精密仪器实验报告

把握微开工作台的驱动掌握的根本原理和根本方法；1-1所示：图1-1微开工作台构造简图1-2所示。1-2试验系统连接，测微传感器安装固定等；翻开驱动掌握电源的软件，按所需掌握工作台移动；测微仪测量。XY测微仪测出位移的大小〔应减去初始时测微仪的位移。试验目的：把握微位移测量的根本方法和数据处理方法；的消灭，其应用范围进一步扩大。LVDT是电感传感器的一种，其工作原理是基于互感的变化，把被测量的变2-1所示。图2-1 LVDT电感传感器的根本构造1是磁芯，2是磁筒，3是框架，N1是初级线圈，N2aN2b是次级线圈。LVDT输出沟通信号又输入到信号处理电直流电压来测定磁芯移动距离。LVDT2-2是使用便利敏捷，适用于外部测量。2-2LVDT盘旋式传感器MDS系列多量程LVDT测微仪。MDS系列多量程LVDT点。依据测量范围确定量程，如测量范围为150 ‘D’、‘E’或‘F’档；LVDT测头调整到测量范围内；假设在测量范围内，仪器将实时显示测量的位移量。4〕将驱动掌握电源的旋钮逆时针旋到底，掌握工作台按某一方向〔假设先X方然后再反向旋转。同样转一圈记录一次数据。5〕Y轴方向，重复如步骤〔4〕所示的步骤。X方向：试验次1234567891011数正行程-217.-210.-202.-193.-185.-175.-165.-155.-145.-135.-125./μm64480344317反行程-215.-204.-193.-182.-172.-163.-154.-145.-138.-131.-125./μm83258338257正行程-54.2-40.2-31.4-22.4-13.0-3.137.4017.727.537.2/μm反行程-53.1-41.7-30.7-20.1-9.8-0.78.416.824.537.2/μmY方向试验次数1234567891011正行程/μm-334.-350.-358.-367.-374.-384.-393.-404.-414.-424.-435.39863193691反行程/μm-341.-353.-364.-375.-386.-396.-405.-413.-421.-429.-435.50881289601正行程/μm-347.-355.-364.-373.-383.-393.-403.-413.-424.-434.7836488945反行程/μm-341.-352.-364.-375.-385.-395.-404.-413.-421.-428.0713458531试验次数正行程/试验次数正行程/μm反行程/μm正行程/μm反行程/μm1234567807.215.223.832.642.352.262.21.813.324.435.144.854.363.371.801422.831.841.251.061.671.91.112.523.534.144.453.562.6719101172.382.591.979.486.191.9781.791.4Y方向78.791.4试验次数1234567891011-24.-33.-40-49.-59.-70-80.-90.-100538636.8-30.-41.-51.-61.-71.-79.-87.-94.-10055895637.8-16.-25.-35.-46.-56.-66.-76.-86.69711278-29.-40.-50.-60.-70.-78.-86.-93.46781864正行程/μ正行程/μm0反行程/μm-16.6-7.2-18.7正行程/μm 0-8.1反行程/μm-6.3-18分析产生误差的缘由：取的位移数值很不稳定；算出重复性；读取的数据误差较大。试验目的：把握开环伺服系统的工作原理与特点；开环伺服系统3-1所示。3-1开环伺服试验系统将