和排放速率及处理效率3次/天╳2天一厂厂界无组织上风向：Q6，下风向：Q7、Q8、Q9/硫酸雾、非甲烷总烃、丙酮3次/天╳2天二厂厂界无组织上风向：Q10，下风向：Q11、Q12、Q13/硫酸雾、非甲烷总烃、丙酮3次/天╳2天6.2废水监测废水监测点位（点位位置见图4-1）、项目和频次见表6-2。表6-2废水监测点位、项目和频次名称监测项目监测频次污水处理设施排口一厂S1、二厂S4流量（排口）、pH、COD、SS、NH3-N、TP、LAS、总铜、氟化物连续2天、每天4次清下水排口一厂S2、二厂S5pH、COD、SS、雨水排口：一厂S3、二厂S6pH、COD、SS6.3厂界噪声监测沿一厂、二厂厂界周围各布设噪声监测点10个测点（共20个测点），监测2天，昼夜各一次。测点见图3-2。7．监测质量保证及分析方法本次监测的质量保证按照江苏省环境监测中心编制的《质量手册》的要求，实施全过程质量保证，按质控要求废水样品增加20%的平行样和10%加标回收样或带标样。监测人员经过考核并持有合格证书，所有监测仪器经过计量部门检定，并在有效期内，现场监测仪器使用前经过校准。监测数据实行三级审核。废水监测方法见表7-1，废气和噪声监测方法见表7-2，质控情况见表7-3。表7-1废水监测分析方法序号项目名称分析方法方法来源1pH水质pH值的测定玻璃电极法GB/T6920-19862COD水质化学需氧量的测定重铬酸盐法GB/T11914-19893SS水质悬浮物的测定重量法GB/T11901-19894NH3-N水质氨氮的测定纳氏试剂分光光度法HJ535-20095TP水质总磷的测定钼酸铵分光光度法GB/T11893-19896LAS水质阴离子表面活性剂的测定亚甲蓝分光光度法GB/T7494-19877总铜水质铜的测定原子吸收分光光度法GB/T7475-19878氟化物水质氟化物的测定离子选择电极法GB/T7484-1987表7-2废气和噪声监测分析方法类别监测项目分析方法方法依据废气烟/粉尘固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法GB/T16157-1996NOX污染源废气氮氧化物定电位电解法《空气和废气监测分析方法》（第四版）国家环保总局（2003年）SO2固定污染源排气中二氧化硫的测定定电位电解法HJ/T57-2000烟气黑度固定污染源排放烟气黑度的测定林格曼烟气黑度图法HJ/T398-2007硫酸雾固定污染源废气硫酸雾的测定离子色谱法(暂行)HJ544-2009氟化物大气固定污染源氟化物的测定离子选择电极法HJ/T67-2001非甲烷总烃固定污染源排气中非甲烷总烃的测定气相色谱法HJ/T38-1999丙酮环境空气和污染源废气丙酮气相色谱法《空气和废气监测分析方法》(第四版)国家环境保护总局(2003年)甲醛空气质量甲醛的测定乙酰丙酮分光光度法GB/T15516-1995噪声等效(A)声级《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）标准GB/T12349-2008分析项目分析样

品数量现场平行样表7-3质量控制情况统计表实验室平行表7-3质量控制情况统计表加标回收全程序空白标样总检查

数量总检查

率%总合格

数量总合格

率%检查数检查率%合格数合格率%检查数检查率%合格数合格率%检查数检查率%合格数合格率%检查数合格数检查数合格数氨氮24312.53100.0416.74100.0416.74100.011--1250.012100.0总铜4824.22100.024.22100.024.22100.011--714.67100.0氟化物4824.22100.024.22100.024.22100.011--714.67100.0LAS4824.22100.024.22100.024.22100.011--714.67100.0化学需氧量32412.54100.0618.86100.011--1134.411100.0石油类24111128.32100.0总磷24416.74100.0416.74100.0416.74100.011--1354.213100.08.监测结果与评价8.1监测期间生产工况监测期间（2014年3月11日至3月14日）生产设施和环保处理设施运转正常。生产量为设生产量的99.1%100.6%，均大于75%，符合验收监测条件（见表8-1）。 表8-1监测期间生产工况监测日期设计生产量（片/d）生产量（片/d）生产负荷（%）备注3.11338片8英寸晶园级芯片340100.6一厂3.1233599.13.131014片8英寸晶园级芯片1018100.4二厂3.141016100.2注：年运行355天（合8520小时）。8.2废气监测结果与评价验收监测期间锅炉排气筒出口Q1的烟尘、二氧化硫、氮氧化物排放浓度和烟气黑度满足《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2001）表1、表2燃气锅炉标准要求。