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文档简介

Pune製程教育制缺教少無塵室之異物對策PINEL就就穿制总敦267異物對策異物不良米左右CMO製造TF機能的良率原因之一為異物米因此,針對工廠全體之所有異物施以對策進而產到之目的使用材料丶使用設備丶治工具類丶對人對策丶器具備品類丶文具類、消耗品和其他若和一般環境中之製造業比較’必須付出數倍的投資額與維持費用。所有異物對策之目的PINEL就就穿制总敦3/67異物對策異物成為何種不良1)Aray工程發生大批patm不良。斷路丶短路。2Pane程發生大批之pattern不良電病特性及表示畫面不良3模組工程電氣特性不良B/L異物不良。畫面不良的原因。PINEL就就穿制总敦4067異物對策異物是何種尺寸的東西在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。米以μm尺寸(size)為單位的物質稱為異物異物尺寸從最大數」m到需用電子顯微鏡觀察確認的001cm之物質皆有現在的半導體業已經從64M0.28μm更進一步到256M0.2m的Pattern線,必需要求同程度以下的異物對策。人的頭髮直徑大約在50~70mTF的配線大约在6m的程度PINEL就就穿制总敦5/67異物對策工廠的異物管理米依Amay:Panel.Module之不同,對異物大小(sie)所訂定之管理辦法亦不同米Aray無麈室(全室)管理等級訂定100米Pane管理等級訂定100~10000米Module部份的管理等級訂定1000010000PINEL就就穿制总敦6/067異物對策異物從何處進入?與人的衣服丶鞋子和搬人物一赶從人口帶進细麈室。米與材將丶台車消耗品丶容器等物質一起帶進米從設備和工具,保修部品等帶進從管理表和記錄用紙丶筆記文具等帶進從器具備品棚架和台車帶進。上薤物件被異物附著後’如未除去,不能進人無塵室中PINEL就就穿制总敦7/67異物對策異物如何進入水付著者在物品上進入般的異物都是付著在攜人物而進人的’萬一沒有被去除而攜人時’異物一定會進人無麈室人員攜鞋子和無塵服和食物丶手提袋.等’會帶人污染物從環境破壞而人從門縫丶建篥縫隙丶天花板的間隙.等·建篥物的不良部份侵人。PINEL就就穿制总敦8/067異物對策異物如何產生金圖丶塑膠、大部份的物品摩擦時,一定會有異物產生。加工時所使用的托盤及通箱’在取放製品時,會因摩擦而產生異物材將的闰邊和材質會產生異物在TFT基板表面加工的加工途中,材料的角邊和材質會因剝落而產生異物摩擦的地方、部份…等金部會發醒PINEL就就穿制总敦967異物對策實際上從哪裡產生的?裝置驅動的地方就是產生異物的地方。齒輪·輸送帶丶輸送機丶鍊子.等ν會摩擦的地方為發麈源關於膠帶類的接著材的接著部份在經過一定期間後’接著劑會因乾燥而變成異物,另外膠帶旁會有細小的異物付著。人體會有很多細小的異物產生皮膚丶毛髮丶體毛…等異物會產生。PINEL就就穿制总敦10/67異物對策有哪些種類的異物存在?塵埃類土類丶油類丶煙類丶塑膠類其它。金屬頫置類丶器具備品類丶保管庫丶其它

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