全国工艺冷却水系统施工技术

工艺冷却水系统施工技术

侯初

目录1、工艺冷却水系统简介2、工艺冷却水系统的安装技术3、工艺冷却水系统的调试技术

1.工艺冷却水系统简介1.1冷却水冷却水只是指将温度高的水降低温度后在进行重复利用的水。所有的液体和固体中，水的比热容最大，是优良的热交换介质，其次水的化学稳定性好，不易分解，水的热容量大，在常温范围内不会产生明显的膨胀或压缩，水的沸点较高，在通常使用条件下，在换热器中布置汽化，水的来源较广泛，流动性好，易于输送和分配，水的处理运行费用低。

1.2工艺冷却水在半导体厂房中主要用于生产工艺设备的冷却,或称制程冷却水、工艺设备冷却水、简写：PCW。2.工艺冷却水系统的安装技术2.1系统概况工艺冷却水系统主要由三个环路组成：1)一次侧环路:高温水箱中的水由循环水泵提压，经热交换器冷却后进入低温水箱;2)二次侧环路:低温水箱中的水经循环水泵提压，过滤，由输水管线送到工艺设备进行热交换，交换后的高温水沿回水管线流回高温水箱；3)另一环路:为冷媒侧冷冻水供回水环路，经冷机制备的冷冻水经输水管路至交换器冷量交换后回到冷机侧；4)有的工艺水冷却水系统未设低温水箱,经热交换器交换后的低温水直接送入工艺设备;典凝型悠工鼠艺虫冷垄却夕水哨系理统杀图2.杀2冷却哗水水辞质工艺淡设备虏内的誓冷却讲管道器有很印多为厕管径英很细稻的毛志细管恒道,为恐避州免厨毛员细歇管农道食的裂结饮垢,对遇工或艺催冷接却镰水共的继水裹质泳也涛提膜出卡了截相牢应舌的紧要卫求骗；1）誉冷携却册水仿温尖度极：20甲℃；盼（萝冷呀媒估系蓝统钓：13梅~1您8℃冷冻眠水系谊统）2）股酸恢碱责度(丸P堪H帆)：6.途5~宰8.丛0;3）最脂大粒冠径颗捏粒街：≤0.彻03喘mm汪2;4）硬忆度:＜1丘0帝0敞p宇p详m俩;5）友电铲阻疏率:＞1K客Ω•碌cm电;6）神总质溶哪解誉固甜体(浊度)：＜1读0灶0帜p淹p歌m捐;2.译3系统昼的主堪要构偷件工斯艺剥冷盼却勉水诉系王统迅中利一遗般烟包顿括忌水玩箱承，戴水悦泵格，回过明滤讽器签，谢板偷式间换筒热薪器积，胃用完水爸点谜，膏电株气那控委制胁，解温机度捞传澡感明器贸，酸压混力计传福感四器芦、R膛O补河水裤装千置默，稼泄棵压项阀元，蔬调抢压军阀乓、滴阀货门团、笔止件回书阀木及丧管景道阶等就；1）水未泵：水桶泵抽须佩满洗足吨使勉用侮流奶量参和爸扬障程饥的酒要虚求但，蒸且约体谣积象小矛、隔重特量笑轻样、沈造清价饱低四，润有寒良放好质的锄特迫性兵和剂较君高素的掌效袭率迹；冒良孟好淘的乓抗该汽任蚀顾性霜能晴，浙既坏能略保慈证板水丘泵常运硬行足平俊稳丝式、怕寿柄命哥长避，浇又穷能状降拼低献运珠行疾费勾用车，党工佩程池投零资细少碌；株水景泵主的蓄本军体守采谁用缠不仇锈伞钢萍材勉质者，良可桐以它很叉好渡避维免舱对机水键质帆可场能杠造义成伤的捧污迟染稻，溪但湖是忠造质价歌稍拐高武；2）过讲滤器水过悬滤器邪或过题滤装哗置的劝选择斑，除万要考等虑后捞续管战路可稻能对秃水质惠的影战响，塌还要她兼顾横考虑烘不同些工艺债设备铅水质餐要求演的差拢异，恐因此炸，一录般选含择为歇两级扭过滤皱器；前端粘过滤堤器一踢般选虑用5闪u盗m，99东%过爸滤机要植求栋的哀不必锈会钢除过豆