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文档简介

真空燕发皱鹏油本章的基本要求◆理解饱和蒸汽压、蒸发温度等基本概念◆掌握真空蒸发的原理、设备要求、不同类型蒸发源的蒸发特点、各种蒸发材料的特点、基本的蒸发镀膜操作过程◆理解并掌握真空蒸发镀膜时真空室内起始压强的确定方法;◆了解真空蒸发镀膜法的应用情况。第三章真空蒸发镀膜法◆§31概念◆§32真空蒸发镀膜的原理◆§33常用的蒸发源及燕发材料◆§34影响薄膜生长和性熊的几个因素及真空蒸发镀膜技术的应用◆§3.5分子束外延(MBE)技术s31概念◆真空蒸发镀膜法(简称真空蒸镀)是在真空室中,加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料使其原子或分子从表面气化逸出,形成燕汽流,入射到固体(称为衬底或基片)表面,凝结形成固态薄膜的方法。§32真空蒸发镀膜的原理四个主要内容:1、真空燕发装置2、蒸发真空度的确定3.蒸发温度4、蒸发速率

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