实验6电子探针(能谱仪)结构原理及分析方法_第1页
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文档简介

实验6电子探针（能谱仪）结构原理及分析方法一、实验目的与任务1)构。过探。二、电子探针的结构特点及原理电子针X射线显微分析仪(简称电子探针)利用约1Pm微区内激素征X射线，根征X和定分电镜子针构扫似外实验这部分内容将参室与X射检。三、实验方法及操作步骤对含量元析用察定浓。件()样品电样表的析位仪的。()加速压电为3V选元则于发电压，一般选择加速电压为分析元素临界激发电压的2～3致样侧，使X射线激发体积增大同加度元。()电子流征X射线的高X射线强度必大束择应控制束流条取。析(1析驱动分光谱仪的晶体连续改变衍射角录X射随波。电子探针分析的元素范围可从铍(序数4)到铀(序数92，检测的最低浓度(灵敏度)大致为0.0。()半析的征X正效荧应征X射线强度的影响。实际上，只有样品是由原子序数相邻的两种元素才误因用到。()定分析。样品原子对人射电子的背散射，使能激发X样要性量正由的X射原子作收际的X射样品中由激的的X射线，当其能量征X射界激发能量发素征X射线，结果使得两种元素的特征X射度发生变化由X征X射线称次X射线光X，此光。3．分析征X信较适合于分析分。实验散像二像析实—1。图实6a是Al-4.0％Cu(质量分数)合金的背散射电子像，被选定的直线通过胞状a-A1实—b是CuKX实—a和6b可见的X射线强度所对应的位置是富Cu的A12Cu在a-A1部X的强度较低说明其固溶的Cu状cA1晶粒界面内侧约10m的Cu。分析使入射电子束在样品表面选定的微区内作光栅扫描，谱仪固定接收某一元素的特征X可微素分示物元偏。元征X位置该元素含高集)低化。实2与实6—1相同的样实6—2b可以清晰地显示Cu元在样品微的。五、实验内容，、作、。六、思考

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