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经典word整理文档,仅参考,转Word此处可删除页眉页脚。本资料属于网络整理,如有侵权,请联系删除,谢谢!文件编号版本/修订页码激光干涉仪使用说明1/61.0目的及适用范围1.1目的:为了更好地让员工使用数字激光干涉仪测量晶体的波前畸变、平行度、平面度、均匀性。1.2适用范围:本说明适用于数字激光干涉仪的使用。2.0术语波前畸变平行度平面度3.0内容的:3.13.220℃±2精度。对抗震要求较高,必须放置在有防震垫的工作台上。3.3光束投射到通过一个分光器后被CCD相机记录。4.0仪器使用方法4.1开机打开电源前必须确认各部位电源线以连接好,按下干涉仪控制电源,两个指示1文件编号版本/修订页码激光干涉仪使用说明2/64.2程序启动4.2.1双击桌面上的“移像干涉(psi)’’图标4.2.2点击开始后输入用户名、密码,若未予留用户名,可直接确认4.2.3程序启动后出现如下主界面:D盘(或E盘)建立文件夹,便于测试结果和资料的储存。建好文件夹后点击第一行“干涉图采样”图标后,第二行“采集图像”窗口就被激活,出现界面如下图2文件编号版本/修订页码激光干涉仪使用说明3/64.2.4实时显示调整/个面的光点位于十字分划中心并重合。4.3测试4.3.1待测元件放置将工件放置在两维调整平台上调平4.3.2调整切换开关,回到测试(干涉图)光路,调整左右与上下两个调整螺杆,使得视场中看到的条纹少于六条(三至四条最好)4.3.3参数设置单击界面左上角的“参数设置”图标,此时将弹出以下界面。3文件编号版本/修订页码激光干涉仪使用说明4/6*样品参数设置输入待测晶体的长、宽、高、波长及折射率(如上图为10×10×2的KTP参数设置)﹡测试条件设置测试重复次数选择:可任意设置,次数越多误差越小,得到的结果越精确。﹡测试选项a.波面测试:激光干涉下的波前畸变b.激光棒测试:对激光棒进行测试,需选中并将激光棒的直径和长度输入c.角度测试:主要是平行度的测试设置完成后确认、退出,回到图像采集界面再退出。再单击第一行干“涉图采样”图标进入干涉图采集页面。4.3.4静态抓图在面板上选择该项功能,则图像监视器上的动态图像立即被锁定4.3.5标定4.3.6区域选择在页面上单击区域选择,此时将会弹出一个对话框,测试区域和参考区域,先选择测试区域,将鼠标光标移到监视器屏幕上并双击,出现一方框,此时可用4文件编号版本/修订页码激光干涉仪使用说明5/6移动鼠标来确定测试范围,再选择参考区域,确认,退出。然后采样计算,得到测试结果。当选择角度测试时,显示结果如下图所示:.当选择波面测试时,显示结果如下图所示:5文件编号版本/修订页码激光干涉仪使用说明6/64.4存图5注意事项仪器在使用时环境温度20℃±1℃,且保持环境气流平衡。仪器的光学元件须用酒精与乙醚滴溶液进行擦拭,注意不要损坏光学
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