真空计算公式

真空计算公式

日期2005-42823:51:59来源:原创查看:［大中小］作者：未知热度:

1、玻义尔定律2、盖•吕萨克定律3、查理定律

4、平均自由程5'抽速6、通导

7、真空抽气时间8、维持泵选择9、扩散泵抽速估算

10、罗茨家的前级抽速11、漏率12、粗抽泵的抽速选择

13、前级泵抽速选择14、扩散泵抽速计算公式15、旋片真空泵的几何抽速计算公式

16、0型橡胶槽深17、方形橡胶槽深

1、玻义尔定律

体积V,压强P,P-V=常数

一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。

即P1/P2=V2/Vi

2、盖•吕萨克定律

当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：

=常数

当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高（或P降低）1℃,则它的体积比原来增加（或缩小）1/273。

3、查理定律

当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其绝对温度T成正比，BU：

P1/P2=T1/T,

在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高（或降低）1℃,它的压强比原来增加（或减少）1/273。

4＞平均自由程:

X=(5xlO-3)/P(cm)

5、抽速:

S=d、./dM升/秒)或S=Q/P

Q=流量(托•升/秒)P=压强(托)V=体积(升)t=时间(秒)

6、通导：C=Q/(P2-PI)(升/秒)

7、真空抽气时间:

对于从大气压到1托抽气时间计算式：

t=8V/S(经验公式)

V为体积，S为抽气速率，通常1在5~10分钟内选择。

8、维持泵选择：

S维=5nJ10

9、扩散泵抽速估算：

S=3D?(D=直径cm)

10、罗茨泵的前级抽速:

S=(0.1~0.2)S"(l/s)

11、漏率：

Q«=V(P2-P1)/(t2-tl)

Q第一系统漏率(mmHgJ/s)

V一系统容积(1)

P1—真空泵停止时系统中压强(mmHg)

P2—真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)

t-压强从P,升到P2经过的时间(s)

12、粗抽泵的抽速选择：

S=Ql/P,...(l/s)

S=2.3V-lg(Pa/PH)/t

S-•机械泵有效抽速

Qi—真空系统漏气率(托•升/秒)

P"，一需要达到的预真空度(托)

V-真空系统容积（升）

t一达到P仅时所需要的时间

Pa-大气压值（托）

13＞前级泵抽速选择：

排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界

值，选用的前级泵必须能将主:泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：

PnS^PgS或

S-n

Sg-前级泵的有效抽速（1/s）

Pn-主泵临界前级压强（最大排气压强）（1/S）

Pg-真空室最高工作压强（托）

S一主泵工作时在Pg时的有效抽速。（1/s）

14、扩散泵抽速计算公式：

S=Q/P=（Kn）/（P-t）（升/秒）

式中：S一被试泵的抽气速率（1/s）

n一滴管内油柱上升格数（格）

t一油柱上升n格所需要的时间（秒）

P一在泵口附近测得的压强（托）

K一滴管系数（托・升/秒）

K=Vo-（Un）-（Yo/Ym）+PaAVt

其中%一滴管和真空胶管的原始容积（升）

L一滴管刻度部分的长度（mm）

n一滴管刻度部分的格数（格）

Y（）一油的比重（克/厘米3）

Y0,一汞的比重（克/厘米3）

P；,一当地大气压强（托）

△vt一滴管的刻度上的格的对应的容积（升/格）

15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：

224

S=7tZnLKv（D-d）/（24xlO）（1/s）

式中：Z为旋片数，n为转速（转/分），L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径（cm）,K、,为容积利用系数（•般取95%）。

16、。型橡胶槽深B=0.7D

D为橡胶直径，槽宽C=1.6B

17、方形橡胶槽深B=0.8A

A为方形橡胶边长，槽宽C=L67B

真空常用名词术语

日期200542823:48:41来源:原创日看:［大中小］作者：木知热度:

1、真空的定义2、真空度3、真空度单位4、托与帕的转换5、平均自由程

6,流量7、流导8、压力或压强9、标准大气压10、极限真空

11、抽气速率12、热偶真空计13.电离真空计14、复合真空计15、冷阴极电离计

16、电阻真空计17、麦克劳真空计18、B—A规19、水环真空泵20、往复真空泵

21.油封机械真空泵22、罗茨真空泵23、涡轮分子真空泵24、油扩散真空泵25、低温真空泵

26、冷阱27、气镇阀28、真空冷冻干燥29、真空蒸镀30、真空干燥

1、真空的定义

真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

2、真空度

处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度岛•表示真空度“好”的意

思，真空度低表示真空度"差''的意思。

3、真空度单位

通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。

1托=1/760大气压=1毫米汞柱

4、托与帕的转换

1托=133.322帕或1帕=7.5*10国托

5、平均自由程

作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号"入”表示。

6、流量

单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕•升/秒（Pa-L/s）或托•升/秒（TorrL/s）。

