超纯水系统工艺流程图

C自来进水

取样

保安滤器不合排放PPc

P原水

原水

机械滤器活炭过器

软水

盐箱

高压

反渗装置F

PR用水点过滤器

紫外杀菌

氮气

紫外杀菌

RF不合排放Fk

纯水口调压P

FP

FP

P

过滤FI

化学量泵循环C

风机浓水流或排

Fk

极浓水

纯水抛光床

超纯泵

氮封纯水

极水放二级DI膜

过滤器

纯水

脱气箱符号明:

不合排放P

Pc

FRC

FK电磁

球阀

止回

压力

压力制器

流量

电阻表

电导表

流变制开图3常的一级RO+级EDI+MB电I超纯水统工艺配置图适合于水硬度高，机物含量高，导率高（小于1000μs/cm求产水电阻～18.2MΩ·cm的超纯水系统自来水进水

P取样

F保安过滤器不合格排放PPc

P原水箱

原水泵

机械过滤器活性炭过器

软水器

盐箱

高压泵

反渗透装置

P用水点0.1um过滤器

紫外线杀菌灯

氮气瓶

紫外线杀菌灯

F不合格排放Fk

纯水出口调压阀P

P

器FI

计量泵泵

风机浓水回流或排放

Fk

极水浓水

纯水超纯水泵

氮封超纯水

极水排放二级EDI膜堆

0.2um过滤器

纯水泵

脱气水箱符号说明:

不合格排放P

Pc

FK电磁阀

球阀

止回阀

压力表

压力控制器

流量计

电阻率表

电导率表

流变控制开图4常用一级RO+二EDI电子Ⅱ超纯水系统工艺配置图适合于水硬度高，机物含量高，导率（小于1000μs/cm求产水电阻率～18MΩ·cm的超纯水系统C

F

C进

F排P排放快速过滤器

P

P

置

装F

P

放R用水点

RF排

口P

FP

FP

P

化学计量过滤器循环泵

0.1um

Fk

C流

Fk

水水

床

泵

纯

放E

0.2um

明:

排P

Pc

FRC

FK

制

表

表

制图5常用的一级RO+二EDI电子MB电子I级纯水系统工艺配图适合于水硬度低，机物含量低，导率高（小于1000μs/cm求产水电阻～18.2MΩ·cm的超纯水系统C

F

C自水进水

P

PFF不格排放P排放快速过滤器

P

Pc

P原箱

原泵

超装置

高泵

反透装置F

P

反排放水R用水点

紫线杀灯

紫线杀灯

RF不格排放

纯出口调阀P

FP

FP

P

化学计量泵过滤器循环泵

风过滤器

氮瓶

Fk

C浓回流或放

Fk

极浓

纯超水泵

氮超纯水

极排放二E膜

过滤器

纯泵

纯箱符说明:

不格排放P

Pc

FRC

FK电阀

球

止阀

压表

压控制器

流计

电率表

电率表

流控制开图6常的RO+二EDI子级超纯水系统艺配置图适合于水硬度低，机物含量低，导率高（小于1000产阻15～18MΩ·cm的超系统图7是用的一级全系统组成图自来水进水

P

风机取样

F保安过滤器

Pc

不合格排放

P

P

PH调节P

P二级高压泵原水箱

原水泵

机械过滤器活性炭过滤器

阻垢剂加药

一级高压泵级反渗透装置

脱气水箱

纯水泵R

P

学计量泵

用水点0.1um滤器

氮气瓶

紫外线杀菌不合格排放

P

F极水

FP

FP浓水

滤器FI

环泵

风机

不合格排放

FP

CP

纯水

抛光混床

TOC解器

超纯水泵

氮封超纯水

一级EDI堆

0.2um滤器

纯水泵

脱气水箱

二级反渗透置符号说明:P

Pc

FRC

不合格排放电磁阀

球阀

止回阀

压力表

压力控制器

流量计

电阻率表

电导率表图7常用的产水水稳定的二级RO+级EDI+MB电Ⅰ级超纯水统组成图适合于水硬度低，机物含量高，导率<1000μs/cm,TDS<时，要产水电阻率18～18.2MΩ·cm纯水系统自来水进水

P

风机取样

保安过滤器

Pc

不合格排放

PcP

P

PH调节P

P二级高压泵原水箱

原水泵

机械过滤器

活性炭过滤器

阻垢剂加药

一级高压泵

一级反渗透装置

脱气水箱

纯水泵R用水点0.1um过滤器

P氮气瓶

紫外线杀菌灯不合格排放

P

极水

PPc

P浓水

化计泵过器FI

风机

不合格排放

bP

CP

纯水

TOC分解器

超纯水泵

氮封超纯水箱

一级EDI膜堆

0.2um过滤器

纯水泵

脱气水箱

二级反渗透装置符号说明:P

Pc

FRC

不合格排放电磁阀

球阀

止回阀

压力表

压力控制器

流量计

电阻率表