一厂酸性废气排气筒出口Q2和二厂酸性废气排气筒出口Q4的氟化物排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297—1996）表2二级标准要求，硫酸雾排放浓度满足《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表5标准要求。一厂有机废气排气筒出口Q3和二厂有机废气排气筒出口Q5的甲醛、非甲烷总烃排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297—1996）表2二级标准要求，丙酮排放浓度和排放速率满足《工业企业设计卫生标准》第三章工作场所有害因素职业接触限值(GBZ2-2002)表1标准要求。一厂、二厂厂界无组织的非甲烷总烃满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297－1996）表2无组织排放监控浓度限值要求。废气监测结果与评价见表8-2至表8-6，厂界无组织气象参数及监测点位见图8-1。表8-2燃气锅炉排气筒出口Q1监测结果统计表项目单位2014.3.112014.3.13排放标准达标情况第一次第二次第三次第一次第二次第三次标态气量×103m3/h1.461.411.411.531.591.55//实测烟尘浓度mg/m32.01.21.61.61.41.9//烟尘排放浓度mg/m34.82.94.04.23.35.050达标烟尘排放速率kg/h0.0030.0020.0020.0020.0020.003//实测SO2浓度mg/m33NDNDNDND3//SO2排放浓度mg/m37NDNDNDND8100达标SO2排放速率×10-3kg/h4.392.822.023.062.274.64//实测NOX浓度mg/m3685351576255//NOx排放浓度mg/m3163129128151147144400达标NOx排放速率kg/h0.09950.07470.07170.08720.09850.0852//林格曼黑度级<1<1<1<1<1<11达标注：未检出以“ND”表示，二氧化硫检出限为2.86mg/m3。表8-2一厂酸性废气处理设施进口Q201监测结果统计表项目单位2014.3.112014.3.13第一次第二次第三次第一次第二次第三次标态气量×103m3/h9.638.959.918.579.269.61硫酸雾排放浓度mg/m30.780.19NDND0.120.11硫酸雾排放速率kg/h7.51×10-31.70×10-3未检出未检出1.11×10-31.06×10-3氟化物排放浓度mg/m32.051.841.82氟化物排放速率kg/h0.0200.0160.0181.80×10-31.85×10-33.08×10-3注：未检出以“ND”表示，硫酸雾检出限为0.08mg/m3（以下同）。表8-3一厂酸性废气处理设施出口Q2监测结果统计表项目单位2014.3.112014.3.13排放标准达标情况第一次第二次第三次第一次第二次第三次标态气量×103m3/h9.499.189.508.829.129.75//硫酸雾排放浓度mg/m30.600.870.550.630.540.4930达标硫酸雾排放速率×10-3kg/h5.697.995.225.564.924.78//氟化物排放浓度mg/m33.492.471.540.870.741.019.0达标氟化物排放速率kg/h0.0330.0230.0157.67×10-36.75×10-39.85×10-30.10达标表8-4一厂有机废气处理设施进口Q301监测结果统计表项目单位2014.3.112014.3.13第一次第二次第三次第一次第二次第三次标态气量×103m3/h7.407.347.467.577.627.53非甲烷总烃排放浓度mg/m37.8413.017.04.453.163.52非甲烷总烃排放速率kg/h0.0580.0950.1270.0340.0240.026丙酮排放浓度mg/m3NDNDNDNDNDND丙酮排放速率kg/h未检出未检出未检出未检出未检出未检出甲醛排放浓度mg/m3NDNDNDNDNDND甲醛排放速率kg/h未检出未检出未检出未检出未检出未检出注：未检出以“ND”表示，丙酮检出限为0.05mg/m3（以下同），甲醛检出限为0.5mg/m3（以下同）。表8-5一厂有机废气处理设施出口Q3监测结果统计表项目单位2014.3.112014.3.13排放标准达标情况第一次第二次第三次第一次第二次第三次标态气量×103m3/h7.527.557.417.487.507.66//非甲烷总烃排放浓度mg/m324.031.626.862.860.069.7120达标非甲烷总烃排放速率kg/h0.1800.2380.1980.4700.4500.53410达标丙酮排放浓度mg/m3NDNDNDNDNDND300达标丙酮排放速率kg/h未检出未检出未检出未检出未检出未检出2.4达标甲醛排放浓度mg/m3NDNDNDNDNDND25达标甲醛排放速率kg/h未检出未检出未检出未检出未检出未检出0.26达标表8-6二厂酸性废气处