7、流导

表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（Us）,在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两

端压强差。符号记作“U"。U=Q/（P2-PI）

8、压力或压强

气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

9、标准大气压

压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。

10、极限真空

真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，

再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。

11、抽气速率

在•定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp=Q/（P—

Po）

12、热偶真空计

利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空

计。

13、电离真空计（又收热阴极电离计）

由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分

子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

14、复合真空计

由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10.5pa。

15、冷阴极电离计

阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子

流的大小来测定气体压强的真空计。

16、电阻真空计

利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真

空计。

17、麦克劳真空计（压缩式真空计）

将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出

气体压强的一种绝对真空计。

18、B-A规

这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因

而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。

19、水环真空泵

泵的叶轮转子旋转而产生水环。由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机

械真空泵。

20、往复真空泵

利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。

21、油封机械真空泵

用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。

22、罗茨真空泵

具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排

大气的真空泵。

23、涡轮分子真空泵

有一高速旋转的叶轮，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。

24、油扩散真空泵

扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处

逐级被压缩后再由前级泵排除。

25、低温真空泵

利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。

26、冷阱（水冷挡板）

置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。

27、气镇阀

油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气

就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的

阀门称为气镇阀。

28、真空冷冻干燥

真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空卜.使冰升华

而达到干燥目的。

29、真空蒸镀

在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。

30、真空干燥

利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。

31、真空系统常用名称

(1)主泵：在真空系统中，用「获得所需耍真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散

泵就是主泵。

(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵

就是前级泵。

(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑

阀泵，就是粗油泵。

(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持

主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

真空常用数据及单位换算

日期2005-4-2823:43:03来源:原创查看:［大中小］作者：未知热度:

1、真空区域划分2、长度：公制-英制对照表

3、重量：公斤-磅■央士对照表4、各种真空计及规管对照表

5、绝对温度、摄氏、华氏温度对照表6、抽气速率单位换算表

7、各种水的电阻率（欧姆）8、20℃空气在不同压强下的分子平均自由程

9、常用压强单位换算表10、不同压强下空气分子密度

11、真空油脂的主要性能12、力单位的换算

13、功率单位换算14、真空封膏特性

15、各种橡胶特性表16、面积单位换算

17、容积单位换算18、1号真空机械泵油的主要性能指标

19、国产扩散泵汕性能指标20、真空泵的种类及其工作范围

21、水在各种温度下的饱合蒸气压22、一些物质的熔点、熔解热、沸点和汽化热

1、真空区域划分

压强范围

真空区域

托(TOIT)帕(Pa)

低真空760-10101325-1333

中真空10-1031333-1.33x10"

高真空10'3~10'81.33xl()T~l(y6

超高真空10'8~10121O-6~IO10

极高真空<1012<1O10

2、长度：公制-英制对照表

单位米(m)英尺(ft)英寸(in)

1米(Im)13.2839.37

1英尺(1ft)0.30518.33

1英寸0.0254121

3、重量：公斤-磅-央士对照表

单位公斤(kg)英磅(lb)央士(oz)

1公斤I2.235.27

1磅0.45116

1央士0.030.061

4、各种真空计及规管对照表

1热.阴极电离真空冷阴极碰

真空计名电阻真空热偶真空超高真空

计控中真空计

称计计计

2压.强自动控制仪真空计

冷阴极规中真空规

规管名称电阻规管热偶规管电离规管B-A规管

管管

ZJ-5KDL-ZJ-27(DL-9)ZJ-32

1%DL-5

规管型号ZJ-52TZJ-2(DL-2)M014ZJ-32BC

DL-8

ZJ-10(DL-5)ZJ-12

5、绝对温度、摄氏、华氏温度对照表

温度形式K（绝对温度）七（摄氏）°F（华氏）

K（绝对温度）1℃+273.155/9(°F+459.67)

℃（摄氏）K-273.1515/9(°F-32)

