LED生产工艺及产品介绍

湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司华磊芯片目前方向：1、以08*15mil芯片成为小尺寸方片的市场主攻方向，光通量可达到5lm以上；2、不断提升10*23mil品质以满足背光源市场需求；3、大功率芯片的研发4、华磊下阶段将向下游延伸，封装线也正在筹划中，目前小量验证线如SMD、Lamp及High-power的封装已经逐渐完善，基本接近国内封装厂水平，为下一步封装线的建立打下良好基础。湘能华磊光电股份有限公司外延生长芯片前工艺研磨、切割点测、分选检测入库湘能华磊光电股份有限公司湘能华磊光电股份有限公司2023/5/246外延生长：MO源及NH3由载气传输到反应室，以质量流量计控制气体流量，反应物进入反应室后经载气传输到衬底表面反应形成外延薄膜。主要设备有MOCVD、活化炉、PL

、X-Ray、PR、镭射打标机等。湘能华磊光电股份有限公司2023/5/247P型InGaN-金属接触层P型GaN：Mg多量子阱有源区（InGaN/GaN）N型GaN:SiGaN缓冲层蓝宝石衬底湘能华磊光电股份有限公司2023/5/248湘能华磊光电股份有限公司2023/5/249一、前工艺前工艺主要工作就是在外延片上做成一颗颗晶粒。简单的说就是Chip

On

Wafer的制程。利用光刻机、掩膜版、ICP、蒸镀机等设备制作图形，在一个2英寸的

wafer片上做出几千~上万颗连在一起的晶粒。芯片工艺一般分为前工艺、后工艺、点测分选三部分湘能华磊光电股份有限公司目前华磊生产的芯片主要有：小功率：07*09mil、08*12mil、08*15mil12*13mil、10*16mil…背光源：10*23mil…高功率：45*45mil…湘能华磊光电股份有限公司设备简介：黄光室：匀胶机、加热板、曝光机、显影台、金相显微镜、甩干机、台阶仪清洗室：有机清洗台、酸性清洗台、撕金机、扫胶机、甩干机蒸镀室：ICP、ITO蒸镀机、合金炉管、Pad蒸镀机、PECVD、扫胶机、手动点测机、光谱仪湘能华磊光电股份有限公司ICP曝光机2023/7/2113湘能华磊光电股份有限公司PECVD蒸镀机2023/7/2114湘能华磊光电股份有限公司做透明导电层P--GaNN--GaNSubstrate前工艺UVP--GaNN--GaNSubstratemaskUVITO做透明导电层SubstrateP--GaNN--GaNITO电极做透明导电层SubstrateP--GaNN--GaNITO电极二氧化硅保护层1-MESA（刻台阶）3-做电极4-做保护层2-做透明导电层（ITO）湘能华磊光电股份有限公司2023/7/2115单颗晶粒前工艺后成品图湘能华们磊授光电教股份演有限醋公司2023/5/1816湘能华技磊疼光电克股份题有限铺公司2023/5/1817IPQC（In-ProcessQualityControl）IPQC主要是对芯片的电性参数做检测，然后品保会根据电性参数来判定晶片是继续下道工序还是需要返工，检测的电性参数主要有：2023/5/1818Vf（正向电压）ESD（抗静电能力）Ir（逆向电流）Iv（亮度）

Wd（波长）湘能华比磊魔光电敌股份沙有限侦公司二、后工艺后工艺是将前工艺做成的含有数目众多管芯的晶片减薄，然后用激光切割成一颗颗独立的管芯。研磨切割设备：上蜡机、研磨机、抛光机、清洗台、粘片机、切裂片机。2023/5/1819湘能华勤磊万光电时股份尖有限远公司研磨机上蜡机湘能华东磊易光电赵股份横有限则公司2023/5/1820NEWWAVE激光切割机JPSA激光切割机2023/5/1821湘能华伐磊起光电看股份仿有限舒公司里德劈裂机湘能华裁磊笨光电说股份努有限侄公司2023/5/1822后工艺切割裂片研磨抛光陶瓷盘晶片背面朝上AA0234YBBT18

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AA0234YBBT18切割研磨从晶片背面劈裂，劈开后晶粒完全分开研磨是叔减吸薄厚店度的主昂要槽来源抛，光可以使背螺表衬底响从45朗0抛u光m挡面减更隐光店滑，货并且少至浆10对0um倦可以减恶少怨应力裂片激光切割后的切割线湘能华距磊茧光电设股份歌2023/5/1823有限乓公司点测分选的主要工作：点测大圆片或方片上每一颗晶粒电性和光学性能；将大圆片按照条件表分成规格一致的方片；吸除外观不良部分，并贴上标签。设备简介：点测机、分选机、显微镜等湘能华壁磊疫光电奸股份玩有限勒公司2023/5/1824湘能华巷磊混光电雷股份筛有限镰公司2023/5/1825分选机2023/5/1826点测机湘能华唇磊妖光电醋股份绕有限槐公司大圆片2023/5/1827FQC:负责检验各种规格的方片或大圆片的电性和外观，合格后判定等级入库。方片ORT:抽样进行封装、老化测试。湘能华邻磊免光电菊股份墓有限犹公司湘能华路磊悉光电裹股份旺有限确公司2023/5/1828湘能华肿磊遮光电描股份闯有限膊公司2023/5/1829LEDLamp发光颜色类型：红外，红，黄，绿，蓝，白，全彩，etc.直径：Φ3，Φ5，Φ8，Φ10，etc.封胶类型：无色透明，无色扩散，有色透明，有色扩散出光面外观类型：圆头，平头，草帽型，钢盔型，etc.SMDTopChipSideviewPowerLED功率：1W，2W，3W，5W，7W，10W，12W，etc.颜色：红外，红，黄，绿，蓝，白，etc.结构：倒装芯片、布拉格反射层等2023/5/1830湘能华朵磊简光电途股份工有限父公司湘能华乐磊笑光电轻股份纪有限融公司2023/5/1831湘能华冰磊劲光电降股份击有限浪公司2023/5/1833湘能华推磊绑光电朝股份尘有限炎公司2023/5/1834贴片式SMD中功率LED2023/5/1835湘能华银磊胖光电喘股份虑有限商公司湘能华刻磊请光电暑股份党有限堂公司2023/5/1836湘能华章磊打光电斥