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文档简介
北京洁净室气密测试标准北京洁净车间空气洁净度的测试内容及方法电子光学车间净化文章摘要:空气中悬浮粒子浓度来决定北京洁净车间的洁净等级。洁净车间洁净度通常指,洁净区内空气中悬浮粒子量的多少。当含尘浓度高时则表明洁净度低;相反,则洁净度高。也就是说,空气中悬浮粒子浓度来决定北京洁净车间的洁净等级。一、北京洁净车间的空气洁净度,应进行下列测试:(一)动态、静态测试动态测试:北京洁净车间已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。静态测试:北京洁净车间净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。(二)动态测试:北京洁净车间已处于正常生产状态下进行测试。北京洁净车间二、北京洁净车间的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。(一)测试前的准备应对北京洁净车间及其净化空气调节系统进行彻底清洁。当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。(二)测试内容1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;2、洁净室压力值;3、层流北京洁净车间断面风速和气流流向;4、洁净工作区的洁净度;5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;6、北京洁净车间内噪声。(三)洁净工作区空气洁净度的测试方法1、对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。2、数据整理(1)每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值。(2)对于大于或等于0.
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