理设施进口Q401监测结果统计表项目单位2014.3.132014.3.14第一次第二次第三次第一次第二次第三次标态气量×103m3/h9.108.5810.18.968.809.93硫酸雾排放浓度mg/m30.10NDNDNDNDND硫酸雾排放速率kg/h9.1×10-4未检出未检出未检出未检出未检出氟化物排放浓度mg/m30.240.220.18氟化物排放速率kg/h2.64×10-30.0101.92×10-32.15×10-31.94×10-31.79×10-3表8-7二厂酸性废气处理设施出口Q4监测结果统计表项目单位2014.3.132014.3.14排放标准达标情况第一次第二次第三次第一次第二次第三次标态气量×103m3/h9.419.289.789.329.159.66//硫酸雾排放浓度mg/m30.290.171.32NDNDND30达标硫酸雾排放速率kg/h2.73×10-31.58×10-30.013未检出未检出未检出//氟化物排放浓度mg/m79.0达标氟化物排放速率kg/h2.26×10-31.76×10-31.86×10-31.77×10-31.65×10-31.64×10-30.338达标表8-8二厂有机废气处理设施进口Q501监测结果统计表项目单位2014.3.132014.3.14第一次第二次第三次第一次第二次第三次标态气量×103m3/h10.29.539.308.999.209.97非甲烷总烃排放浓度mg/m30.784.381.2021.014.216.4非甲烷总烃排放速率kg/h7.96×10-30.0420.0110.1890.1310.164丙酮排放浓度mg/m3NDNDNDNDNDND丙酮排放速率kg/h未检出未检出未检出未检出未检出未检出甲醛排放浓度mg/m3NDNDNDNDNDND甲醛排放速率kg/h未检出未检出未检出未检出未检出未检出表8-9二厂有机废气处理设施出口Q5监测结果统计表项目单位2014.3.132014.3.14排放标准达标情况第一次第二次第三次第一次第二次第三次标态气量×103m3/h10.009.589.198.729.369.80//非甲烷总烃排放浓度mg/m314.85.4914.211.04.7811.3120达标非甲烷总烃排放速率kg/h0.1480.0520.1300.0960.0450.11131.4达标丙酮排放浓度mg/m3NDNDNDNDNDND300达标丙酮排放速率kg/h未检出未检出未检出未检出未检出未检出2.4达标甲醛排放浓度mg/m3NDNDNDNDNDND25达标甲醛排放速率kg/h未检出未检出未检出未检出未检出未检出0.818达标表8-10一厂周界无组织排放监测结果统计与评价表单位：mg/m3项目测试时间点位厂界浓度厂界测点浓度最大值标准值达标情况第一次第二次第三次硫酸雾3月11日Q6NDNDND0.03//Q7NDNDNDQ8NDNDNDQ9ND0.030.023月13日Q6NDNDNDQ7NDNDNDQ8NDNDNDQ9NDNDND丙酮3月11日Q6NDNDNDND//Q7NDNDNDQ8NDNDNDQ9NDNDND3月13日Q6NDNDNDQ7NDNDNDQ8NDNDNDQ9NDNDND非甲烷总烃3月11日Q61.061.121.281.864达标Q71.121.461.20Q81.021.081.86Q91.081.260.883月13日Q60.430.460.62Q70.490.540.36Q80.660.700.58Q90.480.560.48注：未检出以“ND”表示，苯检出限为0.005mg/m3；硫酸雾检出限为0.02mg/m3；氟化物检出限为0.9mg/m3。表8-10二厂周界无组织排放监测结果统计与评价表单位：mg/m3项目测试时间点位厂界浓度厂界测点浓度最大值标准值达标情况第一次第二次第三次硫酸雾3月13日Q10NDNDND0.02//Q11ND0.02NDQ12ND0.02NDQ13NDNDND3月14日Q10NDNDNDQ11NDNDNDQ12NDNDNDQ13NDNDND丙酮3月13日Q10NDNDNDND//Q11NDNDNDQ12NDNDNDQ13NDNDND3月14日Q10NDNDNDQ11NDNDNDQ12NDNDNDQ13NDNDND非甲烷总烃3月13日Q100.921.040.831.044达标Q110.780.810.75Q120.880.950.68Q130.820.820.523月14日Q101.000.460.54Q110.620.550.61Q120.940.580.80Q130.670.380.48图8-1厂界无组织气象参数及监测点位日期气温（℃）气压（kPa）相对湿度（%）风速（m/s）风向天气情况3.1111.6～12.2102.452.5～53.1～1.0东南晴3.1313.2～14.7102.354.6～55.1～西北晴北一厂区北一厂区○Q6○Q9○Q73.13风向厂界厂界一厂区○Q8○Q63.11风向○Q7○Q9○Q8图8-1续厂界无组织气象参数及监测点位日期气温（℃）气压（kPa）相对湿度（%）风速（m/s）风向天气