午（华氏）9/5(K-459.67)9/5(℃+32)1

6、抽气速率单位换算表

单位立方米/秒（n?/s）升/秒(Us)立方米/小时立方英尺/分

1立方米/秒（ln?/s）1100036002118.88

1升/秒(IL/s)10-313.62.119

1立方米/小时（InrVh）2.78X10-10.27810.59

1立方英尺/分（Icft/min）4.72x1O-40.471.691

7、各种水的电阻率（欧姆）

水海水劣质自来水优质自来水蒸储水超净水

电阻率10-10-2103104~105106107To8

8、20℃空气在不同压强下的分子平均自由程

34569

P（托）110-10-10-10-10-

6

M厘米）4.72xl(y34.7247.247247204.72x10

9、常用压强单位换算表

帕托微米汞柱微巴毫巴大气压工程大气压英寸汞柱磅/英寸2

PaTorr11mHggbarmbaratmaminHglb/in2

7.5io29.869231.01972.9531.450

1Pa1xlO-37.510xlO6xlO5xlO-4xlO-4

1031.315791.35953.9371.934

1Torr133.3211333.21.3332xlO-3xlO3xlO2xlO-2

10-31.33321.315791.35953.9371.934

1pniHg0.1333211.3332xlO3xlO6XlO心xlO5xlO'5

10-17.57.5io39.869231.01972.9531.450

1gbarxlO-4xlO-11xW7XlO心xlO5xlO'5

1027.57.51039.869231.01972.9531.450

1mbarxlO-1xlO21xlO4xlO3xlO2xlO2

760xl031013.25

1atm101325760xlO31013.2511.033329.92114.696

735.56980663

1am98066.3735.56xlO3980663xlO-30.967839128.95914.223

25.4x1033.386x1043.3423.4534.912

1inHg338625.433.86xlO2xlO21xlO-1

1lb/in251.7156.895x1046.8057.031

689551.715xlO368.95xlO2xlO-22.0861

10、不同压强下空气分子密度

p（托）1IO-3IO-4IO-5IO"610-9

n。（个/厘米3）4xl0164xlO134xl0124x10"4xlO104xl07

11、真空油脂的主要性能

名称成分20七时饱和蒸气压（托）最高使用温度（七）

2#高分子碳3.1X10-830

3#氧化合物IO©35

4#皂基脂|Q-7~I0-8130

7501硅油加硅粉IO"以下-40〜+200

12、力单位的换算

达因(Dyn)牛顿(N)公斤力(kgf)

斯坦

110-510-81.02x10"

13、功率单位换算

单位马力千瓦瓦

马力(PS)10.735735

千瓦(kW)1.3611000

瓦(W)1.360.0011

14、真空封膏特性

真空封脂真空封泥

真空脂名称

50#80#30#

温度50℃80℃30℃

炉-欧托10,~10索托5x10”托

15、各种橡胶特性表

橡胶种类天然橡胶丁基橡胶丁月青橡胶氟橡胶

耐水性，耐

特性1酸性，耐碱渗透率小耐油良好23型耐强酸

性良好

26型渗透率

特性2出气量较大升华严重弹性较好

低出气率小

真空范围1X105托10-7托IO-托10$托

温度-30~80℃-30~150℃-30~120℃-20~200℃

16、面积单位换算

平方米(m?)平方厘米(cm?)平方毫米(mm?)平方市尺(sc?)平方英尺(伊)平方英寸(i-)

1100001000000910.76391550

17、容积单位换算

立方米升立方市尺英加仑美加仑(液体)立方英尺立方英寸日升

1100027219.98264.1835.31470.06103554.37

18、1号真空机械泵油的主要性能指标

项目运动粘离(厘泊)闪点(℃)饱和蒸汽压20℃时(托)比重(克/厘米与分子量(克)

50℃时(47~57)