滤蛮器伐；末氧端梦过催滤斩器币选婆择披根龙据疫末遥端熟工至艺弹设赞备坑的洲水眠质麦要岛求动确播定眼；3）储热极交钩换烦器热烂交获换忘器橡按仙其密形校式惕可路分挪管遍壳客式半，溜板硬式添，金板鸟翅留式科，痒热色管骄式炸等搏，础相汗比半较僵而瞎言妻，端板纺式锐热魄交洽换镰器也具猫有虾占溜地煎面少积牌小躺，烘传恢热教面弓积发大泽的垫优螺点廊；考流虑担到育半粒导狡体按厂夺房员空负间脚面互积犬造胜价确特锅点逼，其优钥选保占腊地母面经积膨小岸的丽设六备支，厨工渡程专造负价痕相亭对饥会绪较管低武；选型贞要满体足设举计流配量下言的热急交换店量，充并且桌在最名大流御量及笼压力签时不剪能产岛生变旧形或屠振动智，并隐符合答一侧避无压竿力时纸仍可婶承受狸最大蓬操作养压力付；4）R浸O补水纪装置补粥水雷装默置估一管般存由李补茄水唉管玻路颤，家水押箱谦液啦位拔计云、鸭电如动徒阀踢组鄙及益其榜旁蛾通而管然路伟组唐成杠，披水障箱汉水洪位假过怜低弓时闸，鄙液避位提计较发摩出快补坛水风信卫号漫，兰电倒动己阀灿开属启饲，RO水任进去入太水强箱泳，佩水汇位轰达哨到烦预恒定血位要置现时衣，索液画位催计右发足出啦信腊号骨，驶电各动配阀掩关择闭钻，映补育水伯结袍束更；补水魄装置2.劈燕4自控答系统P改C万W在半凉导体知厂是特个非题常重棋要的济系统臂，它衔出现可故障罪会影牺响FA县B内叉的草大邻部岂分们的叼机冶台悲设消备滋，胸系假统稳自禾动商化题程沿度野高辽，拆对矛控谋制旨要稼求墙较鞠高亿，渗主颂要逢包新括策对兆供壶水满水右温消、小供遵水漫压良力影、更水昂质马以拘及督水赴泵须的师控屯制这。1）该供披水培水浅温南的除控睡制根据透工艺伪设备凭对供触水温苹度的戴需求寺，系愚统对国供水显温度台要求掌控制仙在2历0挤℃，供亭水温亏度通飘过安量装在财输水饼管道纹上温扭度传树感器叛采集秧，传政输到PL巩C运我算蜡控滩制酸模寇块卷，刮控睬制恶冷挺冻伯水牵侧遍电请动跌阀献开她启床度牺调劫节美冷辈冻形水向侧行流哑量期，述从津而盐控刃制搞板律换粒冷伟量疫交现换恼，蚀使靠冷蜡却唤水莫达帆到20求℃的设嗽计目解标要迎求；2）供虽水电融导率路的控洪制控制福供水尿电导的率其指实是劣间接肌反映纳对供驶水水匙质的路控制矿，系汽统高危温水晋箱补址水采兔用R侄O水及纽奉超纯忠水，自电阻抬率高团于1.答0K陵Ω•农CM。当位安装叹在高芬温水喉箱中庸的电惊导率盒测试己仪检估测到串电导血率不创满足融设定艺要求烟时，饿系统赖会将促此信孟号传侍到PL很C控教制狂模曲块寨，P司L咬C经运叛算控榴制超博纯水嫩补水零管路途上电价动阀副开启绣度确科定补继水量绪。另委外为衬防止好水箱鞭中水途与大虽气直惊接接屿触，云影响慢水的肃电导昂率，乔采用语氮封元保护配水质务。3）供赔水压暴力控件制系统途二次盏泵采抛用变另频调葡速控劈燕制，迹即通底过系柿统供这水压装力来拨调节霜变频新器频悟率，零进而粱调节埋供水纹压力帝；同烦时压性力传晃感器池控制黎水泵峡出口科端回逗水电脉动阀里的启幻玉闭，羽当压达力大住于设拦定值(如0盟.菠5吸M皆P出a垃)时渐，铁电酿动驼阀绢打眯开谋，野以盾防生止窜系借统旦压局力坦过展高遗，奔对膏后今续但管研路凶尤嫁其个是兽工搜艺暗设宜备芬产往生艇影呀响能。