实习技术报告

实习技术报告边轻轻挑起，吸住它的背面，真空笔不能划过片槽内的其他位置。若片子出现滑动没有吸住，一定要将其轻推至片槽中，重2)取完片后，清理glovebox，将内部浮灰吸走，并用无尘布擦拭，最后将杂m4.EL测试：1)转移片子时用镊子夹住片子边缘3mm以内操作，专用镊子不能与2)焊IN点之前，必须换上新的手套去操作，不能用戴手套的手去碰自己的检验规范值大于2000(衬底片为图形)的外延片为正品。470nm，强度平均值小于1500大于1000(衬底片为平面)或平均值小于2000大于1500(衬底片为图形)的外延片为等外品(有一项符合即可判于等于3片均判为等外品。3)废品：强度平均值小于1000(衬底片为平面)或平均值小于1500(衬底片为图形)的外延片为废品(有一项符合即可判定为废品)，外延片在测试A.正常(表面沾污也算正常)B.点状：主要表现为外延片表面有1mm以下点状颗粒(点状可目视甄别)，点状颗C.边缘毛：主要表现为外延片边缘有发毛的痕迹，图形区距离衬底片边缘一定距离，过渡区导致外延片表面有发毛现象，间距在2mm以上的(2mm以下视为A)。D.雾状(发道)：主要表现为颜色较正常区域浅，不确认时可用显微镜进行观测。三.片机清机维护作业指导1)准备工作：专用、乙醇、力矩扳手一套、口罩、手套、吸水纸、铝箔、无尘1)关闭所有MO源手动阀(先关开口再关出口)2)关闭手套箱的清扫。1)打开两面的手套箱面板，注意拆卸下的面板固定螺丝放入装置盒不得丢弃。2)拆下EPITT的光纤注意光纤的进出口，用铝箔包好。注：机台无EPITT有检查反应室灯是否完好、碟阀开合角度以及内部状态微开关是否出现松动。控界面中运行BEFORE.CLEAN程序。5)用铝箔热反应室加热灯丝上，防止颗粒窜入灯丝内腔内及周边。6)用刮刀清理SH注意上盖边圈的水管，刮刀清理时一人用吸尘器吸除掉下的7)结束后用无尘布擦拭干净上盖边圈的密封圈以及密封接触面，若0-RING有损ON(位于左面板后部上方)。拧下固定反应腔的五个螺丝，将钥匙从SHN内部灰尘颗粒，然后用乙醇擦拭干净(上端O-RING/三五旋进入口O-RING).上NGne1)在主界面关闭反应室前端所在进气口G5、G6,G1设它进入反应室MFC为0(F309,300,304,306,307,351,352,353)2)抽反应腔压力为03)平功缓慢打开碟阀至100%4)接上检漏仪开检漏口N6待检漏仪抽到(x10-9mbar)开始检漏5)确认没有泄露后并关闭检漏口N6，关闭检漏仪并移走它7)缓慢打开反应室压力到1000mbar8)钥匙旋转到MAINTENANCEMODEOFF.9)复查一遍确认没有遗漏。12)开所有MO源(先开出口再开进口)13)清机维护结束，填写《设备日常维护点查表》《设备履历表》。，Recipe&AbortRecipe后开始卸载旧MO源(去除原使用的垫片)取出并擦拭以便能手操作，同时需另一个人稳住源瓶，同时注意pigtail尾部连接处扭矩，以免损坏；称重时需加源瓶进出口保护螺帽和垫片的重量。)。2)称重并记录新MO源的数据、源瓶种类、源瓶编号、源瓶级别、源瓶称重、源瓶标重、MO净重等。(用扳手拧开瓶口时需掌握好俩扳手间角度30-以便能手操作，同时需另一个人稳住源瓶)断)2)连接Pigtail时注意源瓶上的进出口标志，勿要接反，接口紧固时注意紧固程拆除检漏连接，清理现场，往冷阱注入防冻液，打开恒漏池电源(注意阀门关闭顺序，注10)运行按源后Recipe(AfrerinstallingnewxxMO)冲抽，按照提示打开1/4手line否打开