情况3.1313.6～14.0102.354.6～55.1～2.5西北晴3.1415.5～16.2102.143.0～45.1～西北晴北二厂区北二厂区○Q11○Q12○Q13○Q103.14风向厂界厂界二厂区○Q12○Q11○Q133.13风向○Q108.3废水监测结果与评价验收监测期间一厂、二厂废水预处理设施出口（S1、S4）中的pH值以及COD、SS、NH3-N、TP、LAS、氟化物排放浓度日均值均满足污水处理厂接管标准和《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准限值要求；总铜排放浓度日均值满足《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表3标准标准要求。废水监测结果与评价见表8-11至表8-13。表8-11一厂废水处理设施出口(S1)废水监测结果表单位：mg/L项目日期第一次第二次第三次第四次日均值/范围排放标准达标情况pH（无量纲）3.118.008.008.017.997.99～8.016-9达标3.128.018.007.987.997.98～8.016-9达标COD3.1121.120.420.020.620.5500达标3.1215.616.0500达标SS3.11NDNDND4ND400达标3.12NDNDNDNDND400达标NH3-N3.110.260.2635达标135达标TP3.110.020.020.020.020.028达标3.120.020.030.020.020.028达标LAS3.11NDNDNDNDND20达标3.12NDNDNDNDND20达标总铜3.110.0040.0060.0050.0080.0060.3达标3.120.0040.0030.0040.0060.0040.3达标氟化物3.111.311.3820达标21.241.501.2820达标注：未检出以“ND”表示，SS检出限为4mg/L，LAS检出限为0.05mg/L（以下同）。表8-12二厂废水处理设施出口(S4)废水监测结果表单位：mg/L项目日期第一次第二次第三次第四次日均值/范围排放标准达标情况pH（无量纲）3.117.547.527.557.537.52～7.556-9达标3.127.537.517.567.547.51～7.566-9达标COD3.1197.077.281.282.284.4500达标3.1273.377.273.373.374.3500达标SS3.1174555400达标3.12551899400达标NH3-N035达标835达标TP3.110.070.080.060.070.078达标28达标LAS3.11NDNDNDNDND20达标3.12NDNDNDNDND20达标总铜3.110.0240.0250.0240.0240.0240.3达标3.120.0250.0250.0250.0240.0250.3达标氟化物3.115.295.495.305.275.3420达标95.495.505.3820达标表8-13一厂清下水排口(S2)监测结果表单位：mg/L项目监测日期第一次第二次第三次第四次日均值/范围pH（无量纲）12.38.038.008.018.058.00～8.0512.48.007.997.988.017.98～8.01COD12.4ND5.2SS12.3ND65NDND12.45NDND5ND注：二厂验收监测期间无清下水（未测）。未检出以“ND”表示，COD检出限为5.0mg/L（以下同）。8.4噪声监测结果与评价验收监测期间,一厂、二厂厂界噪声测点昼间、夜间均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB/T12348—2008）3类标准要求。厂界噪声监测结果与评价见表8-14、表8-15。表8-14一厂厂界噪声监测结果与评价表单位：LeqdB(A)监测点位3月11日昼间3月12日夜间3月13日昼间3月13日夜间Z160.353.861.252.1Z259.852.161.052.0Z361.154.862.154.9Z461.353.161.052.0Z561.051.060.051.2Z658.351.058.951.1Z761.051.259.954.0Z861.552.358.551.2Z961.451.459.651.1Z1060.052.060.051.5标准65556555达标情况达标达标达标达标表8-15二厂厂界噪声监测结果与评价表单位：LeqdB(A)监测点位3月11日昼间3月12日夜间3月13日昼间3月13日夜间Z1157.652.058.251.8Z1256.553.057.452.2Z1356.751.057.152.1Z1456.051.356.251.2Z1557.052.659.251.6Z1659.251.258.753.1Z1760.151.060.152.4Z1857.051.561.252.2Z1956.750.560.051.8Z2056.351.159.751.7标准65556555达标情况达标达标达标达标9.