4）挺变沙频骄泵位的户控蚀制最基密本的欲是供汗水设锣备、腾泵还反有后跳备设庸备的怎工作皱持续妻性，及也就偶是不龄间断仔运作估；a.高可协靠性鸭的供姑电电颈源，嫌一般胃用UP土S供电经；b译.备用身泵，荐当运洋行泵须故障洞或供寄水压豆力小兆时自睡动启劣动备恳用泵上；c.全庙部钥水蚁泵息使笋用触变桂频困恒若压茶供孤水床；d.对娘备颈用子泵捐的爪启岭动壤通普过秆供铅水脉压这力身来碑控缩慧制堆，忍当阻供谱水锯压体力挥低本于善一浩定寺值呆时劳启直动孩备健用戴泵祸。北当摸运辜行敬泵渠出肠现速故堂障件停饼止裁时生，垄备成用偿泵喉工朵频息启累动窗。2.致5管按网鱼的卡布纷置一般碍采用辰采用浮同程逃式布食置；1）同硬程式最布置劝每一筹环路伯管路共的长辟度大散致相架等，挑各机元组(工艺听设备户？)的水荒阻力咏大致绝相等估，因灯此各践机组蛛的流睁量大格致等达于设预计流皱量，禾系统私水力趴平衡的性较言好水茅；2)水弃泵葬安晒装直位轻置乘选洽择制简榨易扇，疫可玻以蹦安伤装常在江系沾统牙任启何制位率置月，级通衣常阴情传况缘瑞下爱，艇考读虑主维撇护碌检柜修益方搅便菌，疾水敬泵参及贼系的统航相赔关未设紧备旁均骆会遮设驾置笨在裂单治独川的匪设更备捡机建械灰室纹；2.幻玉6管道助的材据质系统好管道罚材质推要求古相对澡较高到，同幸系统甩对水撤质要冻求相崖关；采壶用隙不糕锈次钢纽奉材旷质经的证管性道惭，抽可夕避恩免始管腾道溉对千水垃质土产盲生劈燕的踪蝶影爆响替，复又尽能杨满塔足草系载统栋长肥期兼运果行氧的禽需棋要愤；碳钢美钢管乎，长敲时间择运行糠，管薯道很顽容易迁锈蚀坝，造崇成水名质污丛染；2已.散7压力枣试验售及吹熟扫安装惰后管仁道空即气压暖试验攻，试掀验压金力为1.列25得MP刮a，试固压后炸进行仁空气即严密诱性试慎验，言最后恼进行急空气坟吹扫靠；3工艺共冷却年水系把统的吐调试算技术工艺瘦冷却链水是玻个非惯常重旧要的盗系统敌，主骗要应书用于宅各种会工艺词设备尚的冷纱却，湾出现初故障畏会影森响大同部分生的机鞋台设严备设庄备的参运转类，由蜓于工购艺设摸备对酷于工规艺冷肤却水保的各链项参抛数要腊求较问高，著因此闸，系吗统的泊调试抹尤为镰关键灰；1）碌水样泵严的怜调添试壳；2）关韵键阀晨部件佛的调甲试（盏泄压张阀、摆背压绕阀、壶补水甘装置补、温敲控电昼动阀集、自俊动排望水阀印等）淘；3）自洽动控者制系沿统的鞭调试书，自剃动控批制系技统的奋调试狸尤为肢重要阔，是把满足王系统科各参破数控军制的格重要毁一环套，水罩温、呼压力被、水角质等判各参翁数的鱼控制等，系落统正缓常运丝式行的叛关键森因素洲；工艺惩冷却贤水系乖统安隙装技已术，字可参置见作及业指咬导书维部分葱，如死下您：《作业酿指导饱书-纯贝水炎设任备殃安隆装》编号驻：CT绘GD弊-S欧OP连-P剑-3绢6《作业司指导苦书-流招量币计哑安计装》编皂号作：C鄙T性G份D慈-贴S者O束P帜-义P辽-然5盖5《电动眉两通言阀安宝装作哄业指亡导书》编号捷：CT还GD里-S骂OP魄-P棵-5森4《作璃业皇指栋导蛮书-波纹喂管补扩偿器》编聋号遮：C豆T忙G抖D请-核S洲O译P朗-膊P腐-鸦4瓶1《作外业拒指虚导余书-纯水黑系统征调试》编号眉：CT偷GD况-S堂OP舅-P蓄-8技2《作业偿指导窑书-气第动艘两倚