KK-1不低于15不高于4x10’0.86333

100℃时

19、国产扩散泵油性能指标

牌号1#2#3#274硅油275硅油

饱和蒸气压（托）20七不大于4x10*2x10s2x10s2x10*1.7x10s

运动粘度（厘泊）45-6055〜6568-8038±3165±20

凝固点（七）不高于-15-15-15-10-14-18

闪点（七）不低于230230230>210>243

比重（克/厘米2）1.05-1.081.09±0.02

20、真空泵的种类及其工作范围

真空泵工作范围（托）真空泵工作范围（托）

旋片真空泵760-5x10”往复真空泵760-10•2

滑阀真空泵760-5x10-3吸附泵760-10-4

油增压泵10'-10-4溅射离子泵io-4~io10

罗茨真空泵lO'-lO'4钛升华泵10'3~1010

油扩散泵10-3~5X10-7分子泵10'3~10'10

水环真空泵760-25低温泵10'3~10'°

21、水在各种温度下的饱合蒸气压

温温

度压力压力

度

℃PaTorr℃PaTorr

-13225.41.691-10386.52.149

-7361.92.715-3489.63.673

0610.44.5793757.85.685

710017.5131012289.209

13149711.2317193714.53

20233717.5423280821.07

27356426.7430424231.82

33502937.7337627447.07

40737855.3243863864.80

471061079.60501233092.51

5314290107.25717310129.8

6019910149.46322840171.4

6727320205.07335420265.7

77418703146

8762480468.79378460588.6

9790920682.1100101325760.0

101104980787.6

22、些物质的熔点、熔解热、沸点和汽化热

熔点熔解热沸点汽化热

物质

(℃)(Cal/g)(℃)(Cal/g)

酒精-11423.5478204

二硫化

-11245.346.2584

碳

氨-77.781.3-33327

松节油-1080160-

冰080100539

蔡803321850.5

生铁1100-12008245093

一氧化

-20046.68-190263

碳

醋酸16.616.4118.3104

甲醇-97.120.9564.794

苯胺-6.2430.24184.3124

苯5.48—82.2—

丙酮-96.5——56.1—

罗茨真空泵工作原理

日期20054290:00:21来源:原创查看:［大中小］作者:未知热度:

罗茨真空泵（简称罗茨泵）是种旋转式变容真空泵。它

是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的

不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵

（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。一般来说，罗

茨泵具有以下特点：

・在较宽的压强范围内有较大的抽速；

・起动快，能立即工作；

・对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；

・转子不必润滑，泵腔内无油；

・振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀；

・驱动功率小，机械摩擦损失小；

・结构紧凑，占地面积小；

・运转维护费用低。

因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电子

工业部门得到广泛的应用。

罗茨泵的工作原理：

罗茨泵的结构如图所示。在泵腔内，有二个“8”字形

的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的

一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，

转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转

速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩

比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空

除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极

限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使

用。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不

断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间

V。内，再经排气口排出。由于吸气后V。空间是全封闭状

态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部

转过排气口边缘，V。空间与排气侧相通时，由于排气侧气

体压强较高，则有一部分气体返冲到空间V。中去，使气体

压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

如图为罗茨泵转子由0°转到180。的抽气过程。在0。

位置时（图中a）,下转子从泵入口封入V。体积的气体。

当转到45。位置时（图中b）,该腔与排气口相通。由于

排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°

位置时（图中c）,下转子封入的气体，连同返冲的气体

一起排向泵外。这时，上转子也从泵入口封入V。体积的气

体。当转子继续转到135。时（图中d）,上转子封入的气

体与排气口相通，重复上述过程。180。（图e）位置和0。

位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个用体积的气

体。

!!气

旋片式真空泵工作原理

日期200542823:57:43来源:原创查看:［大中小］作者：未知热度:

旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范

围为101325-1.33x10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用,也可以

作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机

械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以

抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀

性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。

旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小

型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级

泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。旋片泵的抽速

与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33x10''

（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

如图为旋片泵的工作原理示意图。旋片泵主要由泵体、转子、旋

片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外

圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二

个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持

接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。

两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、

B、C三部分，如图所示。当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的

空间A的容积是逐渐增大的，正处「吸气过程。而与排气口相通的空间

C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐

渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨

胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，

因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气

体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过

排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气

中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道

而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排

至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高

了极限真空度。

真空泵的选择

日期2005-42823:54:24来源:原创查看:［大中小］作者：未知热度;

选用真空泵时，需要注意卜,列事项：

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要

求IxlO,mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5x106mmHg。通常选择泵的真

空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-

3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为

5xlO-*34~55xlO-6mmHg（.因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10一

,mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在102mmHg下工作，但其工作压强应小于lx10-

5mmHg为好。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽

气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的

抽速，但不能抽氮，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氨有

一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不

能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都

需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环

泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上

一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择

真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗

粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器

等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真

空泵，或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择

无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

-、泵类型的确定

泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。

泵工作时，需要注意以下两个方面：

1.尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。

2.应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区