污染物总量核算验收监测期间废水污染物排放总量核算见表9-1至表9-3。表9-1大气污染物排放总量核算表污染源名称污染物排放速率（kg/h）年运行时间(小时)排放量吨/年范围平均值一厂燃气锅炉出口Q1烟尘0.002～0.0030.002385200.0196二氧化硫未检出～4.64×10-33.20×10-30.027氮氧化物0.0717～0.09950.08610.734一厂酸性废气出口Q2硫酸雾4.78×10-3～7.99×10-35.69×10-30.048氟化物6.75×10-3～0.0330.0160.136一厂有机废气出口Q3非甲烷总烃0.180～0.5340.3452.939丙酮未检出00甲醛未检出0/二厂酸性废气出口Q4硫酸雾未检出～0.0133.07×10-30.026氟化物1.64×10-3～2.26×10-31.82×10-30.016二厂有机废气出口Q5非甲烷总烃0.045～0.1480.0970.826丙酮未检出00甲醛未检出00表9-2废水污染物排放总量核算表污染物日均排放浓度（mg/L）日排放水量（吨/日）年运行时间（天）年排放总量（吨）范围平均值一厂废水处理设施排口（S1）水量//3.11：9583.12：962平均：96033031.68万COD16.0～20.518.25.76SSND00NH3-N0.21～0.260.240.076TP0.020.026.34×10-3LASND00总铜0.004～0.0060.0051.58×10-3氟化物1.281.280.41二厂废水处理设施排口（S4）水量//3.11：29003.12：2900平均：290095.7万COD74.3～84.479.475.98SS5～976.70NH3-N0.18～8TP0.07～0LASND00总铜0.024～0.0250.0240.02氟化物5.34～5.385.365.13表9-3污染物排放总量核算评价表污染物排放量(吨/年)控制指标(吨/年)是否满足废水（全厂）水量127.38万140.40万满足COD81.74200.19满足SS6.70136.06满足NH3-N0.261.88满足TP0.110.43满足LAS00.83满足总铜0.020.35满足氟化物5.545.84满足废水（二厂）水量95.7万105.33万满足COD75.98149.76满足SS6.70101.71满足NH3-N0.181.37满足TP0.100.31满足LAS00.62满足总铜0.020.26满足氟化物5.134.38满足废水（外排量）水量127.38万140.40万满足COD1.27470.2满足SS11.4614.04满足NH3-N0.7131.88满足TP0.4280.43满足LAS0.1020.71满足总铜/0.35/氟化物/5.48/废气（全厂）硫酸雾0.0740.2满足氟化物0.1520.6满足非甲烷总烃3.76534.44满足丙酮09.35满足甲醛00.009满足氮氧化物0.7340.24超出烟尘0.01960.09满足二氧化硫0.0270.039满足废气（二厂）硫酸雾0.0260.15满足氟化物0.0160.45满足非甲烷总烃0.82625.83满足丙酮07.01满足甲醛00.007满足注：苏州工业园区的出口浓度为：COD1mg/L；SS18mg/L（一厂二天均未检出，二厂二天日均值分别为5mg/L、9mg/L，以园区污水处理厂SS18mg/L核算外排量不合理；在此以最高日均值9mg/L核算总量如能满足总量指标要求则低于此浓度则一定满足）；NH3-N0.566mg/L；TP0.336mg/L；LAS0.08mg/L。（监测报告见附件）10．环境管理检查及环评批复落实情况检查检查内容见表10-1、表10-2。表10-1环境管理检查序号检查内容执行情况1“三同时”执行情况。该公司认真执行国家环境保护的相关法律和规定，履行“三同时”手续，主体工程与环保治理设施同时建成投运。2公司环境管理体系、制度、机构建设情况。公司有总经理负责制的三级环保管理体系，已制定多项环境保护管理及奖惩制度，日常公司的环境管理机构为企业管理办公室。3污染处理设施建设、管理及运行情况。公司污染处理设施已按环评要求建成投运，平时有专人负责运行和维护，有较全记录，环保设施运行正常。4清污分流、雨污分流措施。已按环评要求分别建成清下水、污水、雨水下水道，并分别有污水、清下水、雨水排放口。5排污口整治情况。公司已按要求对废水、废气排污口进行规范化整治，有标志牌、流量计和在线监测仪、便于采样的废水、废气采样口。6试生产期间生产负荷、环保治理设施运行记录及年生产时间。试生产期间生产负荷达75%以上、环保治理设施运行正常、有记录备查。7绿化情况。公司厂界四周均建有草坪绿地和一定数量的绿化树木，绿化率一厂18.3%、二厂29.1%。表10-2环评批复落实情况检查序号检查内容执行情况1全面贯彻循环经济理念和清洁生产原则，选用先进的生产工艺及设备，落实水回用措施，减少污染物产生量和排放量，确保各项清洁生产指标达到国内先进水平。清洁生产手续尚未完成。公司目前已建成纯水制备弃水回用的相关设施。2按照“清